基本信息Personal Information
教授博士生导师
硕士生导师
主要任职：无
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化 微机电工程 机械电子工程
办公地点：机械学院东楼212-1房间
联系方式：**-2121
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个人简介Personal Profile
主要从事MEMS加工工艺方面的研究工作。主要研究方向包括：微器件UV-LIGA加工技术、微模具制造、PZT压电薄膜制备与应用、超声波在微纳加工中应用等。作为项目负责人承担国家自然科学基金项目4项, 省部级项目2项，合作科研项目10余项；作为主要研究人员参加国家973计划项目、863项目、“十二五”科技支撑计划项目、国家自然科学基金重大、重点项目等多项。2011年入选“辽宁省新世纪百千万人才工程”百人层次。以第一作者/通讯作者发表学术论文110余篇，其中被SCI收录35篇、被EI收录76篇，以第一发明人授权发明专利11项。教育经历Education Background
工作经历Work Experience
1996.31999.3
东北大学
机械学
博士
1988.91991.3
东北大学
机械学
硕士
1984.91988.7
东北大学
矿山机械
学士
2007.12至今
大连理工大学
教授
2002.112007.12
大连理工大学
副教授
2000.102002.9
日本名古屋大学
博士后
1994.31999.6
东北大学
讲师
1991.31994.3
东北大学
助教
研究方向Research Focus
社会兼职Social Affiliations
金属微器件的加工技术
微模具型芯制造技术
超声波在微纳加工中应用
PZT压电薄膜制备与应用
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当前位置: 中文主页 >> 科学研究
研究领域
微纳机电系统、微模具制造
论文成果 More>>
Liu, Junshan,Hu, Xiaoguang,Wang, Zelong,Cai, Yindi,Liu, Zhe,Liu, Zehan,Xu, Zheng,Zhang, Xi,Du, Liqun.Transfer printing via a PAA sacrificial layer for wrinkle-free PDMS metallization[J],JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS,2020,31(3):2347-2352
Du, L. Q.,Chen, S. L.,Zhao, M.,Tao, Y. S.,Luo, L.,Yang, T.,Liu, S. J.,Hao, Y. P..Research on Fabrication of a Multi-Scale Inertial Switch with Ultra-High Aspect Ratio[A],2018,243-249
杜立群,王伟泰,杜成权,刘旭强,赵剑.基于微电铸工艺的镍微型惯性开关的研制[J],电加工与模具,2019,2:47-51
Zhao, Ming,Du, Liqun,Xu, Zheng,Zhang, Xi,Cao, Qiang,Ji, Xuechao,Wei, Zhuangzhuang,Liu, Junshan.Improving the thickness uniformity of micro electroforming layer by megasonic agitation and the application[J],MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS,2020,239
Song C.,Du L.,Yang T.,Luo L.,Tao Y.,Zhang X..Experimental study on the relationship between dislocation density and internal stress in micro ele[J],Key Engineering Materials,2015,645:405-410
杜立群,赵文君,翟科,杜成权,魏壮壮,姬学超.基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究[J],电加工与模具,2019,4:44-48,68
专利 More>>
减小微电铸层残余应力的兆声辅助电铸方法
一种厚光刻胶膜厚度的非接触式光学测量方法
一种测量金属微结构残余应力的方法
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法
一种自由曲面灰度掩膜的设计方法
超声提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法
著作成果
暂无内容
科研项目 More>>
长延时万向开关的研制, 企事业单位委托科技项目, 2015/04/20-2015/07/31, 完成
电场仿真优化与实验研究, 企事业单位委托科技项目, 2019/11/07-2020/06/30, 进行
兆声微粒协同作用高精度金属微器件掩膜电解加工机理与方法, 国家自然科学基金项目, 2019/08/16, 进行
装配式保险机构的工艺技术开发, 企事业单位委托科技项目, 2019/06/20-2019/11/30, 进行
基于MEMS工艺的金属微通道底板成型技术, 企事业单位委托科技项目, 2018/04/15-2018/10/31, 进行
