| 等离子体物理 | |
| 专业代码（070204） | |
| 主要研究方向 | |
| 1. 低温等离子体物理及模拟 | |
| 2. 低温等离子体源技术 | |
| 3. 等离子体在材料加工中的应用 | |
课程设置和课程教学
| 类 别 | 课程编号 | 课 程 名 称 | 学时 | 学分 | 开课学期 | 考核方式 | 备 注 | |||
| 1 | 2 | 3 | ||||||||
| 学 位 课 | 公 共 学 位 课 | 10285001 | 英语 | 144 | 4 | 4 | 4 | 考试 | ||
| 10285006 | 科学社会主义理论与实践 | 18 | 1 | 2 | 考试 | |||||
| 10285007 | 自然辩证法 | 18 | 1 | 2 | 考试 | |||||
| 10285009 | 政治专题讲座 | 36 | 2 | 2 | ||||||
| 学 位 基 础 课 | 07020011 | 等离子体物理与化学 | 36 | 2 |
| 2 |
| 考试 |
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| 07020401 | 低温等离子体诊断技术 | 72 | 4 | 4 |
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| 考试 |
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| 08050101 | 材料学 | 72 | 4 | 4 |
|
| 考试 |
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| 学 位 专 业 课 | 07020410 | 等离子体电子工程学 | 72 | 4 |
| 4 |
| 考试 |
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| 08050111 | 真空与薄膜技术 | 54 | 3 |
| 3 |
| 考试 |
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课程设置和课程教学（续）
| 类 别 | 课程编号 | 课 程 名 称 | 学时 | 学分 | 开课学期 | 考核方式 | 备 注 | |||
| 1 | 2 | 3 | ||||||||
| 非 学 位 课 | 选 修 课 | 07020420 | 薄膜材料的制备与检测 | 54 | 3 |
| 3 |
| 考试 |
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| 07020421 | 低温等离子体材料表面改性 | 36 | 2 |
| 2 |
| 考试 |
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| 08050102 | 材料分析方法 | 72 | 4 | 4 |
|
| 考试 |
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| 08050103 | 薄膜物理 | 54 | 3 | 3 |
|
| 考试 |
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| 08050110 | 器件与工艺 | 72 | 4 |
|
| 4 | 考试 |
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| 必修 环节 | 10285010 | 文献阅读 | 1 | 考查 | ||||||
| 10285011 | 学术研讨和学术报告 | 1 | 考查 | |||||||
| 10285012 | 实习活动 | 2 | 考查 | |||||||
