王海容
教授、博士生导师
单位：机械工程学院
《机械工程与技术》期刊编委。
概况：从事于MEMS与纳米技术，精密加工技术等方面应用研究，分别主持和以主要完成人身份承担国家自然科学基金、973项目、863重点项目、军工项目、省市科技攻关项目、教育部新世纪优秀人才计划项目、西安交通大学基本科研业务费前沿技术项目、香港ITC项目等。以通讯或第一作者已发表文章110余篇，其中EI收录70篇，SCI收录40篇。申请及授权专利发明专利40项，软件著作权2项，多项专利得到转化。2005年获教育部科技进步奖1项，北京市科技进步二等奖1项。
研究特色：高端微纳固态气体传感器研究及在呼吸分析、安全、环境领域的应用，微纳超低限VOCs集成芯片研究与生物医学应用；超精密元件表面全表面质量评定与工艺优化。
联系方式
地址：陕西省西安市咸宁西路28号，西安交通大学机械工程学院
机械制造系统国家重点实验室
邮编：710049
邮箱：whairong@mail.xjtu.edu.cn
欢迎报考研究生，加入我们课题组，为技术发展、社会进步做出贡献。
个人简介
教育背景
起止年月
学习单位与专业
学位
1991.9-1995.7
1995.9-1998.7
1998.9-2002.4
燕山大学 液压专业
西安交通大学 机械工程专业
西安交通大学 机械工程专业
工学学士
工学硕士
博士学位
工作经历
起止年月
学习、工作单位
任职
2002.2-2007.7
2007.7-2015.12
2002.8-2004.3
2006.7 -2007.3
西安交通大学 机械工程学院
西安交通大学 机械工程学院
香港理工大学 材料研究中心
香港中文大学精密工程研究所
讲师
副教授
博士后
副研究员
2016.1- 西安交通大学 机械工程学院 教授
2008年入选西安交通大学青年骨干教师教授计划
2009年入选教育部新世纪优秀人才计划
近年来主讲课程
《MEMS与纳米技术》：本科生基础专业课 48课时
《微纳制造技术导论》：本科生专业课 40课时
本科生专业课 36课时
《MEMS技术及应用》：本科生专业课 36课时
《微纳米测试技术》： 研究生课程 40课时
研究方向与特色
MEMS与纳米技术、超精密加工技术
微纳固态气体传感器研究及应用
微纳集成芯片研制与生物医学应用
课题组最新状态
课题组的研究成果获得2019年北京市科技进步二等奖《基于微色谱的快速准确高灵敏气体检测关键技术及应用》。
2019年11月23日，王海容老师参加第十四届中国气湿敏传感技术学术交流会（ GAS SENSORS-2019），并做了邀请报告《基于微纳气体传感芯片的呼吸诊断技术》。
2019年9月19日，课题组谷汉卿博士关于硅超晶格的研究成果 "Thermal conduction in amorphous/crystalline silicon superlattices: a molecular dynamics study of the size, temperature, and strain effect" 被期刊 Materials Research Express 录用。
2019年9月18日，课题组李志宾博士提出一种新的薄膜应变作用下的热导率测试方法，研究结果"A Testing System for Studying the Effect of Strain on Thermal Conductivity of Thin Films based on 3-ω Technique" ，被AIP经典期刊 Review of Scientific Instruments录用。
2019年9月8日，肖华攀博士最新论文《Evaluation of surface and subsurface damages for diamond turning of ZnSe crystal》被Optics Express (IF=3.561, Top期刊)接收！
2019年8月20日-22日，王海容老师参加了位于大连的特种光电功能材料与器件应用研讨会，并做了《光学元件亚表面损伤及其对激光损伤阈值的影响研究》的邀请报告。
2019年8月4日-8日，张成博士参加了位于浙江的第九届3M NANO国际会议，就课题组的最新研究成果做了报告。
祝贺陈翰林同学荣获校级优秀硕士。近几年，课题组每年都有同学获得校级优秀硕士荣誉称号。
2019年6月17日，肖华攀博士最新论文被Journal of Materials Processing Technology (IF=4.178)接收！论文链接：https://doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2019.116267
2019年5月19日-22日，陈志同学参加了位于青岛的SPIE-PLD/TFPA 2019国际会议，交流了最新的研究成果。
2018年7月17日-20日，韩宝庆博士、陈翰林同学参加了位于深圳的第九届Thin films2018国际会议，就课题组的最新研究成果做了报告。
2018年4月22日-28日，肖华攀博士在日本横滨参加了OPTICS & PHOTONICS International Congress 2018高水平国际学术会议，就课题组的最新研究成果做了汇报。
2018年4月11日-14日，韩宝庆博士在上海参加了CMEF 2018中国国际医疗器械展。
2017年8月7日-11日，韩宝庆博士、王梦雅同学参加了位于上海的第七届3M NANO国际会议，就课题组的最新研究成果做了报告。
2017年8月1日-3日，张咪同学在广州参加了第五届机械、自动化、材料工程国际会议（CMAME2017），就课题组的最新研究成果做了报告。
2017年7月20日，邀请英国南安普顿大学Martin Charlton教授参观实验室并做学术报告。
2017年7月4日，王海容老师为上海研究生暑期学校做《工业机器人关键技术及典型应用》报告。
2017年6月20日，王海容老师参加巴厘岛举办的EMN2017国际会议并做邀请报告。
2017年6月21日，陈晓伟同学参加在秦皇岛南戴河的技术交流与对接活动。
2016年11月23日，王海容老师在苏州利物浦大学会议中心与苏州大学进行技术对接。
2016年11月21日，王海容老师在上海应用技术大学机械学院访问交流，并进行了学术报告。
2016年11月13日-15日，肖华攀博士在成都参与强激光材料与元器件学术研讨会暨激光破坏学研讨会
2016年7月7日，王海容老师访问了香港城市大学机械与生物工程
系，进行了学术交流。
2016年7月12-15日，王海容老师参加了新加坡THINFILMS2016
国际会议,做了题目为“Au thin-film electrodes based potentiometric
CO2 sensor using Li3PO4 as both the reference material and the
solid electrolyte”的报告。
2016年7月18-22日，课题组的孙侨、吴桂姗同学参加了位于重庆的
