课程的性质与任务 微系统技术是一门新兴的综合学科，它在微电子技术发展的基础上，综合了机械、材料、物理、化学、信息等相关学科最新进展，形成了以微电子、微机械和材料学为基础，研究设计制造具有信息感知、信号处理和动作执行能力的微系统的科学。微系统技术主要包括微系统制造技术和微系统应用技术两个方面，其中制造技术包括设计、微加工、测试表征等多个方面，应用则更为广泛，涉及现存的自然科学大部分学科领域，并与之结合形成了众多交叉研究领域，如生物微系统（Bio-MEMS）、光学微系统(Optical-MEMS)、信息微系统（IT-MEMS）、射频微系统（RF-MEMS）等等。该课程将以微系统制造技术为主线，系统介绍微系统技术应用的相关知识，结合开放实验室在MEMS技术领域的研究工作积累，为不同学科背景的研究生开展MEMS相关科学与技术创新研究奠定基础。

Microsystems or Microelectromechanical systems (MEMS) are integrated micro devices or systems combining electrical and mechanical components fabricated using integrated circuit (IC) compatible batch-processing techniques. These systems can sense, control, and actuate on the micro scale to generate effects on the macro scale. Current applications of Microsystems technologies include microsensors, bio-MEMS, optical-MEMS, RF-MEMS, micro-fluid , micro relay and many more sensors and actuators.The content of this course includes: The microfabrication processes for MEMS , the typical applications of MEMS technologies and the design and manufacture of typical MEMS components and systems.