外文题目: Fabrication of high quality factor lithium niobate double-disk using a femtosecond laser
作者: Fang, Zhiwei; Yao, Ni; Wang, Min; Lin, Jintian; Zhang, Jianhao; Wu, Rongbo; Qiao, Lingling; Fang, Wei; Lu, Tao; Cheng, Ya
刊名: Int. J. Optomechatronics
年: 2017 卷: 11 期: 1 页： 47--54
英文关键词:
Double disk; integrated optics; lithium niobate; microfabrication; microresonator
CAVITY OPTOMECHANICS; OPTICAL MICROCAVITIES; MICRODISK RESONATORS; CHIP; MICRORESONATOR; FORCE
英文摘要:
We demonstrate fabrication of a high-quality factor lithium niobate double-disk whispering-gallery microcavity using femtosecond laser assisted ion beam milling. Using this method, two vertically stacked 30-mu m diameter disks with a 200-nm gap are fabricated. With our device, an optical quality factor as high as 1.35 x 10(5) is demonstrated. Our approach is scalable to fabricate multiple disks on a single chip.
文献类型: 期刊论文
正文语种: English
收录类别: SCI
DOI: 10.1080/15599612.2017.1406024
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Fabrication of high quality factor lithium niobate double-disk using a femtosecond laser_上海光学精密机械研究所
上海光学精密机械研究所 免费考研网/2018-05-06
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