基本信息Personal Information
教授博士生导师
硕士生导师
主要任职：无
性别：男
毕业院校：威尔大学
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：机械工程学院
学科：微机电工程
办公地点：机械工程学院2号楼214-2
联系方式：办公电话：**
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个人简介Personal Profile
邹赫麟，教授，博士生导师。主要研究方向为：面向新一代信息技术领域的微纳传感执行器件的理论设计和微机电系统技术（MEMS）加工制造。承担和参加6项国家自然科学基金科研项目，发表SCI/EI收录论文110余篇，授权发明专利12项，指导出多名优秀博士生和硕士生。教育经历Education Background
工作经历Work Experience
1997.72001.6
威尔大学
半导体材料
博士
1985.81987.3
大连理工大学
半导体物理
硕士
1978.81982.8
大连理工大学
物理
学士
2007.6至今
大连理工大学机械工程学院
教授
2003.72007.6
伦敦帝国学院
研究员
1982.62003.7
大连理工大学物理系
讲师副教授
1973.121978.7
大连航务三处
工人
1970.91973.12
辽宁省盘锦地区
知青
研究方向Research Focus
社会兼职Social Affiliations
微/纳机电系统（MEMS），微纳加工技术，半导体材料、器件与集成电路，光学仪器与测试计量技术。
主要研究内容：①跨尺度微纳器件设计理论与制造技术；②微压电喷墨打印技术；③电液动力微纳直写打印技术；④微纳流控生物芯片设计与制造。
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性别：男
毕业院校：威尔大学
学位：博士
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当前位置: 中文主页 >> 科学研究
研究领域
微/纳机电系统（MEMS），微纳加工技术，半导体材料、器件与集成电路，光学仪器与测试计量技术。
主要研究内容：①跨尺度微纳器件设计理论与制造技术；②微压电喷墨打印技术；③电液动力微纳直写打印技术；④微纳流控生物芯片设计与制造。
论文成果 More>>
Yang, Xue,Jiang, Xinyan,Yin, Zhifu,Chen, Kai,Cheng, E.,Zou, Helin,Wang, Dong F..An economic and concise method to solve nozzle clogging issue during electro hydrodynamic printing[J],INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B,2019,33(23)
Yang, Zheng,Wang, Qiusen,Qi, Liping,Wang, Xing,Li, Kehong,Chen, Da,Li, Chen,Zou, Helin.Double-layer resist method to improve descum result when removing negative photoresist[J],MICRO & NANO LETTERS,2019,14(6):694-697
Sun, Lei,Liu, Lingpeng,Qi, Liping,Zhou, Jiangang,Yin, Zhifu,Wu, Dongjiang,Zou, Helin.A new low-cost fabrication method of SU-8 micro-nano channels and needle tip in electro-hydrodynamic jet chips[J],JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,2018,28(11)
Wang, Fuan,Zhou, Jiangang,Wang, Xing,Chen, Da,Wang, Qiusen,Dou, Jiao,Li, Qi,Zou, Helin.Effect of Ce doping on crystalline orientation, microstructure, dielectric and ferroelectric properties of (100)-oriented PCZT thin films via sol-gel method[J],JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS,2018,29(21):18668-18673
Xiao, Xiaolei,Wang, Xing,Chen, Da,Dou, Jiao,Wang, Shangfei,Zou, Helin.A waveform design method for piezoelectric inkjet printhead with Doppler vibration test and numerical simulation[J],MICROELECTRONIC ENGINEERING,2018,196:13-19
Wang, Xing,Xiao, Xiaolei,Qi, Liping,Wang, Qiusen,Dou, Jiao,Zou, Helin.Effects of the 'spring structure' on the performance of a vibrating plate of the piezoelectric inkjet print-head[J],MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS,2018,24(7):2949-2956
专利 More>>
一种带有纳米尺度通道的SU-8胶电液动力射流喷针制造方法
MEMS 2D AIR AMPLIFIER ION FOCUSING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
一种仿蚊子嘴空心微针阵列的制作方法
MEMS空气放大器离子聚集装置的制作方法
基于SU-8胶的电喷雾离子聚焦电极的制作方法
液体喷头
著作成果
暂无内容
科研项目 More>>
聚合物喷针纳米通道中电液动力射流体尺度效应的研究, 国家自然科学基金项目, 2017/08/17, 进行
压电喷射及打印机的喷头与耗材的匹配研究, 企事业单位委托科技项目, 2016/06/25-2018/12/31, 进行
二维纳米模具制造, 自选课题, 2016/06/15-2017/06/14, 进行
MEMS聚合物微环光波导制造, 企事业单位委托科技项目, 2014/07/24-2015/01/24, 完成
