王磊杰
技术职务:助理研究员
办公电话: **
通讯地址:清华大学李兆基科技大楼A823
电子邮件:wang-lj66@mail.tsinghua.edu.cn





教育背景
工作履历
科研工作
论文与专利
奖励与荣誉

2010/09-2016/07,清华大学，博士
2006/09-2010/07,中国矿业大学（北京），学士


2018/07-至今, 清华大学机械工程系，助理研究员
2016/07-2018/07,清华大学机械工程系，博士后


面向IC装备光刻机的国家重大需求，围绕纳米/亚纳米测量精度的生成，重点开展光刻机超精密激光干涉仪位移测量技术、光刻机超精密光栅干涉仪位移测量技术、基于扫描干涉光刻的大尺寸高精度平面全息光栅制造技术的基础理论和关键技术研究。主持中国博士后科学基金项目1项，参与国家02科技重大专项4项、863项目1项、973项目1项。


1.发表的论文：
(1)Zhu Yu, Wang Leijie, Zhang Ming, et., al. Novel homodyne frequency-shifting interference pattern locking system. Chinese Optics Letters, 2016, 14(6), 061201
(2) WANG Leijie, ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. A novel heterodyne planar grating encoder system for in-plane and out-of-plane displacement measurement with nanometer-resolution [C]// Proceedings of the 29th annual meeting of the American Society for Precision Engineering. Raleigh, NC, USA: ASPE, 2014: 173-177.
(3) WANG Leijie, ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. Progress on scanning beam interference lithography tool with high environmental robustness for patterning large size grating with nanometre accuracy [C]// Proceedings of the 17th annual meeting of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology. Germany: EUSPEN, 2017: 47-48.
(4)WANG Leijie, ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. The next generation heterodyne interferometric grating encoder system for multi-DOF displacement measurement of wafer stage [C]// Proceedings of the 32th annual meeting of the American Society for Precision Engineering. Raleigh, NC, USA: ASPE, 2017,67:326-331.
(5) 王磊杰, 张鸣, 鲁森, 朱煜, 杨开明. 干涉图形相位锁定系统的超精密控制. 光学精密工程, 2017, 25(5): 1213-1221.
(6) 王磊杰, 张鸣, 鲁森, 朱煜, 杨开明. 超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统. 光学精密工程, 2017, 25(12): 2975-2985.
(7) 王磊杰, 张鸣, 朱煜, 鲁森, 杨开明. 扫描干涉光刻机相位锁定系统设计. 清华大学学报（自然科学版）, 2015, 55(7): 722-727.
(8) 朱煜, 王磊杰, 张鸣, 祁利山. 扫描干涉光刻机光束自动准直系统设计. 清华大学学报（自然科学版）, 2015, 55(7): 716-721.
(9) 王磊杰, 张鸣, 朱煜. 基于Modelica的直线电机控制系统建模与仿真研究.系统仿真学报, 2012, 24 (8): 1737-1740.
(10)Zhang Ming, Ni Chang, Zhu Yu, Wang Leijie, et al. Large-range displacement measurement using sinusoidal phase-modulating laser diode interferometer. ChineseOptics Letters, 2017, 17(10), 101201.
(11) Lu, Sen, Yang, Kaiming, Zhu, Yu, Wang, Leijie, Zhang, Ming. Yaw error correction of ultra-precision stage for scanning beam interference lithography systems.Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers Part I-Journal of Systems and Control Engineering, 2018,232(7):869-878.
(12)鲁森, 杨开明, 朱煜, 王磊杰, 张鸣. 干涉条纹相位锁定系统. 光学精密工程, 2017, 25(1): 1-7.
(13)鲁森, 杨开明, 朱煜, 王磊杰, 张鸣. 用于扫描干涉场曝光的超精密微动台设计与控制. 光学学报, 2017, 37(10): **.
(14)鲁森, 杨开明, 朱煜, 王磊杰, 张鸣. 扫描干涉场曝光中光栅掩模槽型轮廓预测方法研究. 光学学报, 2018, 38(05): **.
(15)鲁森, 杨开明, 朱煜, 王磊杰, 张鸣. 基于远场干涉的扫描干涉场曝光光学系统设计与分析. 光学学报, 2018, 38(06): **.


2.获得的发明专利：
(1) Ming Zhang, Yu Zhu, Leijie Wang, et al. HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM. US ** B2. 2018/1/30.
(2) Yu Zhu, Ming Zhang, Leijie Wang, et al. DUAL-FREQUENCY GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM. US ** B2. 2018/2/6.
(3) Yu Zhu, Ming Zhang, Leijie Wang, et al. OPTICAL GRATING PHASE MODULATOR FOR LASER INTERFERENCE PHOTOETCHING SYSTEM. US ** B2. 2018/1/16.
(4) Yu Zhu, Leijie Wang, Ming Zhang, et al. THREE-DOF HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM. US ** B2. 2018/2/27.
(5) 张鸣, 朱煜, 王磊杰, 等. 一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置: 中华人民共和国, ZL6.X [P]. 2012.06.01.
(6) 朱煜, 王磊杰, 张鸣, 等.一种光刻机工件台系统: 中华人民共和国, ZL7.9 [P]. 2013.06.19.
(7) 张鸣, 朱煜, 王磊杰, 等.一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统: 中华人民共和国, ZL3.3 [P]. 2013.01.17.
(8) 朱煜, 王磊杰, 张鸣,等.一种激光干涉光刻系统: 中华人民共和国, ZL1.8 [P]. 2012.11.09.
(9) 张鸣, 朱煜, 王磊杰, 等.一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统: 中华人民共和国, ZL3.X [P]. 2013.06.19.
(10) 张鸣, 朱煜, 王磊杰, 等.基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统 : 中华人民共和国, ZL5.0 [P]. 2014.01.23.
(11) 张鸣, 朱煜, 王磊杰, 等.一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统: 中华人民共和国, ZL1.6 [P]. 2014.01.23.
(12) 朱煜, 王磊杰, 张鸣, 等.基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统: 中华人民共和国, ZL3.6 [P]. 2014.01.23.


2018年获北京市科学技术奖一等奖