中文题目: 基于表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量技术
作者: 谷利元;曾爱军;胡国行;贺洪波;黄惠杰;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
测量技术;金属薄膜;薄膜材料;数据处理过程;测量精度;快速测量;非接触性;测量原理;入射角度;柱面镜;
中文摘要:
1.引言金属薄膜作为常用的薄膜材料,在光学,半导体等领域有着十分广泛的应用,因而精确测定其参数有着重要意义。椭偏技术作为一种常用的薄膜参数测量技术,虽然有着非破坏性,非接触性,测量精度高等优点,但是其后期数据处理过程繁琐复杂,不能实现快速测量。为实现对金属薄膜参数的快速测量,本文研究了一种基于表面等离子体共振效应(SPR)的金属薄膜参数测量技术。
文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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基于表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量技术_上海光学精密机械研究所
上海光学精密机械研究所 免费考研网/2018-05-06
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