中文题目: 采用空间像降维的光刻投影物镜偏振像差原位检测方法
作者: 孟泽江;李思坤;王向朝;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
投影物镜;套刻;光刻机;原位检测;数值孔径;偏振态;泡利;线性关系;主成分;测量过程;
中文摘要:
随着光刻分辨率的提高,大数值孔径投影物镜和偏振光照明的采用,投影物镜的偏振像差对光刻成像的影响变得不可忽略。偏振像差会引起图形位置偏移和最佳焦面偏移,从而降低光刻机的分辨率和套刻精度。此外,投影物镜经过装调和曝光后其偏振像差会发生改变,因此需要对偏振像差进行原位检测。目前光刻投影物镜偏振像差的原位检测方法可分为基于瞳面测量和基于空间像的


文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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