中文题目: 子孔径拼接在米量级平面光学元件面形误差检测中的应用
作者: 周游;刘世杰;白云波;张志刚;邵建达;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
光学元件;平面干涉仪;脉冲压缩;元件尺寸;面形误差;子孔径;斜入射;反射波;光栅衍射;钕玻璃;
中文摘要:
应用于高功率激光装置中的光学元件具有尺寸大、精度高、数量多等特点,包括偏振片、钕玻璃片、反射镜以及脉冲压缩光栅等大口径平面光学元件,其中大部分光学元件为矩形,外形尺寸(对角线)都接近甚至超过了米量级。利用大口径平面干涉仪(口径最大到Φ800mm),基于斜入射的测量方法可以满足部分口径小于1m的矩形光学元件面形以及反射波前误差的检测,但是对于元件尺寸超过1m的光学元件,例如


文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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