金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术, 企事业单位委托科技项目, 2017/07/15-2017/12/31, 进行
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论文成果
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果[1]Liu, Junshan,Hu, Xiaoguang,Wang, Zelong,Cai, Yindi,Liu, Zhe,Liu, Zehan,Xu, Zheng,Zhang, Xi,Du, Liqun.Transfer printing via a PAA sacrificial layer for wrinkle-free PDMS metallization[J],JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS,2020,31(3):2347-2352
[2]Du, L. Q.,Chen, S. L.,Zhao, M.,Tao, Y. S.,Luo, L.,Yang, T.,Liu, S. J.,Hao, Y. P..Research on Fabrication of a Multi-Scale Inertial Switch with Ultra-High Aspect Ratio[A],2018,243-249
[3]杜立群,王伟泰,杜成权,刘旭强,赵剑.基于微电铸工艺的镍微型惯性开关的研制[J],电加工与模具,2019,2:47-51
[4]Zhao, Ming,Du, Liqun,Xu, Zheng,Zhang, Xi,Cao, Qiang,Ji, Xuechao,Wei, Zhuangzhuang,Liu, Junshan.Improving the thickness uniformity of micro electroforming layer by megasonic agitation and the application[J],MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS,2020,239
[5]Song C.,Du L.,Yang T.,Luo L.,Tao Y.,Zhang X..Experimental study on the relationship between dislocation density and internal stress in micro ele[J],Key Engineering Materials,2015,645:405-410
[6]杜立群,赵文君,翟科,杜成权,魏壮壮,姬学超.基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究[J],电加工与模具,2019,4:44-48,68
[7]Zhai, Ke,Du, Liqun,Wen, Yikui,Wang, Shuxuan,Cao, Qiang,Zhang, Xi,Liu, Junshan.Fabrication of micro pits based on megasonic assisted through-mask electrochemical micromachining[J],Ultrasonics,2020,100:105990
[8]李晓军,吕辉,朱和卿,赵雯,杜立群.雷达用高深宽比金属铜微通道散热器的制作[J],航空制造技术,2019,62(1):95-100
[9]朱和卿,吕辉,赵雯,姬学超,魏壮壮,杜立群.金属微通道散热器结构微电铸均匀性研究[J],电加工与模具,2019,1:43-48,51
[10]吕辉,王仁彻,严战非,沈涛,杜立群.金属微通道结构 UV-LIGA 精密成形技术研究[J],电子机械工程,2018,34(6):39-42
[11]Song, Chang,Du, Liqun,Ji, Xuechao.Reducing the residual stress in micro electroforming layer by megasonic agitation[J],ULTRASONICS SONOCHEMISTRY,2018,49:233-240
[12]杜立群,翟科,姬学超,魏壮壮,杜成权,刘旭强.兆声波精密微电铸设备及相关工艺研究[J],航空制造技术,2018,61(21):52-56
[13]Du, Liqun,Zhao, Wenjun,Zhai, Ke,Song, Chang,Li, Qingfeng.Fabrication of microfluidic chip mold based on through-mask electrochemical etching and micro electroforming process[J],JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,2018,28(7)
[14]杜立群,齐磊杰,朱和卿,赵雯,阮久福.基于电化学沉积的金属基微射频T形功分器研制[J],电加工与模具,2018,3:26-30,44
[15]杜立群,李爰琪,齐磊杰,李晓军,朱和卿,赵雯,阮久福.高精度AZ厚胶光刻及在微型射频同轴器制作中的应用[J],航空制造技术,2018,61(9):26-31
[16]Du Liqun,Li Yu,Zhao Jian,Wang Weitai,Zhao Wenjun,Zhao Wen,Zhu Heqing.A low-g MEMS inertial switch with a novel radial electrode for uniform omnidirectional sensitivity[J],SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,2018,270:214-222
