中文题目: 对大尺寸全息光栅曝光系统中干涉条纹锁定技术的研究
作者: 张栋;徐文东;闫昱琪;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
全息光栅;干涉条纹;监视系统;上下左右;
中文摘要:
大尺寸全息光栅曝光时,由于干涉曝光区域面积较大,在外界环境的长时间干扰下,曝光条纹的空间周期和姿态都可能发生变化,因而曝光条纹的锁定不仅包括平移,还包括空间周期及条纹旋转角度的锁定。通过曝光光栅上下左右四组条纹监视系统,编写基于lab VIEW的监视程序,使用PZT补偿光路,实现了曝光条纹的状态锁定。条纹监视系统由参考光栅、毛玻璃、中继镜和CCD构成,参考光栅的光栅常数为曝光
文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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对大尺寸全息光栅曝光系统中干涉条纹锁定技术的研究_上海光学精密机械研究所
上海光学精密机械研究所 免费考研网/2018-05-06
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