3M NANO国际会议，就课题组的最新研究成果做了报告。
2016年8月22日，根据国家自然科学基金委通知，课题组又获得一项国家自然科学基金项目，项目名称： 纳米薄膜热学性能的应变温度依赖性与机理研究
站点计数器
王海容的个人主页空间 - 王 海容基本信息
王海容
教授、博士生导师
单位：机械工程学院
《机械工程与技术》期刊编委。
概况：从事于MEMS与纳米技术，精密加工技术等方面应用研究，分别主持和以主要完成人身份承担国家自然科学基金、973项目、863重点项目、军工项目、省市科技攻关项目、教育部新世纪优秀人才计划项目、西安交通大学基本科研业务费前沿技术项目、香港ITC项目等。以通讯或第一作者已发表文章110余篇，其中EI收录70篇，SCI收录40篇。申请及授权专利发明专利40项，软件著作权2项，多项专利得到转化。2005年获教育部科技进步奖1项，北京市科技进步二等奖1项。
研究特色：高端微纳固态气体传感器研究及在呼吸分析、安全、环境领域的应用，微纳超低限VOCs集成芯片研究与生物医学应用；超精密元件表面全表面质量评定与工艺优化。
联系方式
地址：陕西省西安市咸宁西路28号，西安交通大学机械工程学院
机械制造系统国家重点实验室
邮编：710049
邮箱：whairong@mail.xjtu.edu.cn
欢迎报考研究生，加入我们课题组，为技术发展、社会进步做出贡献。
个人简介
教育背景
起止年月
学习单位与专业
学位
1991.9-1995.7
1995.9-1998.7
1998.9-2002.4
燕山大学 液压专业
西安交通大学 机械工程专业
西安交通大学 机械工程专业
工学学士
工学硕士
博士学位
工作经历
起止年月
学习、工作单位
任职
2002.2-2007.7
2007.7-2015.12
2002.8-2004.3
2006.7 -2007.3
西安交通大学 机械工程学院
西安交通大学 机械工程学院
香港理工大学 材料研究中心
香港中文大学精密工程研究所
讲师
副教授
博士后
副研究员
2016.1- 西安交通大学 机械工程学院 教授
2008年入选西安交通大学青年骨干教师教授计划
2009年入选教育部新世纪优秀人才计划
近年来主讲课程
《MEMS与纳米技术》：本科生基础专业课 48课时
《微纳制造技术导论》：本科生专业课 40课时
本科生专业课 36课时
《MEMS技术及应用》：本科生专业课 36课时
《微纳米测试技术》： 研究生课程 40课时
研究方向与特色
MEMS与纳米技术、超精密加工技术
微纳固态气体传感器研究及应用
微纳集成芯片研制与生物医学应用
课题组最新状态
课题组的研究成果获得2019年北京市科技进步二等奖《基于微色谱的快速准确高灵敏气体检测关键技术及应用》。
2019年11月23日，王海容老师参加第十四届中国气湿敏传感技术学术交流会（ GAS SENSORS-2019），并做了邀请报告《基于微纳气体传感芯片的呼吸诊断技术》。
2019年9月19日，课题组谷汉卿博士关于硅超晶格的研究成果 "Thermal conduction in amorphous/crystalline silicon superlattices: a molecular dynamics study of the size, temperature, and strain effect" 被期刊 Materials Research Express 录用。
2019年9月18日，课题组李志宾博士提出一种新的薄膜应变作用下的热导率测试方法，研究结果"A Testing System for Studying the Effect of Strain on Thermal Conductivity of Thin Films based on 3-ω Technique" ，被AIP经典期刊 Review of Scientific Instruments录用。
2019年9月8日，肖华攀博士最新论文《Evaluation of surface and subsurface damages for diamond turning of ZnSe crystal》被Optics Express (IF=3.561, Top期刊)接收！
2019年8月20日-22日，王海容老师参加了位于大连的特种光电功能材料与器件应用研讨会，并做了《光学元件亚表面损伤及其对激光损伤阈值的影响研究》的邀请报告。
2019年8月4日-8日，张成博士参加了位于浙江的第九届3M NANO国际会议，就课题组的最新研究成果做了报告。
祝贺陈翰林同学荣获校级优秀硕士。近几年，课题组每年都有同学获得校级优秀硕士荣誉称号。
2019年6月17日，肖华攀博士最新论文被Journal of Materials Processing Technology (IF=4.178)接收！论文链接：https://doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2019.116267
2019年5月19日-22日，陈志同学参加了位于青岛的SPIE-PLD/TFPA 2019国际会议，交流了最新的研究成果。
2018年7月17日-20日，韩宝庆博士、陈翰林同学参加了位于深圳的第九届Thin films2018国际会议，就课题组的最新研究成果做了报告。
2018年4月22日-28日，肖华攀博士在日本横滨参加了OPTICS & PHOTONICS International Congress 2018高水平国际学术会议，就课题组的最新研究成果做了汇报。
2018年4月11日-14日，韩宝庆博士在上海参加了CMEF 2018中国国际医疗器械展。
2017年8月7日-11日，韩宝庆博士、王梦雅同学参加了位于上海的第七届3M NANO国际会议，就课题组的最新研究成果做了报告。
2017年8月1日-3日，张咪同学在广州参加了第五届机械、自动化、材料工程国际会议（CMAME2017），就课题组的最新研究成果做了报告。
2017年7月20日，邀请英国南安普顿大学Martin Charlton教授参观实验室并做学术报告。
2017年7月4日，王海容老师为上海研究生暑期学校做《工业机器人关键技术及典型应用》报告。
2017年6月20日，王海容老师参加巴厘岛举办的EMN2017国际会议并做邀请报告。
2017年6月21日，陈晓伟同学参加在秦皇岛南戴河的技术交流与对接活动。
2016年11月23日，王海容老师在苏州利物浦大学会议中心与苏州大学进行技术对接。
2016年11月21日，王海容老师在上海应用技术大学机械学院访问交流，并进行了学术报告。
2016年11月13日-15日，肖华攀博士在成都参与强激光材料与元器件学术研讨会暨激光破坏学研讨会
2016年7月7日，王海容老师访问了香港城市大学机械与生物工程
系，进行了学术交流。
2016年7月12-15日，王海容老师参加了新加坡THINFILMS2016
国际会议,做了题目为“Au thin-film electrodes based potentiometric
