中文题目: 大口径数字波面干涉仪量值传递及测量不确定度的研究
作者: 潘本威;周游;白云波;刘世杰;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
干涉仪测量;量值传递;光学元件;测量不确定度;高功率激光系统;加工精度;测量设备;计量确认;计量保证;终检;
中文摘要:
高功率激光系统中使用了大量的大口径平面光学元件,为了满足大口径、高精度光学元件制造能力,提高光学元件的加工精度,在各个关键生产工序环节以及光学元件终检环节均配备了大口径干涉仪,这些干涉仪基本上可以分为进口和国产自研两种型号。为了保证各个环节中干涉仪测量数据的一致性,如何实现各个工序环节间的干涉仪量值传递的准确性是目前工程加工检测中急需解决的问题。本文对大口径数字波


文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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