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上海交通大学微纳科学技术研究院博士课程内容介绍《薄膜半导体材料及制造设备》

上海交通大学 免费考研网/2012-12-28


《薄膜半导体材料及制造设备》

课程代码C340706学分/学时3.0/54开课时间
课程名称薄膜半导体材料及制造设备
开课学院微纳科学技术研究院
任课教师
面向专业
预修课程
课程讨论时数0 (小时)课程实验数0 (小时)
课程内容简介

薄膜半导体材料的种类、物理性能和应用;薄膜半导体材料的常用PVD沉积技术的原理和应用;薄膜半导体材料的常用CVD沉积技术的原理和应用;薄膜半导体材沉积设备的整机基本构造及原理;薄膜半导体材沉积设备的关键零部件基本构造及原理;薄膜半导体材料及制造技术的前沿发展。

课程内容简介(英文)

(无)

教学大纲

(无)

课程进度计划

(无)

课程考核要求

(无)

参 考 文 献
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