CO2 sensor using Li3PO4 as both the reference material and the
solid electrolyte”的报告。
2016年7月18-22日，课题组的孙侨、吴桂姗同学参加了位于重庆的
3M NANO国际会议，就课题组的最新研究成果做了报告。
2016年8月22日，根据国家自然科学基金委通知，课题组又获得一项国家自然科学基金项目，项目名称： 纳米薄膜热学性能的应变温度依赖性与机理研究
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研究领域 - 王 海容研究领域：MEMS与微纳米测试技术、超精密加工技术
目前研究兴趣：
1.基于固体电解质的微型电化学气体传感器
电化学气体传感器具有较好的选择性、良好的可重复性以及成本低等优点，得到了广泛的研究和发展。近年来，将微细加工工艺应用于电化学传感器，研制微型气体传感器，相对于传统传感器，微气体传感器具有结构一致性好、灵敏度高、响应时间短等优点。一种为研究集成加热板的微型CO2气体传感器，它结构可等效为CO2, O2, Au, Li2CO3︱Li3PO4︱Li2TiO3-TiO2, Au, CO2, O2，微传感器在500℃下对CO2具有较好的响应特性，传感器采用薄膜沉积、磁控溅射和丝网印刷工艺制备。通过本项目研究，形成高端传感器研制方法和工艺流程，建立和完善微型环境监测器件与系统实验室平台；研究传感器产业化方法，以满足国内高端气体传感器的需求。另一种为常温气体传感器，采用热蒸发镀膜和磁控溅射工艺制备了一种基于O2, Pt︱LaF3︱Sn-SnF2结构的全薄膜气体传感器，传感器在室温条件下同时可对氧气和水蒸气具有响应特性。
图1 基于固体电解质的微型电化学气体传感器:a）双电极结构反应图; b)双电极平面结构；c）封装结构温度场仿真图
2.超精密加工
高精元件广泛应用于能源、空间、国防装备、集成电路与MEMS等领域，高精元件表面存在的亚表面损伤日益成为制约该类元件性能发挥的瓶颈。以高精元件亚表面损伤层微裂纹为研究对象，在腐蚀法检测亚表面损伤的基础上，结合复杂表面微观形貌分形插值方法与腐蚀逆向演化有限差分模型，提出一种高精元件亚表面损伤层微裂纹全息反演研究方法与理论；进而研究典型高精元件亚表面损伤层微裂纹全息分布规律与表征方法，并依据亚表面损伤层微裂纹全息表征参数，结合加工工艺与材料性能，探索亚表面损伤层
微裂纹形成与生长的内在机理。本课题提出的亚表面损伤层微裂纹全息反演研究方法与理论可适用于各种面型高精元件亚表面损伤层微裂纹全息的检测，其结果不仅为亚表面损伤层微裂纹机理研究提供一种新的思路，还为改善高精元件加工工艺、减少亚表面损伤层微裂纹打下基础。
图2 亚表面损伤示意图和压痕腐蚀示意图
3. 集成式微纳金属氧化物气体传感器
研制基于MEMS技术和纳米技术相结合的金属氧化物半导体微纳气体传感器，将纳米材料与微加热器集成起来，作为敏感物质的金属氧化物材料纳米化之后，使气体传感器的诸多性能（灵敏度、选择性、快速性、稳定性）得到质的提升；同时许多纳米敏感材料在室温下可对某些气体有显著响应，可以大幅度降低气体传感器的工作温度，从而降低功耗。通过本项目研究，旨在解决低功耗问题和纳米材料与MEMS工艺的兼容性问题，可实现对超低检测限目标气体的快速检测。
图3 （a）传感器结构剖面图；（b）封装示意图；（c）、（d）240℃条件下气体传感器对不同浓度O2的响应曲线
4. 超低限气体检测技术及应用
微纳超低检测限气体传感器具有检测灵敏度高，响应速度快，便携性好等优点，可用于环境监测、汽车、医疗、化工等多个专业领域。该项目基于MEMS技术，研究一种针对挥发性有机气体（如异戊二烯Isoprene等）进行快速分离、准确检测的系统，检测限达到10PPb级。研究通过理论计算和数值模拟对系统结构进行优化，消除样品在时间、空间上的改变形成的误差，提高传感器的检测精度、灵敏度，以满足仪器在复杂环境中快速分析的要求；同时具备良好的便携性，可对有害气体进行现场检测。
图4 超低极限气体检测微型气相色谱仪
近年来研究进展
（1）基于微纳气体传感技术的精准医疗研究
与资助公司上海礽芯合作，针对呼吸气体种类的多样性和超低浓度特点，研究10ppb超低检测限的微型代谢呼吸气体检测仪和微纳传感芯片，实现多种疾病呼出气体的分离和精确检测，解决呼吸气体挥发有机气体检测中的选择性、检测限、灵敏度、响应性与精度等方面高要求的难题，形成微纳米技术与呼吸气体指纹的精准医疗新理论体系。目前已申请6项发明专利，发表系列文章。
（2）超低功耗微纳米高端气体传感器研究
针对物联网技术中气体传感器对功耗、稳定性的严苛要求，采用独有的掺杂、集成工艺、纳米材料制备技术，在解决微纳集成工艺难题的基础上，研制mW级超低功耗微纳气体传感器，实现对各类氧化还原性气体，如CO、CH4、O2、VOC、NH3等的精确、快速检测。在该方面已获授权发明专利6项，发表论文10多篇。相关成果已通过西安相关公司和政府的资金资助，将尽快实现技术落地。
（3）微纳环境保护器件与技术开发
在环保检测方面，成功研制了基于Li离子传导的复合固体电解质的CO2、NOx、SO2等固体电解质气体传感器，研制成功了0.5W的高灵敏度、高可靠性气体传感器。在环境治理方面，提出并实现了纳米多组份溶液的水洗法空气治理技术，技术合作方为深圳企业。该方面已获授权发明专利5项，发表论文10多篇。
（4）超精密加工元件全面质量研究 （附：光学元件亚表面损伤研究进展）
提出高精元件亚表面全息损伤的测量方法和评定理论，研究高精元件亚表面损伤层微裂纹全息分布特征表征体系，得到不同工艺参数及材料元件进行亚表面损伤层微裂纹的参数，并建立高精元件工艺、全表面质量及元件性能的关系。在研究方向已发表论文15篇，申请授权发明专利5项。
项目 - 王 海容科研项目
近期项目
项目名称
项目来源
起迄时间
承担角色
微型固体电解质电化学气体传感器研究
教育部新世纪人才项目
2010年01月－2012年12月
主持
基于MEMS技术的环境监测CO2气体传感器的研究
交大基本科研业务费前沿新兴类科研项目
2011年01月－2012年12月
主持
超精密加工及其质量控制技术研究
机械制造系统工程国家重点实验室青年基金项目
2009年07月－2011年06月
主持
高精元件亚表面损伤层微裂纹机理全息反演研究
国家自然科学基金项目
2012年01月－2015年12月
主持
微型红外工业废气监测器件与系统研制
榆林市科技计划项目
2011年7月至2013年6月
主持
微型低功耗传感器的开发与系统联调
国家重大专项子任务：微型低功耗传感器的开发与系统联调
2013年1月至2014年12月
主持
MEMS微型固体电解质气体传感器
陕西省工业攻关项目
2014年1月至2015年12月
主持
微纳金属氧化物半导体气体传感器研究
中央高校基本科研业务费学科交叉项目
2014年1月至2015年12月
主持
微纳金属氧化物气体传感器研究
碑林区科技人才创业工程项目
2015.1.1- 2016.12.31
