中文题目: 基于斜入射方法的面形绝对检测技术研究
作者: 刘世杰;周游;白云波;邵建达;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
检测技术研究;干涉仪测量;平面干涉仪;斜入射;光学元器件;光学元件;精准性;高功率激光;多项式拟合;加工制造过程;
中文摘要:
高功率激光装置对输出总能量以及光斑精准性要求使光学元器件向极致化方向发展,更高精度检测技术研究也要先行发展。随着大口径光学元件波面误差加工质量的不断提高,现有检测方法的精度已接近元件的加工精度,特别对于大口径干涉仪相对检测方法而言,干涉仪自身标准镜引入的系统误差不能再忽略,需要研究更高精度的方法来标定和消除。国内外的研究人员已提出了大口径平面干涉仪标准镜的绝对检测


文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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