外文题目: Wavelength calibration of narrowband ArF laser with iron hollow cathode lamp
作者: Yuan, Zhijun; Zhang, Haibo; Ye, Ren; Zhou, Jun; Wei, Yunrong; Lou, Qihong
刊名: Chin. Opt. Lett.
年: 2017 卷: 15 期: 7 文章编号：71402
英文关键词:
OPTOGALVANIC SPECTROSCOPY; DISCHARGE; NEON
英文摘要:
Accurate and precise wavelength controlling of narrowband excimer lasers is essential for the lithography of an integrated circuit. High-precision wavelength tuning and calibration of a line-narrowed ArF laser are presented in this work. The laser spectrum is narrowed to a sub-picometer with a line narrowing system. Absolute wavelength calibration of the line-narrowed laser is performed based on the optogalvanic (OG) effect using iron hollow cathode discharge (HCD). An sccuracy of better than 0.1 pm for wavelength tuning and calibration is achieved with our homemade wavemeter.
文献类型: 期刊论文
正文语种: English
收录类别: SCI
DOI: 10.3788/COL201715.071402
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Wavelength calibration of narrowband ArF laser with iron hollow cathode lamp_上海光学精密机械研究所
上海光学精密机械研究所 免费考研网/2018-05-06
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