主持
微型集成式环境监测气体传感器研究
浙江省科技创新项目
2016.1.1 - 2017.5.31
主持
微型气体检测仪
横向课题
2016.1.1 - 2018.6.30
主持
基于地铁车辆封闭环境下列车PM2.5空气净化
系统研制项目
纳米薄膜热学性能的应变温度依赖性与机理研究
横向课题
国家自然科学基金项目
2015.1.4 - 2016.8.10
2017.1.1－2020.12.31
主持
主持
结题项目
项目名称
项目来源
起迄时间
承担角色
大孔径光学非球面加工机床和成套应用工艺
国家重点863项目
2008年07月－2010年09月
参加
基于微分光技术的新型瓦斯检测与预警系统
863重点项目
2009年06月－2011年01月
主持
材料介观若干性能及尺度效应子课题：（薄膜介观尺度学行为研究）
973项目
2005年01月－2009年12月
参加
硬质涂层纳米压印结构模板的研究
国家自然科学基金
2005年01月－2007年12月
主持
基于微分光器件的红外吸收式光纤甲烷测试系统研究
精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金
2006年07月－2008年12月
主持
基于硅微闪耀光栅的矿井瓦斯检测与预警系统
陕西省科技攻关项目
2008年01月-2009年12月
主持
MEMS技术电化学气体传感器
郑州市重点科技攻关项目
2008年01月－2009年12月
主持
专利与文章 - 王 海容专利与软件著作权
没有找到条目。
专利名称申请号专利类型申请日期
光学元件亚表面损伤的化学刻蚀测量方法、辅助实验装置及试验方法 20** 发明 2017.11.05
一种基于纳米TiO2的低功耗微纳气体传感器及制备方法 3.9 发明 2017.03.29
一种微型气体富集器及其制备方法 20** 发明 2017.03.21
一种测量薄膜应变与热导率的装置及方 1.3 发明 2017.03.01
一种基于半导体气敏传感器阵列检测呼出气体装置 20** 发明 2017.01.18
一种高深宽比微型气相色谱柱芯片及其制备方法 20** 发明 2016.12.20
一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法 6.8 发明 2016.11.09
一种基于金属基片的微型填充式富集器及制备方法 5.3 发明 2016.11.09
基于Li3PO4-Li4SiO4混合固体电解质的电势型气体传感器及其制备方法 20** 发明 2016.09.19
基于湿法腐蚀工艺的硅片正面微结构保护装置及方法 5.9 发明 2015.10.22
外墙瓷砖表面结构、形成方法及用于公共区域PM2.5末端治理 9.5 发明 2015.07.01
双层电极式固体电解质CO2气体传感器及制备工艺 5.5 发明 2015.06.03
一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法 5.2 发明 2014.07.14
基于纳米Tio2薄膜的微型氧气传感器及制备工艺 8.8 发明 2014.06.25
一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺 2.1 发明 2013.11.21
封闭空间内空气质量监测及净化装置 9.8 发明 2013.01.27
一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法 9.7 发明 2013.01.01
一种用于氧传感器的TiO2敏感层结构及其制备方法 5.2 发明 2012.12.07
共参比电极温控式CO2-SOx 集成气体传感器及其制备方法 8.0 发明 2012.10.28
瓦斯检测仪嵌入式软件(软件著作权) 2011R11L002132 实用新型 2011.02.13
20条目每页4每个页面的条目数
8每个页面的条目数
20每个页面的条目数
40每个页面的条目数
60每个页面的条目数
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国内外文章
2021年发表论文
1. Baoqing Han, Tinghan Liu, Hairong Wang*, Lujia Shi, Jialuo Chen, Jianhai Sun, Jiuhong Wang, Xianqing Tian, A microcolumn coated with polydimethylsiloxane functionalized by graphene oxide quantum dots for the gas chromatographic separation of characteristic markers of advanced fibrosis, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2021,31. DOI:10.1088/1361-6439/abdbd7(SCI, IF=1.74)
2. Baoqing Han, Hairong Wang, Wanying Yang, Jiuhong Wang*, Xueyong Wei, Hierarchical Pt-decorated In2O3 microspheres with highly enhanced isoprene sensing properties, Ceramics International, 2020, 47:9477-9485. DOI: 10.1016/j.ceramint.2020.12.081(SCI, IF=3.83)
3. J.L. Chen,B.Q. Han,T.H. Liu,H.R. WangandJ.H. Wang, Separation characteristics of an integrated temperature-controlled micro gas chromatography chip, Journal of Instrumentation, Volume 16, March 2021, P03024, https://doi.org/10.1088/1748-0221/16/03/P03024
2020年发表论文
1. Baoqing Han, Jiuhong Wang, Wanying Yang, Xiaowei Chen, Hairong Wang, Jialuo Chen, Cheng Zhang, Jianhai Sun, Xueyong Wei. Hydrothermal synthesis of flower-like In2O3 as a chemiresistive isoprene sensor for breath analysis. Sensors and Actuators B: Chemical, 2020, 309: 127788.
