王喆垚，男，1972年出生于内蒙古，1990考入清华大学精密仪器系，1995年获学士学位。同年免试进入清华大学精密仪器系攻读博士学位，2000年获机械电子学专业工学博士学位。2000-2002年在清华大学微电子学研究所从事博士后研究，2002-2003年在荷兰Delft University of Technology微电子与亚微米技术研究所（Delft Institute of Microelectronics and Submicron Technology, DIMES）从事博士后研究，2003年底回国工作。2003年底任副教授，2008年底晋升为教授。先后从事RF MEMS、高频硅微加工器件，以及BioMEMS的研究。
通信地址：北京清华大学微电子学研究所
邮编：100084
电话：-322
传真：
电子邮件：z.wang@mail.tsinghua.edu.cn
http://main.ime.tsinghua.edu.cn
目前主要研究方向：
1. BioMEMS及生物医学传感器
[1]. 蛋白检测传感器阵列和重大疾病早期诊断芯片
[2]. 微流体与芯片实验室（ Lab-on-a-chip ）
2. 三维集成芯片系统（SOC）
[1]. CMOS兼容三维集成技术
[2]. 三维铜互连技术
3. 微/纳电子机械系统及微纳传感器
[1]. 微纳米传感器
[2]. 集成传感器阵列
授权中国发明专利3项，公开专利6项，获得北京市科技进步二等奖1项（5/9），清华大学科技成果推广三等奖1项（5/5）。2005年入选北京市“科技新星计划”，入选2005年教育部“新世纪优秀人才支持计划”。目前负责国家自然科学基金（面上）、973子课题、863探索导向型项目，以及Intel和ABB公司国际合作项目。现为中国仪器仪表学会传感器分会理事，IEEE会员，IEEE Sensors Journal，IEEE Trans. Ultrasonic Ferroelectrics and Frequency Control，Microelectronics Reliability, Sensors and Actuators A/B等期刊应邀审稿人，IEEE Sensors Conference 2008及 2009 技术委员会委员。发表国际期刊和会议论文45篇。
