廖广兰

姓名：廖广兰
电话：
职称：教授
邮箱：guanglan.liao@hust.edu.cn
教师主页平台：http://faculty.hust.edu.cn/liaoguanglan/zh_CN/index.htm
个人基本情况 廖广兰（Liao Guanglan，Professor），男，华中科技大学机械科学与工程学院机械电子与信息工程系教授、博士生导师，中国机械工程学会、中国微米纳米技术学会高级会员。2009年参与国家级教学团队《机械学科测控课程群教学团队》、2011年入选教育部新世纪优秀人才支持计划、2012年获得国家优秀青年科学基金资助、2013年作为核心人员参加教育部创新团队《微纳制造与纳米测量技术》。近年来主要从事微纳制造、微电子封装及测试等方面的教学科研工作，主持5项国家自然科学基金委优秀青年基金、面上项目、青年基金及对外交流与合作项目，参与国家973、863、重大专项项目等十余项，在ACS Nano、Nanoscale Research Letters、IEEE Trans.、Sensor Actuat A-phys等杂志发表学术论文百余篇，其中录用和发表SCI刊源论文50余篇，多篇文章被Nature Photonics、Nano Lett.、Acs Nano等杂志引用。申请国家发明专利36项，获得授权12项。


主要研究方向 微纳制造与测试
微电子封装
故障诊断


开设课程 《工程测试技术》
《微细加工与纳米技术》
《软件技术基础》
《数据库技术》


近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖 承担的科研项目：
1.国家自然科学基金委优秀青年基金“仿生微纳制造与应用研究”(2013-2015)
2.国家自然科学基金面上项目“染料敏化太阳能电池光阳极结构的仿生设计与可控制备”(2012-2015)
3.国家自然科学基金面上项目“热/声激励的高密度超细间距倒装焊缺陷诊断方法研究”(2010-2012)
4.国家自然科学基金青年基金“MEMS封装失效的诊断与预测方法研究”(2005-2007)


部分授权发明专利：
1. 一种硅湿法刻蚀工艺ZL 2.4
2.一种三维微型模具的制造方法ZL 9.5
3.一种短波长光辅助硅片直接键合方法ZL 4.5
4.一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置ZL 7.6
5.一种仿蝴蝶磷翅分级多层非对称微纳结构的制备方法ZL 8.9
6.一种仿生微纳结构制备方法ZL 2.1
7.用于制造太阳能电池光阳极的方法及其产品ZL 3.6
8.一种仿壁虎脚结构材料制造工艺ZL 4.9
9.一种太阳能电池光阳极的微纳复合结构及其制备方法ZL 6.8
10.一种磁场辅助的硅微纳加工工艺及装备ZL 8.9
11.一种扩散焊制备多层非晶合金与晶态金属复合结构的方法ZL 2.X
12.一种微米管制造工艺ZL 0.4


荣誉与奖励：
1.2009年参与国家级教学团队《机械学科测控课程群教学团队》
2.2011年入选教育部新世纪优秀人才支持计划
3.2012年获得华中科技大学第三届研究生导师“治学楷模”师表奖
4.2012年获得国家自然科学基金优秀青年基金
5.2012年被聘为华中****“晨星岗”
6. 2013年作为核心人员参加“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队


代表性著作：
1. Wenjun Sheng, Bo Sun, Tielin Shi, Xianhua Tan, Zhengchun Peng, Guanglan Liao*. Quantum Dot-Sensitized Hierarchical Micro/Nanowire Architecture for Photoelectrochemical Water Splitting. ACS Nano. 2014, 8(7): 7163-7169
2. Guanglan Liao, Tielin Shi, Xiaohui Lin, Ziwen Ma. Effect of surface characteristic on room-temperature silicon direct bonding. Sensors and Actuators A-Physical. 2010, 158: 335-341
3. Xianhua Tan, Tielin Shi, Yang Gao, Wenjun Sheng, Bo Sun and Guanglan Liao*. Fabrication of micro/nanotubes by mask-based diffraction lithography. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2014, 24(5): 055006.
4. Xuefeng Yang, Zhengchun Peng, Haibo Zuo, Tielin Shi, Guanglan Liao*. Using hierarchy architecture of Morph butterfly scales for chemical sensing: Experiment and modeling. Sensors And Actuators A-Physical. 2011,167: 367-373
5. Peng P, Liao GL*, Shi TL, Tang ZR, Gao Y. Molecular dynamic simulations of nanoindentation in aluminum thin film on silicon substrate. Applied Surface Science, 2010, 256, 6284-6290