2. Minghui Zhao, Kangli Jiang, Hongwu Bai, Hairong Wang, Xueyong Wei. A MEMS based Fabry–Pérot accelerometer with high resolution. Microsystem Technologies, 2020, 1-9. https://doi.org/10.1007/s00542-020-04747-3
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2019年发表论文
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2018年发表论文
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2017年发表论文
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5. Hairong Wang , Hongfeng Chen, Guanglong Fu, Huapan Xiao. TheInfluenceofGrindingProcessParameterson TransmittanceandAbsorbanceoftheOpticalComponents.2015,3M-NANO2012ProgramCommittee
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3. 张英，王海容，高鲜妮，蒋庄德，红外吸收式光纤甲烷气体传感器系统的研究，压电与声光，第30卷，第2期，156-158，2008（EI: 854）
4. 王海容，蒋庄德，刘俊明，周志涛，张英，MMI微压印模板的设计与研究，压电与声光，第30卷，第1期，36-38，2008（EI：254
5. 周向阳，蒋庄德，王海容，基于等模量假设的软金属薄膜本征模量的纳米压入评定，稀有金属材料与工程，第36卷，第10期，1736-1740，2007 (SCI: 231PM)
6. 张英，王海容，蒋庄德，半导体吸收式光纤温度传感器的研究，压电与声光，第29卷，第4期，389-391，2007（EI：057）
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9. 孙国良，王海容，高鲜妮，周志涛，蒋庄德，TiN模板热压印中的若干关键影响因素仿真分析，机械强度，第33卷，第2期，285-289，2011
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11. 禹忠，蒋庄德，李蓉，王海容，聚酰亚胺多模干涉器结构的光学加速度传感器，探测与控制学报，第21卷，第1期，6-10，2010
12. 禹忠，蒋庄德，郑建邦，王海容，聚酰亚胺多模干涉器结构的加速度传感器，半导体光电，第31卷，第2期，185-189，2010
13. 禹忠，李蓉，王海容，蒋庄德，BCB/SiO2双导芯层叠ARROW结构压力传感器设计，微纳电子技术，第47卷，第4期，237-241，2010
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17. 朱强，蒋庄德，王海容，赵则祥，微构件弹性模量测量的模糊建模与分析，西安交通大学学报, Vol. 39, No.5, 517-521, 2005
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19. 赵则祥，胡勇，王海容，蒋庄德，用纳米压入法测量硼化铪涂层的弹性模量，机械强度, Vol. 25, No. 5, 587-590, 2003
20. 王海容，赵则祥，蒋庄德，压电作动器在微力微位移装置中的应用，压电与声光,Vol.24, No.2, 101-103, 2002
21. 赵则祥，蒋庄德，王海容，纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的影响因素分类及评价，稀有金属材料与工程，Vol. 31, No. 5, 363-366, 2002
22. 王海容，蒋庄德，尹燕玲，切削加工表面分形机理的研究，机械科学与技术, Vol. 21, No.1, 13-15, 2002
23. 王海容，赵则祥，蒋庄德，大行程纳米分辨率加载机构的研制，机械强度，第23卷，第4期，452-455，2001
24. 蒋庄德，赵则祥，王海容，基于MEMS的光开关研发与产业化问题，微细加工技术，第4期，74-78，2001
25. 蒋庄德，王海容，王朝晖，纳米测量技术与微型智能仪器，中国机械工程，第11卷，第3期，16-19，2000
26. 费斌，蒋庄德，王海容，基于遗传算法求解分形无标度区的方法，西安交通大学学报，第32卷，第7期，72-76，1998
27. 费斌，蒋庄德，王海容，机械加工表面分形特性的研究，西安交通大学学报，第32卷，第5期，83-87，1998
28. 蒋庄德，王海容，陈伟，分数布朗运动应用于机械加工表面形貌的评定，现代计量测试，第5卷，第6期，15-21，1997
29. 王海容，赵则祥，蒋庄德，大行程纳米分辨率加载机构的研制，机械强度，第23卷，第4期，452-455，2001
30. 蒋庄德，赵则祥，王海容，基于MEMS的光开关研发与产业化问题，微细加工技术，第4期，74-78，2001
31. 蒋庄德，王海容，王朝晖，纳米测量技术与微型智能仪器，中国机械工程，第11卷，第3期，16-19，2000
32. 费斌，蒋庄德，王海容，基于遗传算法求解分形无标度区的方法，西安交通大学学报，第32卷，第7期，72-76，1998
33. 费斌，蒋庄德，王海容，机械加工表面分形特性的研究，西安交通大学学报，第32卷，第5期，83-87，1998
34. 蒋庄德，王海容，陈伟，分数布朗运动应用于机械加工表面形貌的评定，现代计量测试，第5卷，第6期，15-21，1997
课题组成员及成功走向 - 王 海容团队成员
肖华攀 2015级 博士研究生
邮箱：xhp0698@126.com
研究方向：超精密加工技术
谷汉卿 2015级 博士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：薄膜分子动力学
韩宝庆 2016级 博士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向： 气相色谱仪
赵凌宇 2016级 博士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：超精密加工技术
李志宾 2017级 博士研究生
邮箱：lizhibinmailbox@163.com
研究方向：薄膜性能测试技术研究
张成 2018级 博士研究生
邮箱：**@qq.com
研究方向：MEMS气体传感器
唐闫坤 2018级 博士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：半导体金属氧化物气体
传感器敏感机理
陈可栋 2017级 硕士研究生
邮箱：cqchkd@163.com
研究方向：薄膜分子动力学
刘庭翰 2017级 硕士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：气相色谱仪
雷伟涛 2017级 硕士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：MEMS气体传感器
余娜 2018级 硕士研究生
邮箱：**@163.com
研究方向：超精密加工技术
吴欣雨 2018级 硕士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：气相色谱仪
陈家洛 2018级 硕士研究生
邮箱：chenjialuo_uo_23@163.com
研究方向：气相色谱仪 金成 2018级 硕士研究生
邮箱：jc116122@126.com
研究方向：MEMS气体传感器
李雨菡 2019级 硕士研究生
邮箱：lyhlihaha@163.com
研究方向：超精密加工技术
石璐嘉 2019级 硕士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：微纳制造技术
张铭 2019级 硕士研究生
邮箱：**@163.com
研究方向：微纳传感器设计与制造
田鑫 2019级 硕士研究生
邮箱：sweetie545@163.com
研究方向：MEMS气体传感器
成功校友 Sher Ali Nawaz 2019级 硕士研究生
邮箱：sher980@stu.xjtu.edu.cn
研究方向：MEMS湿度传感器
陈灿2007级 硕士研究生 邮 箱：cnsking@126.com
研究方向：光学大口径非球零件亚表
面损伤研究
