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硅微结构集中力传感器的建模与仿真

文献类型	学位
作者	默哈默德阿里[1]
机构	北京航空航天大学 ↓
授予学位	硕士
年度	2003
学位授予单位	北京航空航天大学
语言	中文
关键词	微结构;硅;谐振器;传感器
摘要	该文研究一种新型的谐振式硅微结构传感器.它的基本传感部件是E型圆膜片,最终传感部件是连接到E型圆膜片上的光束谐振器.它的内容是含有介绍硅集中力传感器的背景知识.研究了它的整个机制,有限之建模与仿真计算等方面.该文具有一定的理论意义.

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dc:title:硅微结构集中力传感器的建模与仿真
dc:creator:默哈默德阿里
dc:date: publishDate:1753-01-01
dc:type:学位
dc:format: Media：北京航空航天大学
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：北京航空航天大学.2003.
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dc: identifier:ISBN: