中文题目: 光刻投影物镜热像差分析方法
作者: 茅言杰;李思坤;孙刚;王健;王磊;步扬;王向朝;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
投影物镜;光刻机;质量劣化;工作阶段;校正技术;设计阶段;工作过程;分析方法;像质;优化设计;
中文摘要:
投影物镜是光刻机最复杂、最重要的分系统之一。在光刻机工作过程中,投影物镜的热效应会引起光刻机成像质量劣化,热像差是投影物镜像差的主要来源之一。除光刻机工作阶段采用像质前馈校正技术对热像差进行补偿外,在投影物镜设计阶段需考虑通过优化设计最大限度的减小热像差。热像差分析对优化投影物镜设计具有重要意义。常见的热像差分析方法有物理模
文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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光刻投影物镜热像差分析方法_上海光学精密机械研究所
上海光学精密机械研究所 免费考研网/2018-05-06
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