压电喷头的工程样头制作, 企事业单位委托科技项目, 2013/07/15-2013/07/30, 进行
微系统集成硅基纳升电喷雾电离器的研制, 省、市、自治区科技项目, 2008/01/01-2010/12/31, 完成
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研究领域
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 研究领域微/纳机电系统（MEMS），微纳加工技术，半导体材料、器件与集成电路，光学仪器与测试计量技术。
主要研究内容：①跨尺度微纳器件设计理论与制造技术；②微压电喷墨打印技术；③电液动力微纳直写打印技术；④微纳流控生物芯片设计与制造。
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论文成果
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果[1]Yang, Xue,Jiang, Xinyan,Yin, Zhifu,Chen, Kai,Cheng, E.,Zou, Helin,Wang, Dong F..An economic and concise method to solve nozzle clogging issue during electro hydrodynamic printing[J],INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B,2019,33(23)
[2]Yang, Zheng,Wang, Qiusen,Qi, Liping,Wang, Xing,Li, Kehong,Chen, Da,Li, Chen,Zou, Helin.Double-layer resist method to improve descum result when removing negative photoresist[J],MICRO & NANO LETTERS,2019,14(6):694-697
[3]Sun, Lei,Liu, Lingpeng,Qi, Liping,Zhou, Jiangang,Yin, Zhifu,Wu, Dongjiang,Zou, Helin.A new low-cost fabrication method of SU-8 micro-nano channels and needle tip in electro-hydrodynamic jet chips[J],JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,2018,28(11)
[4]Wang, Fuan,Zhou, Jiangang,Wang, Xing,Chen, Da,Wang, Qiusen,Dou, Jiao,Li, Qi,Zou, Helin.Effect of Ce doping on crystalline orientation, microstructure, dielectric and ferroelectric properties of (100)-oriented PCZT thin films via sol-gel method[J],JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS,2018,29(21):18668-18673
[5]Xiao, Xiaolei,Wang, Xing,Chen, Da,Dou, Jiao,Wang, Shangfei,Zou, Helin.A waveform design method for piezoelectric inkjet printhead with Doppler vibration test and numerical simulation[J],MICROELECTRONIC ENGINEERING,2018,196:13-19
[6]Wang, Xing,Xiao, Xiaolei,Qi, Liping,Wang, Qiusen,Dou, Jiao,Zou, Helin.Effects of the 'spring structure' on the performance of a vibrating plate of the piezoelectric inkjet print-head[J],MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS,2018,24(7):2949-2956
[7]黎晨,王秋森,王兴,王上飞,邹赫麟.利用双层胶方法去除负性光刻胶残胶效果研究[J],机电技术,2018,3:78-82
[8]Yin, Zhifu,Cheng, E.,Zou, Helin.Fast Microfluidic Chip Fabrication Technique by Laser Erosion and Sticky Tape Assist Bonding Technique[J],JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY,2018,18(6):4082-4086
[9]Li, Qi,Wang, Xing,Wang, Fuan,Chen, Da,Xiao, Xiaolei,Zou, Helin.Effect of neodymium substitution on crystalline orientation, microstructure and electric properties of sol-gel derived PZT thin films[J],CERAMICS INTERNATIONAL,2018,44(7):7709-7715
[10]Yin, Zhifu,Zou, Helin,Sun, Lei.Polycarbonate Nanofluidic Chip Fabrication Technique by Hot Embossing and Thermal Bonding[J],JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY,2018,18(4):2530-2535
[11]Yin, Zhifu,Zou, Helin.A fast and simple bonding method for low cost microfluidic chip fabrication[J],JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING-ELEKTROTECHNICKY CASOPIS,2018,69(1):72-78
