本门课程主要讲授微型机械与微机电系统所涉及的基本理论、专业知识、关键技术，分六章讲述，具体内容如下：第一章 微型机械与微型机电系统导论第一节 微型机械与微型机电系统的基本概念一、微型机械与微型机电系统的含义二、微型机械与微型机电系统的特征第二节 微型机械与微型机电系统的发展一、微型机械与微型机电系统的发展历史二、微型机械与微型机电系统的国内外发展概况第三节 实现微型机械与微型机电系统的关键技术第四节 微型机械与微型机电系统的物理学概述一、重力和表面张力二、弹性力和固有振动频率三、摩擦力和粘性力四、静电力和电磁力第五节 微型机械与微型机电系统的设计方法论一、目标设定与并行开发二、概念设计和诱导设计三、基本设计和比例分析四、运动学和动力学建模五、CAD/CAE技术与系统结构第二章 微型机械与微型机电系统的制造技术第一节 微型机械与微型机电系统的材料第二节 半导体微加工技术一、图形技术二、薄膜技术三、刻蚀技术第三节 LIGA加工技术一、X射线源二、X射线掩膜板三、微电铸第四节 其它微细加工技术一、电火花加工技术二、激光加工技术三、光造型加工技术第三章 微驱动器第一节 微驱动器概述第二节 压电驱动器一、压电微执行器二、压电位移微驱动器三、压电型微泵阀系统四、超声马达五、光驱动器第三节 静电型驱动器一、静电力的特点二、运用平形方向静电力的驱动器三、利用垂直力驱动的静电微驱动器第四节 形状记忆合金驱动器一、形状记忆合金记忆效应二、形状记忆合金微驱动器第五节 电磁驱动器一、磁阻抗可变型电磁型微马达二、同时使用软磁材料和硬磁材料的电磁型微马达三、电磁线位移驱动器第六节 热驱动器一、双金属片热驱动器二、气动微驱动器第四章 微传感器技术第一节 微传感器的特点及分类一、微传感器的基本原理及特点二、微传感器的分类三、微传感器的材料和封装技术四、现代传感器技术的发展和微传感器技术五、微传感器技术需要解决的关键问题第二节 位移、速度和加速度传感器一、位移、角位移传感器二、速度、角速度传感器三、加速度、角加速度传感器第三节 视觉传感器一、电容型扫描镜二、振动式扫描镜三、细管内壁形状检测用视觉传感器第四节 压力传感器一、压阻型压力传感器二、电容型压力传感器三、振动型硅微压力传感器第五节 触觉传感器一、高密度压阻型薄膜触觉传感器二、高密度电容型薄膜触觉传感器第六节 其它微传感器一、热型传感器二、流量传感器三、化学与生物传感器第七节 多传感器信息处理系统一、多传感器信息处理系统的基本结构二、多传感器信息融合三、多传感器集成系统建模第八节 智能化传感器一、智能化传感器的概念二、智能化传感器的主要结构三、超并行、超高速传感器信息处理第五章 微型机械与微型机电系统的控制技术第一节 微型机械与微型机电系统控制概述一、微型机械与微型机电系统控制的特点二、微型机械与微型机电系统控制的分类三、微型机械与微型机电系统电路的构成第二节 微型机械与微型机电系统的几种新控制算法一、神经网络二、模糊控制三、遗传算法第三节 微移动系统及控制一、微移动机构及控制二、微移动系统的路径规划与障碍物回避第四节 微操纵型系统的控制第五节 自律分散群微系统控制一、自律分散群微系统的概念二、自律分散群微系统的通信三、自律分散群微系统的运动协调四、自律分散群微系统的碰撞回避第六章 微型机械与微型机电系统的应用研究第一节 在医疗领域的应用研究一、应用研究开发的目标二、内窥镜的微细化、能动化技术三、低损伤性体腔内治疗和手术系统四、人工脏器五、显微外科手术中的应用研究第二节 在生物技术领域的应用研究一、细胞操作二、扫描探针型显微镜第三节 在生产领域的应用研究一、在机电产业领域的应用前景二、在检修作业中的应用三、其它作业中的应用第四节 在惯性技术、导航、制导中的应用研究一、微陀螺仪二、微加速度计三、微惯性测量组合四、在惯性技术、导航、制导中的应用

The curriculum consists of six chapters that include introduction, manufacturing technique, micro-driver technique, micro-sensor technique, control technique, practical system and application research of micro-machine and MEMS(micro-electromechanical system). They crown the basic theories, specialized knowledge and key technologies that relate to micro-machine and MEMS. After thorough learning this course, the students would improve their comprehension of MEMS, enhance understanding of development, achievement and practical application in MEMS field, then establish a solid foundation of later research on MEMS subject.