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上海交通大学微纳科学技术研究院硕士课程内容介绍《薄膜物理学》

上海交通大学 免费考研网/2013-01-07


《薄膜物理学》

课程代码X340502学分/学时3.0/54开课时间
课程名称薄膜物理学
开课学院微纳科学技术研究院
任课教师曹莹
面向专业电子材料与元器件,材料科学,半导体器件与微电子技术
预修课程普通物理,物理化学
课程讨论时数0 (小时)课程实验数0 (小时)
课程内容简介

本课程主要介绍薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容,系统介绍薄膜的基本理论。主要内容包含各种薄膜的制备技术和监控与测试技术、薄膜的生长过程和形成机理、薄膜的结构及特性等,并尽可能反映现在薄膜科学与技术方面的新进展。

课程内容简介(英文)

The manufacture and physics of thin film will be introduced in this course, and basic theory will be narrated detailedly. The primary content consist of the thin film manufacture technology, controlling and measurement technology, the growth process and formational mechanism of thin film, and the structure and characteristic of thin film. If possible, the latest development of thin film science and technology will be introduced.

教学大纲

课程主要内容:1.薄膜的制备技术2.薄膜监控与测试技术3.薄膜的形成机理4.薄膜的结构和缺陷5.薄膜的特性6.实验The primary content:1. Thin film manufacture technology2. Controlling and measurement technology of thin film3. Thin film formational mechanism 4. Thin film structure and defect5. Thin film characteristic6. Experiment

课程进度计划

(无)

课程考核要求

(无)

参 考 文 献
  • 1. 1 薄膜技术基础 麻莳立男 箸电子工业出版社2 薄膜物理与技术电子科技大学出版社
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