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上海交通大学微电子学院专业学位课程内容介绍《微电子可靠性与成品率》

上海交通大学 免费考研网/2013-01-08

《微电子可靠性与成品率》

课程代码E210515学分/学时3.0/54开课时间春
课程名称微电子可靠性与成品率
开课学院微电子学院
任课教师
面向专业
预修课程
课程讨论时数0 (小时)课程实验数0 (小时)
课程内容简介

集成电路的可靠性和成品率是先进集成电路制造技术得以大规模产业化的关键所在，也是集成电路设计时需要重点考虑的因素。随着特征尺寸的进一步缩小，可靠性问题的重要性日益突出，如何解决先进半导体工艺的可靠性问题成为集成电路制造技术发展的瓶颈之一。《微电子可靠性与成品率》将引领学生进入到这一极富挑战性的领域。因此，对微电子学、电子信息与电气工程、工程管理、应用物理及半导体材料等专业领域的学生来说，了解半导体可靠性及各种失效分析手段是非常有必要的。《微电子可靠性与成品率》主要讨论和分析可靠性和成品率概述、可靠性数学、可靠性测试手段、主要的失效分析手段、集成电路中的主要失效机制以及相应的成品率提升方法、先进工艺节点和新型材料给集成电路制造带来的新挑战。因此本课程内容是当今集成电路制造技术的重要组成部分。

课程内容简介（英文）

(无)

教学大纲

第一章 可靠性概述（6学时）1可靠性和成品率的定义 2可靠性工程的历史和经典案例3摩尔定律对可靠性的挑战4IC可靠性工程的发展趋势5IC主要失效机制概述第二章 可靠性数学（6学时）1 可靠性与概率论2 失效率和平均失效时间3 失效函数与失效分布4 浴盆曲线和条件可靠性5 多模分布第三章 可靠性测试方法和失效数据分析（6学时）1 加速测试2 疲劳测试3 筛选4 失效数据的分等与审查5 失效数据的拟合 第四章 主要的失效分析方法（6学时）1 聚焦离子束分析与电子显微镜2 红外显微镜与红热像仪 3 声学显微镜与颗粒碰撞噪声检测4 X射线谱仪与俄歇电子能谱分析5 破坏性物理分析第五章 氧化层击穿和热载流子退化（6学时）1 氧化层击穿机制2 抑制氧化层击穿的手段3 High-k栅介质的可靠性问题4 热载流子效应5 热载流子退化及其改善措施第六章 互连可靠性（6学时）1 电迁移2 应力迁移3 铝互连可靠性4 铜互连可靠性5 Low-k介质的可靠性问题第七章 静电放电ESD（6学时）1 ESD模型2 传输线脉冲测试3 ESD引起的缺陷4 ESD保护器件5 ESD保护电路第八章 微电子成品率（6学时）1 成品率的定义2 成品率模型3 缺陷模型4 成品率元素5 成品率与可靠性的关系第九章 课堂报告（6学时）由学生给出关于微电子可靠性与成品率问题的报告

课程进度计划

(无)

课程考核要求

笔试外+平时的作业+讨论

参 考 文 献
  • 《实用工程可靠性》,电子工业出版社， [美] P. D. T. O'Connor著《可靠性物理》，电子工业出版社，姚立真著
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