[17]高林松,吕继组,白敏丽,胡成志,杜立群.微米结构表面强化沸腾传热实验研究[A],2018中国工程热物理学会多相流分会,2018
[18]Song, Chang,Du, Liqun,Qi, Leijie,Li, Yu,Li, Xiaojun,Li, Yuanqi.Residual stress measurement in a metal microdevice by micro Raman spectroscopy[J],JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,2017,27(10)
[19]Song, Chang,Du, Liqun,Li, Xiaojun,Li, Yuanqi,Qi, Leijie,Li, Yu.Residual stress modeling and analysis for micro electroforming layer[J],MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS,2017,23(10):4709-4716
[20]杜立群,李庆峰,李爰琪,赵文君.基于电化学刻蚀与微电铸工艺的微流控芯片模具制作[J],航空制造技术,2017,17:16-20
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专利
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 专利减小微电铸层残余应力的兆声辅助电铸方法
一种厚光刻胶膜厚度的非接触式光学测量方法
一种测量金属微结构残余应力的方法
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法
一种自由曲面灰度掩膜的设计方法
超声提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法
金属基底上制备高深宽比金属微光栅的方法
金属镍基底上制备高密集微细镍圆柱阵列的方法
金属基底上制备微射频T形功分器的方法
一种聚合物平面纳米沟道制作方法
筛选G蛋白偶联受体药物的方法及装置
微电铸金属模具的制作方法
一种三维电铸微结构的制作方法
一种专用微流控芯片及其单次加样连续分离电泳方法
聚合物光刻胶超声时效的装置和方法
一种提高微电铸铸层尺寸精度的方法
一种聚合物平面纳米沟道制作方法
一种玻璃微纳流控芯片、制作组装方法及其辅助装配装置
一种玻璃微纳流控芯片对准装配方法及对准装配装置
一种微流控芯片注塑成型模具
一种微流控芯片热流道注塑成型模具
一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法
一种电热驱动微结构的制作方法
一种成型附有储液池的微流控芯片注塑模具
一种提高注塑成型PMMA微流控芯片热压键合率的方法
聚合物微流控芯片基片与盖片一体化注塑成型模具
集成厚度可控绝缘层的非接触电导检测微芯片制作方法
一种金属基底上制作多层金属可动微结构的方法
超声提高SU-8光刻胶与金属基底界面结合强度的方法
一种自由曲面灰度掩膜的设计方法
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科研项目
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 科研项目长延时万向开关的研制, 2015/04/20-2015/07/31, 完成
电场仿真优化与实验研究, 2019/11/07-2020/06/30, 进行
兆声微粒协同作用高精度金属微器件掩膜电解加工机理与方法, 国家自然科学基金, 2019/08/16, 进行
装配式保险机构的工艺技术开发, 2019/06/20-2019/11/30, 进行
基于MEMS工艺的金属微通道底板成型技术, 2018/04/15-2018/10/31, 进行
金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术, 2017/07/15-2017/12/31, 进行
高冲击下MEMS惯性探测驱动一体化机构与微观碰撞机理研究, 国家自然科学基金, 2014/09/25, 完成
微机电惯性开关的研制, 2016/01/20-2016/06/30, 完成
无氧铜金属微光栅的研制, 2015/06/20-2015/12/30, 进行
金属模板的微电铸实验, 2014/10/22-2014/12/30, 完成
超高深宽比惯性开关的研制, 2014/08/27-2014/12/31, 完成
硅基MEMS热驱动器的研制, 2009/10/10-2010/01/10, 完成
金属光栅微器件的制作工艺技术, 2013/11/19-2013/12/31, 进行
兆声调控电铸微结构内应力与均匀性的机理及方法, 国家自然科学基金, 2013/09/25-2017/12/31, 完成
活化与细密的微电铸层界面结合理论与控制方法, 国家自然科学基金, 2010/09/25-2013/12/31, 完成
微制造中有机高聚物超声时效理论与方法研究, 国家自然科学基金, 2006/09/25-2009/12/31, 完成
心肌损伤标志物超微量快速检测产品的研发, 国家科技支撑计划项目, 2015/01/01-2017/12/31, 完成
力执行器的研制, 2012/06/15-2012/12/15, 完成
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