中文题目: 轴锥镜锥角检测方法研究
作者: 魏张帆;袁乔;张运波;曾爱军;黄惠杰;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页: "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
检测轴;投影光刻机;锥角;照明系统;光束整形;成像光学系统;自准直;旋转对称;模式转换;电子经纬仪;
中文摘要:
1.引言轴锥镜是一种旋转对称角锥形光学元件,由于它长的焦深以及窄的横向宽度,被广泛应用于成像光学系统、激光束整形等方面。在投影光刻机中,轴锥镜可以将传统照明模式转换成环形照明模式,是其照明系统的核心元器件之一,加工过程中需要精确地检测其锥角大小。本文提出了一种利用自准直电子经纬仪检测轴锥镜锥角大小的方法,此方法操作简单、可检测任意锥角,且可以给出锥角大小的分布。
文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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轴锥镜锥角检测方法研究_上海光学精密机械研究所
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