毕业去向：上海宝钢设备检修有限公
司
岑迪2008级 硕士研究生 邮箱：dickens1986@gmail.com
研究方向：微型技术应用
毕业去向：上海大众汽车
尹天朔 硕士研究生
邮箱：
研究方向：微型危险气体传感器测试技术研究 高鲜妮 硕士研究生
邮箱： 研究方向：微分光型气体测试系统
毕业去向：研究所
任军强2008级 硕士研究生 邮 箱：jqren@stu.xjtu.edu.cn
研究方向：微型固体电解质CO2气体传感器
毕业去向：华为公司
门光飞2008级 硕士研究生 邮 箱：
研究方向：基于PIC单片机的瓦斯监测系统研究
王建云2009级 硕士研究生 邮 箱：wangjianyun001953@163.com
研究方向：传感器关键性能影响因素
的研究
关赪2010级 硕士研究生 邮 箱：gc**@163.com
研究方向：超精密加工
毕业去向：西安618研究所
张炜2010级硕士研究生 邮 箱：zhangv@stu.xjtu.edu.cn
研究方向：红外光谱吸收式气体传感器关键技术研究
毕业去向：中国石油长庆油田公司
张 欢 2010级 硕士研究生 邮 箱：zhanghuanbest@126.com
研究方向：MEMS环境监测气体传感器
毕业去向：普睿司曼（中国）投资有限公司
孙国良 2008级 博士研究生
邮 箱：sglcmy@stu.xjtu.edu.cn
研究方向：MEMS环境监测气体传感器 肖利辉 2012级硕士研究生
邮 箱：
研究方向：高精光学元件亚表面损伤微裂纹全息研究
陈磊 2012级硕士研究生
邮 箱：@qq.com
研究方向：MEMS环境监测气体传感器
尤留冬 2012级硕士研究生 邮 箱：@qq.com
研究方向：红外光谱吸收式气体传感器关键技术研究
毕业去向：上海大众汽车
张碧珂 2011级硕士研究生
邮 箱：zhangbike@yeah.net
研究方向：超精密加工 孙全涛 2011级硕士研究生
邮 箱：sqt871123@163.comt
研究方向：MEMS环境监测气体传感器
李鹏 2011级硕士研究生 邮 箱:lipeng220jx@163.com
研究方向：MEMS固体电解质气体传感器 王嘉欣 2013级硕士研究生 邮 箱：@qq.com
研究方向：MEMS环境监测气体传感器
刘振 2013级硕士研究生 邮 箱：@qq.com
研究方向：MEMS环境监测气体传感器
陈洪凤 2013级 硕士研究生
邮 箱：@qq.com
研究方向：超精密加工
孙侨 2014级 硕士研究生 邮 箱：@qq.com
研究方向：MEMS环境监测气体传感器
陈迪 2014级硕士研究生 邮 箱：@qq.com
研究方向：MEMS环境监测气体传感器
付广龙 2014级 硕士研究生 邮 箱：@qq.com
研究方向：超精密加工
姚宇清 2014级 硕士研究生 邮 箱：@qq.com
研究方向：MEMS环境监测气体传感器
于阳2014级 硕士研究生 邮 箱：
研究方向：MEMS环境监测气体传感器
张咪 2015级 硕士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：MEMS气体传感器
王梦雅 2015级 硕士研究生
邮箱：wangmengya1015@163.com
研究方向：MEMS气体传感器
吴桂珊 2015级 硕士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：气相色谱仪
陈晓伟 2015级 硕士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：MEMS气体传感器 徐文达 2016级 硕士研究生
邮箱：wendaxuedu@163.com
研究方向：MEMS气体传感器
陈志 2016级 硕士研究生
邮箱：czhi1427@163.com
研究方向：超精密加工技术
陈翰林 2016级 硕士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：MEMS气体传感器
黄浩 2016级 硕士研究生
邮箱：@qq.com
研究方向：色谱仪器测控系统设计与结构设计
研究生招生 - 王 海容招生信息
欢迎报考硕士/博士研究生，我们坚奉平等、自由、中性、理性的大学精神，招收机械工程、仪器科学与技术的硕士、博士研究生。1.在这给你充分自我思考，表达自我的机会，更多出彩的机会！2.在这给你遇到问题大家开会讨论，我们共同面对！3.在这给你提供广阔的发展平台和宽松愉悦的研究环境！
一、硕士招生
001机械工程学院、002材料科学与工程学院等学院及相关的专业。二、博士招生001机械工程学院
English - 王 海容(1.)Basic Information
Wang Hairong, Ph.D
Research Interests:
MEMS and nanotechnology
Micro/nano solid gas sensors
Mechanical properties of MEMS materials
Nanomaterial characterization and application
Address: Institute of Precision Engineering， Xi’an Jiaotong University Postcode : 710049
Email：whairong@mail.xjtu.edu.cn Phone:**
(2.) Work Experience
2007/09--now Associate Professor, Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University
2006/07--2007/03 Research Associate, Institute of Precision Engineering, The Chinese University of Hong Kong
2004/03-2006/06 Assistant Professor, Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University
2002/07-2004/02 Postdoc research associate, Material Research Center, Hong Kong Polytechnic University
(3.)Education
1998.9～2002.6
Ph.D.Mechanical Engineering , Xi’an Jiaotong Univ.
1995.9～1998.6
M.S..Mechanical Automation Engineering, Xi’an Jiaotong Univ.
1991.9～1995.7
B.S.. Mechatronic Engineering, Yanshan Univ.
(4.)Honors
S&T Progress Award from Education Minister, P.R.C.2005
Young prominent staff of Xi‘an Jiaotong University,2008
New Century Excellent Talents in University ,2009
(5.) Current Research Publication
Research Projects
(Number Time period, Title, Agent)
1. 9/2009～1/2011, New detection and alarm system for the methane of coal mineral with light splitting principle, National new and high technology project(863)
2. 1/2012～12/2015,Investigation on theNovel Methods for Measuring Subsurface Damages, National Science Foundation of China
3. 1/2008～12/2009, Electrochemical gas sensors based on MEMS technology, Zhengzhou Key Industrial Project
4. 1/2010～12/2012,Micro solid electrolyte sensor, New Century Talent of Chinese Education Ministry
5. 1/2008～12/2009, A methane monitoring system using silicon based flash grating, Shaanxi Science and Technology Innovation Project.
