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上海交通大学微纳科学技术研究院博士课程内容介绍《微机械传感器》

上海交通大学 免费考研网/2012-12-28


《微机械传感器》

课程代码C340707学分/学时3.0/54开课时间秋,春
课程名称微机械传感器
开课学院微纳科学技术研究院
任课教师戴旭涵
面向专业微电子学与固体电子学、电子科学与技术
预修课程半导体器件基础,集成电路工艺原理
课程讨论时数0 (小时)课程实验数0 (小时)
课程内容简介

《微机械传感器》是微电子学与固体电子学专业的一门专业前沿及特色课程,目的和任务是使本专业学生能够掌握微机械传感器的基本原理、性能特点、微细加工工艺方法,以及相关的传感器信号处理方法,同时了解该领域的最新进展,从而为从事相关研究工作奠定基础。

课程内容简介(英文)

Micromachined sensors, focusing on basic mechanisms of transduction, fabrication techniques, signal processing method, and the relative merits of different technologies. Introduceng the current research on related fields. Providing a good foundation for future research in these areas.

教学大纲

主要内容 学时分配序论: 微机械传感器件综述 3第一章常用半导体传感器材料 6第二章半导体传感器工艺基础 6第三章机械传感器 6第四章光、辐射传感器 6第五章热传感器 3第六章磁传感器 3第七章化学和生物传感器 6第八章智能传感器 3第九章传感器阵列 3

课程进度计划

(无)

课程考核要求

能够掌握微机械传感器的基本原理、性能特点、微细加工工艺方法,以及相关的传感器信号处理方法,同时了解该领域的最新进展,从而为从事相关研究工作奠定基础。考核方式:考试

参 考 文 献
  • 1. Gregory T. A. Kovac, Micromachined Transducers Sourcebook, WCB/McGraw-Hill, 1998
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