刘泽文, 博士，教授，博士生导师，安徽肥东人，本科毕业于中国科学技术大学。 1997年法国巴黎第十一大学博士毕业后回国工作。曾任清华大学微电子所微纳器件与系统研究室副主任，微电子学研究所副所长等职。他是中国电子学会和中国微纳技术学会高级会员，多次担任自然科学基金, 国家重大专项和自然科学奖评审专家。曾经获得清华大学优秀教师，清华大学优秀博士生导师等称号。在国内外学术期刊和会议上发表学术论文100多篇，拥有发明专利30多项。他目前的主要研究方向是MEMS及微纳系统，主要研究领域包括：
1. 用于无线通讯的射频和微波MEMS器件研究
2. 用于DNA测序的纳米技术研究
3. 集成智能传感器研究
讲授的主要课程有：
《集成智能传感器》，《微纳技术加工原理》，《传感器在现代社会生活中的应用》
通信地址：
北京清华大学微电子学研究所，邮编100084
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E-MAIL: liuzw@tsinghua.edu.cn