6. 1/2011～12/2012,Micro power CO2 gas sensor applied in environment field, High School Fundamental Research Project
7. 7/2012～6/2013, Micro gas sensors and their application in the polluted gas monitering,Yulin Science and Technology Innovation Project
8. 7/2009～6/2011,Technology of control surface quality in the ultra precision process, Young Scholar Funding of State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering
9. 10/2010～12/2012, Research on automatic clipping machine for the optical elements, Huizhou Science and Technology Innovation Project,
10. 1/20132～12/2114,Key technologies of wireless body area network: low power consumption of sensors ,Subproject of Major National Science and Technology Projects of China
11. 1/2005～12/2007, Application of hard films as the nano-imprinting lithography mold, National Natural Science Foundation
Publications:
1.Peng Li, Guoliang Sun, Hairong Wang, Zhuangde Jiang, Fabrication of Thin Film Potentiometric CO2 Sensors on Differentiate Substrate Surfaces and Their Characteristics, Micro & Nano Letters, 2013. (in press)
2. Hairong Wang, Wei Zhang, Liudong You, Guoyin Yuan, Yulong Zhao and Zhuangde Jiang, BP Neural Network Modeling of Non-Dispersive Infrared Methane Sensor for Temperature and Humidity Compensation,Instrumentation Science & Technology (1073-9149), (in press )
3. Wang HR, Guan C, Zhang BK, et al. 3D topography evolution of micro cracks of subsurface damages during etching process, IEEE Int.J.Nanomanufacturing, 2013. (978-1-4673-4589-7).
4. Guoliang Sun, Hairong Wang, Zhuangde Jiang, Cheng Guan, and Bike Zhang,Response characteristics of the sensor based on LaF3 thin film to different humidified gases,Review of Scientific Instruments, 2012 ,Vol.82, Issue, 083901-4
5. Hairong Wang, Junqiang Ren, Huan Zhang, Guoliang Sun, and Zhuangde Jiang,A solid potentiometric CO2 sensor using Li3PO4 ,film as the electrolyte, IEEE Sensor Journal ,Vol.12,2001,-2005
6. Guoliang Sun, Hairong Wang, Zhuangde Jiang, Humidity response properties of a potentiometric sensor using LaF3 thin film as the solid electrolyte, Review of Scientific Instruments, 2011, Vol.82, Issue 8, 083901
7. Wang Hairong, Ren Junqiang, Sun Guoliang, Cen Di, Micro CO2 sensor based on Li2CO3, Pt | Li3PO4 | Pt, Li2TiO3-TiO2 structure, Applied Mechanics and Materials, Vol. 44-47, 2747-2751, 2011
8. Hairong Wang, Di Cen, Guangfei Men, Jianyun Wang, An infrared absorption gas detection system applying plane blazed grating, Advanced Materials Research, Vol. 233-235, 2665-2668, 2011
9. Yang CA, Zhao Q, Wang HR, Zhang Z,Study on intelligent control system of two-dimensional platform based on ultra-precision positioning and large range, Precision Engineering-Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology, Vol. 34, Issue. 3, 627-633, 2010
10. Guoliang Sun, Hairong Wang, Zhuangde Jiang, Tianshuo Yin, Design, fabrication and performance of SO2 sensor based on LaF3 solid-electrolyte, The 3rd INEC, 674-675, 2010
11. Jiang ZhuangDe, Jang WeiXuan, Zhao YuLong, Wang HaiRong, Lu DeJiang,Advancement of micro/nanotechnology research in Institute of Precision Engineering of Xi’an Jiaotong University, International Journal of Computational Materials Science and Surface Engineering, Vol. 2, Issue. 3-4, 243-267, 2009
12. Hairong Wang, Y . Fu, R . Du, Measuring the circular motion of small objects using laser stroboscopic images, Review of Scientific Instruments, Vol. 79, Issue 1, 015110（1-7）, 2008
13. Xiangyang Zhou, Zhuangde Jiang, Hairong Wang, Ruixia Yu, Investigation on methods for dealing with pile-up errors in evaluating the mechanical properties of thin metal films at sub-micron scale on hard substrates by nanoindentation technique, Materials Science and Engineering: A, Vol.488,Issue. 1-2, 318-332, 2008
14. Research into Application of Fractal Geometry in Charactering of Machined Surfaces,International Journal of Machine Tools & Manufactures, v 41,Issue 13-14, 2179-2185,2001
15. Zhou Xiangyang, Wang Hairong, Influence of lubrication performance on the service life of rolling mill bearings, International Journal of Plant Engineering and Management , Vol. 11, No. 3,184-192, 2006
16. X.Y. Zhou, Z.D. Jiang, H.R. Wang, et al., A method to extract the intrinsic mechanical properties of soft metallic thin films based on nanoindentation continuous stiffness measurement technique, Journal of Physics: Conference Series, Vol. 48, 1096-1101, 2006
17. Qiang Zhu, Zhuangde Jiang, Zexiang Zhao, Wang Hairong, Uncertainty estimation in measurement of micromechanical properties using random-fuzzy variables , Review of Scientific Instruments , Vol. 77, No. 3, 2006
18. Wang Hairong Chung Wo Ong etc., Manually operated scratch tester for characterization of mechanical properties of thin films, Review of Scientific Instruments, Vol. 76, Issue 1, 1-4, 2005
19. Wang Hairong Chung Wo Ong etc., Determination of film-only hardness by eliminating the effects of elastic deformation of substrate, Surface and Coating Technology, Vol. 200, Issue 14-15, 4433-4439, 2006
20. Wang Hairong, Jiang Zhuangde, Zhou Xiangyang, FEM applied to evaluate composite hardness of SiO2 film/ 316 LSS substrate system, Journal of Physics: Conference Series , Vol.48, 1090-1095,2006
21. Jiang Zhuangde, Zhu Qiang, Zhao Zexiang, Wang Hairong, Yang Shuming, Optimal design of the loading mechanism in a tester for micro-mechanical properties, High Performance Structure and Materials, Vol. 7:527-536, 2004
22. Hairong Wang, Peng Li, Guoliang Sun, Zhuangde Jiang, Influence of Substrate Surface Roughness on the Properties of a Planar-type CO2 Sensor Using Evaporated Li3PO4 Film, IEEE-NEMS 2013, Suzhou, China, April 7-10, 2013, pp.385-388.
23 Hai Rong Wang, Wei Zhang, Di Cen, Min Tian, A gas detection system based on the micro light splitting principle, Advanced Materials Research, Vol. 542 – 543, 57-65, 2012
24. Wang HR, Guan C, Zhang BK, et al, 3D information of the micro cracks within the subsurface damages by finite difference method, nanoMan2012, July 25-27, 2012, Tokyo, Japan.
