中文题目: 光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果
作者: 蔡燕民;步扬;王向朝;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
照明系统;光刻机;偏振态;检测装置;参数检测;分束;浸液;偏振度;线偏振光;故障诊断;
中文摘要:
偏振照明系统是浸液光刻机增强分辨率的标准配置,针对浸液光刻机偏振照明系统在安装集成时偏振参数检测的需求,本课题组设计制造了一套偏振照明系统偏振态检测装置,为偏振照明系统安装集成时的故障诊断、性能评估等提供依据。该偏振检测装置实验的配置如图1所示,在传统光刻照明系统中增加偏振分束棱镜PBS产生X方向
文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果_上海光学精密机械研究所
上海光学精密机械研究所 免费考研网/2018-05-06
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