[12]邹赫麟. Effect of neodymium substitution on crystalline orientation, microstructure and electric properties of sol-gel derived PZT films. Ceramics International[J],Ceramics International,2018,44(7):7709-7715
[13]Yi, Maocong,Feng, Jianbo,Yin, Zhifu,Zou, Helin.Fabricating method of SU-8 photoresist conical nozzle for inkjet printhead[J],MATERIALS AND MANUFACTURING PROCESSES,2018,33(8):898-904
[14]Gong, Zhenfeng,Chen, Ke,Zhou, Xinlei,Yang, Yang,Zhao, Zhihao,Zou, Helin,Yu, Qingxu.High-Sensitivity Fabry-Perot Interferometric Acoustic Sensor for Low-Frequency Acoustic Pressure Detections[J],JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY,2017,35(24):5276-5279
[15]Li, Q.,Wang, X.,Wang, F.,Dou, J.,Xu, W.,Zou, H..Effect of Nb Doping on Crystalline Orientation, Electric and Fatigue Properties of PZT Thin Films Prepared by Sol-Gel Process[J],JOURNAL OF CERAMIC SCIENCE AND TECHNOLOGY,2017,8(4):519-524
[16]Wei, Hongfang,Xiao, Xiaolei,Yin, Zhifu,Yi, Maocong,Zou, Helin.A waveform design method for high DPI piezoelectric inkjet print-head based on numerical simulation[J],MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS,2017,23(12):5365-5373
[17]Yin, Zhifu,Lu, Bolin,Cheng, E.,Sun, Lei,Zou, Helin.Fabrication of Bottom Fillet Nano-Mold to Increase the Mold Lifetime[J],JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY,2017,17(12):8975-8980
[18]Yin, Zhifu,Lu, Bolin,Zou, Helin.A novel SU-8 nanofluidic chip fabrication technique based on traditional UV photolithography[J],MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS,2017,23(12):5613-5619
[19]Yin, Zhifu,Zou, Helin.Multilayer patterning technique for micro- and nanofluidic chip fabrication[J],MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS,2017,21(12)
[20]Yin, Zhifu,Cheng, E.,Zou, Helin.Numerical study on the shrinkage behavior of SU-8 patterns[J],MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS,2017,23(10):4957-4964
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专利
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 专利一种带有纳米尺度通道的SU-8胶电液动力射流喷针制造方法
MEMS 2D AIR AMPLIFIER ION FOCUSING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
一种仿蚊子嘴空心微针阵列的制作方法
MEMS空气放大器离子聚集装置的制作方法
基于SU-8胶的电喷雾离子聚焦电极的制作方法
液体喷头
一种低成本微纳一体化结构的制作方法
一种电喷雾扩散离子的聚焦装置及方法
电喷雾两级气体辅助聚集装置
喷墨头的制造方法及喷墨头
液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备
液体喷射装置及其一体成型制造方法
液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置
一种制备纳米通道断面形貌样品的置换表征方法
高速二维运动轨迹非接触光电检测新方法
一种带有纳米尺度通道的SU-8胶电液动力射流喷针制造方法
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科研项目
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 科研项目聚合物喷针纳米通道中电液动力射流体尺度效应的研究, 国家自然科学基金, 2017/08/17, 进行
压电喷射及打印机的喷头与耗材的匹配研究, 2016/06/25-2018/12/31, 进行
二维纳米模具制造, 2016/06/15-2017/06/14, 进行
MEMS聚合物微环光波导制造, 2014/07/24-2015/01/24, 完成
压电喷头的工程样头制作, 2013/07/15-2013/07/30, 进行
微系统集成硅基纳升电喷雾电离器的研制, 辽宁省高等学校科研计划项目, 2008/01/01-2010/12/31, 完成
一种紫外纳米压印实现微纳结构跨尺度低成本集成制造的新方法, 高等学校博士学科点专项科研基金项目, 2012/12/18-2016/05/31, 完成
大气压环境下高输运效率MEMS纳升电喷雾电离源的研究, 国家自然科学基金, 2010/09/25-2013/12/31, 完成
白光干涉测量传感通用信号处理系统, 国家自然科学基金, 2017/08/17, 进行
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