25. Wang Hairong, Sun Quntao, Chen lei, Zhang Bike,Zhao Yulong, Design and fabrication of TiO2 thin films oxygen sensors, 3M-NANO 2013
26. Hairong Wang , Bike Zhang, Lihui Xiao, Quantao Sun, Guoying Yuan and Zhuangde Jiang, Investigation on HF based etching of the polished K9 glasses and its application in the subsurface damage, 3M-NANO 2013
27. Guoliang Sun, Hairong Wang, Zhuangde Jiang, Junqiang Ren, A potentiometric oxygen sensor based on LaF3 using Pt micro grid as the sensing electrode, IEEE-NEMS2011, Taiwan, China, February 20-23, 2011
28. Hairong Wang, Guoliang Sun, Cheng Guan, Can Chen, Zhuangde Jiang, Measuring subsurface damage of the ground sample by roughness along the bevel, International Conference on Frontier of Nanoscience and Technology (ICFNST) September 28-29, Kunming, China, 2011
29. Guoliang Sun, Hairong Wang, Zhuangde Jiang, Xianni Gao, Tianshuo Yin, Design of Pt electrode in a SO2 gas sensor based on LaF3 solid electrolyte,Proceedings of 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems January 5-8, Shenzhen, China, 538-541, 2009
30. Hairong Wang, Xianni Gao, Guoliang Sun, Yulong Zhao, Zhuangde Jiang, 1.331μm narrow-bandwidth light source based on polymer micro-blazed grating, ASME Proceedings of MicroNano08, June 3-5, Hong Kong, China, 173-178, 2008
31. Hai R.Wang , Zhi T.Zhou, Zhuang D. Jiang, Guo L.Sun, Xian N. Gao, Chuan Yang, TiN coating/glass substrate system fabricated for hot-embossing stamp at multi-scale, Proceeding of the 3rd IEEE Int.Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems January 6-9,Sanya, Hainan,China,1104-1107,2008
32. Xiangyang Zhou, Zhuangde Jiang, Hairong Wang, Rui.X.Yu, Evaluation of mechanical properties of polycrystalline Al thin films on 7059 glass substrates, Proceedings of the 7th IEEE International Conference on Nanotechnology August 2-5, Hong Kong, China, 1260-1264, 2007
33. Xiangyang Zhou, Zhuangde Jiang, Hairong Wang, Hardness determination of Au thin films by nanoindentation techniques —A comparative study on various characterizing methods, Proceedings of the International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems January 10-13, Sanya, Hainan, China, 621-627, 2007
34. Yu Ruixia,Chen Hualing, ChenTianning, Wang Hairong, Topology optimization of MEMS-based biodegradable controlled drug delivery system for combination therapy, Proceedings of the International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems January 10-13, Sanya, Hainan, China, 27-31,2007
35. Hairong Wang, Xianni Gao, Guoliang Sun, Cen Di, Zhuangde Jiang, Micro polymer micro-blazed grating fabricated by HEL and its application on sensing methane concentration, The 8th International Symposium on Test and Measurement, August 23-26, Chongqing, China, 2009 BNZ88）
36. Wang Hairong, JiangZhuangde, Zhao Zexiang, R. Du, An Instrument for Determining Mechanical Properties of MEMS Materials by Nanoindentation and Micro beam-bending, Proceedings of MNC2007 MicroNanoChina07 January 10-13, 2007, Sanya, Hainan, China
37. Zhou X.Y., Jiang Z.D. and Wang H.R., Hardness determination of Au thin film by nanoindentation technique — a comparative study on various characterizing methods, Proceedings of MNC2007 MicroNanoChina07 January 10-13, 2007, Sanya, Hainan, China
38. Zhou Xiangyang, Wang Hairong, Jiang Zhuangde, Development of the Micro-Displacement Amplifier for a Novel Tester Measuring Mechanical Properties of MEMS Materials, Proceedings of ICMEM2005, International Conference on Mechanical Engineering and Mechanics, VOLS 1 AND 2:1378-1382, October 26-28, 2005, Nanjing, China
39. Zhao Zexiang, Wang Hairong , Jiang Zhuangde, Determination of elastic modulus for several kinds of micro beams with variable moments of inertia, Proceedings of The 3rd International Symposium on Instrument and Technology, Vol.1, 1023-1029, 2004
40. Zhao Zexiang, Wang Hairong, Evaluation mechanical properties of MEMS material’s, Proceedings of The 3rd International Symposium on Instrument and Technology, Vol. 2, 139-144, 2002
(6.)Teaching
1. Testing Methodology at Micro/Nano scale
2. MEMS and its applications
3.Micro/Nano Manufacturing Technology
(7.)Contact
You may reach me by
email: whairong@mail.xjtu.edu.cn
or tel. 86-
技术服务 - 王 海容技术服务
一、技术积累
我们在薄厚膜结合固体电解质气体传感器、MEMS半导体气体传感器工作机理与制作工艺、薄膜材料制备工艺与性能之间的关系、气体传感器微型化中的关键技术、气体传感器性能测试等方面积累了丰富经验。所研制的微型气体传感器可满足环境保护、工业废气监测、农业生产、仓室气体监测等领域的应用，具有体积小，功耗低、响应迅速、重复性好、封装简便、便于集成、易于批量生产等优点，可对CO2，O2，SOx等气体进行实时高精度测量。
二、技术服务内容
凭借一流的科研设备和长期的研究积累，我们能够为您提供型微型气体传感器的研究开发、传感器应用、技术咨询、微型气体传感器小批量试制等相关技术服务。
?厚膜工艺、MEMS工艺微加热板、加热器的定制
?气体测试平台设计、加工
?薄厚膜工艺结合的微型固体电解质气体传感器设计方法与制造
?MEMS半导体气体传感器设计方法与制造
?微型气体传感器小批量生产
?基于Labview脉冲温度控制及信号采集系统
图1 厚膜工艺微加热器实物图 图2 厚膜工艺微加热器工作热像图（正反面）
图3 薄膜工艺微加热器SEM像与实物图图4 薄膜工艺微加热器工作热像图（中心红点）
图5 集成气体传感器结构示意图 图6 固体电解质气体传感器实物图
图7 MEMS半导体气体传感器结构示意图 图8 MEMS半导体气体传感器实物图
图9 针对MEMS半导体传感器的温度控制和信号采集系统 图10 自行开发的气体及温湿度测试平台
学术交流 - 王 海容Blank1
