中文题目: 轴锥镜锥角检测方法研究
作者: 魏张帆;袁乔;张运波;曾爱军;黄惠杰;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
检测轴;投影光刻机;锥角;照明系统;光束整形;成像光学系统;自准直;旋转对称;模式转换;电子经纬仪;
中文摘要:
1.引言轴锥镜是一种旋转对称角锥形光学元件,由于它长的焦深以及窄的横向宽度,被广泛应用于成像光学系统、激光束整形等方面。在投影光刻机中,轴锥镜可以将传统照明模式转换成环形照明模式,是其照明系统的核心元器件之一,加工过程中需要精确地检测其锥角大小。本文提出了一种利用自准直电子经纬仪检测轴锥镜锥角大小的方法,此方法操作简单、可检测任意锥角,且可以给出锥角大小的分布。
文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
全文传递服务
删除或更新信息，请邮件至freekaoyan#163.com(#换成@)
轴锥镜锥角检测方法研究_上海光学精密机械研究所
上海光学精密机械研究所 免费考研网/2018-05-06
相关话题/光学 中文 测试 学术 电子
领限时大额优惠券,享本站正版考研考试资料!
优惠券领取后72小时内有效，10万种最新考研考试考证类电子打印资料任你选。涵盖全国500余所院校考研专业课、200多种职业资格考试、1100多种经典教材，产品类型包含电子书、题库、全套资料以及视频，无论您是考研复习、考证刷题，还是考前冲刺等，不同类型的产品可满足您学习上的不同需求。 ...考试优惠券 本站小编 Free壹佰分学习网 2022-09-19扫频光学相干层析成像系统的光谱标定方法_上海光学精密机械研究所
中文题目:扫频光学相干层析成像系统的光谱标定方法作者:王瑄;李中梁;王向朝;南楠;陈艳;曾爱军;来源图书:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集年:2016页："1"会议名称:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集中文关键词:扫频;傅里叶变换;光学成像技术;微结构;高分辨率;重采样;等间隔采样;采样点; ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06空间相干性调制光栅剪切干涉波像差检测技术研究_上海光学精密机械研究所
中文题目:空间相干性调制光栅剪切干涉波像差检测技术研究作者:彭常哲;唐锋;王向朝;来源图书:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集年:2016页："1"会议名称:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集中文关键词:波像差;投影物镜;空间相干性;检测技术研究;光栅衍射;套刻;源功率;干涉技术;干涉仪;像面; ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06基于线性规划的光刻机光源优化方法_上海光学精密机械研究所
中文题目:基于线性规划的光刻机光源优化方法作者:王磊;李思坤;王向朝;杨朝兴;来源图书:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集年:2016页："1"会议名称:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集中文关键词:光刻机;实现速度;技术发明;离轴;集成电路制造;集成电路芯片;数值孔径;掩模;评价函数;光刻胶; ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06采用空间像降维的光刻投影物镜偏振像差原位检测方法_上海光学精密机械研究所
中文题目:采用空间像降维的光刻投影物镜偏振像差原位检测方法作者:孟泽江;李思坤;王向朝;来源图书:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集年:2016页："1"会议名称:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集中文关键词:投影物镜;套刻;光刻机;原位检测;数值孔径;偏振态;泡利;线性关系;主成分;测量过程; ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06光学相干层析成像随深度变化的色散补偿方法_上海光学精密机械研究所
中文题目:光学相干层析成像随深度变化的色散补偿方法作者:潘柳华;李中梁;王向朝;南楠;来源图书:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集年:2016页："1"会议名称:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集中文关键词:色散补偿;光谱带宽;背向散射;光学领域;高分辨率;光学元件;评价函数;失配;深度变化;成 ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06基于表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量技术_上海光学精密机械研究所
中文题目:基于表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量技术作者:谷利元;曾爱军;胡国行;贺洪波;黄惠杰;来源图书:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集年:2016页："1"会议名称:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集中文关键词:测量技术;金属薄膜;薄膜材料;数据处理过程;测量精度;快速测量;非接触性 ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06血管内扫频光学相干层析成像系统_上海光学精密机械研究所
中文题目:血管内扫频光学相干层析成像系统作者:卢宇;李中梁;王向朝;南楠;来源图书:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集年:2016页："1"会议名称:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集中文关键词:易损斑块;薄纤维帽;进入血管;心血管疾病;扫频;微型电机;心血管支架;图像失真;白胶;激光光源;中文 ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06Progress on optical components for ICF laser facility_上海光学精密机械研究所
中文题目:惯性约束聚变激光驱动装置用光学元器件的研究进展外文题目:ProgressonopticalcomponentsforICFlaserfacility作者:邵建达;戴亚平;许乔;刊名:光学精密工程年:2016期:12页：2889--2895中文关键词:惯性约束核聚变(ICF)激光装置;;光学 ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06基于莫尔条纹的光刻对准方法_上海光学精密机械研究所
中文题目:基于莫尔条纹的光刻对准方法作者:杜聚有;戴凤钊;王向朝;来源图书:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集年:2016页："1"会议名称:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集中文关键词:套刻;工艺节点;投影光刻机;重复精度;对准方法;莫尔条纹;亚纳米;关键性能指标;衍射光;傅里叶变换;中文摘要 ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06光刻投影物镜热像差分析方法_上海光学精密机械研究所
中文题目:光刻投影物镜热像差分析方法作者:茅言杰;李思坤;孙刚;王健;王磊;步扬;王向朝;来源图书:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集年:2016页："1"会议名称:第十六届全国光学测试学术交流会摘要集中文关键词:投影物镜;光刻机;质量劣化;工作阶段;校正技术;设计阶段;工作过程;分析方法;像质; ...上海光学精密机械研究所 上海光学精密机械研究所 免费考研网 2018-05-06
