孙清清研究员博士生导师
电话：**
邮箱：qqsun@fudan.edu.cn
地址：复旦大学邯郸校区微电子学楼403室
研究所：微纳电子器件研究所
研究方向：
新结构集成电路逻辑、存储、传感器件及其芯片设计
集成电路先导工艺与器件，包括原子层淀积、铜互连技术等
高性能存储器件，包括半浮栅晶体管、阻变存储器等
晶圆级二维半导体材料、器件及其电路应用


教育背景：
2007年-2008年德国汉诺威大学，访问****
2004年09月-2009年06月复旦大学，微电子学系，博士
2000年09月-2004年06月复旦大学，物理学，学士


学术经历：
2013年12月-至今复旦大学，微电子学院，研究员、博士生导师
2011年09月-2013年06月复旦大学，微电子学系，副研究员
2009年07月-2011年08月复旦大学，微电子学系，讲师


荣誉称号：
基金委优秀青年基金获得者
上海市优秀学术带头人
上海市青年科技启明星
上海市晨光****
2016年度获中国电子学会技术发明奖一等奖（3）
2014年度获上海市科学技术奖二等奖（4）


主持的国家级项目：
国家科技重大专项课题“65-45nm PVD工艺优化的理论和实验研究”
国家科技重大专项课题“32-22nm高k/金属栅纳米叠层材料制备工艺研究”
自然科学基金委重大科学仪器研制项目课题“二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器”
国家高技术研究发展计划（863计划）子课题“14纳米以下技术代硅基新型器件及关键工艺技术研究”
自然科学基金优秀青年科学基金“低功耗电子器件”
自然科学基金面上项目“高k介质/拓扑绝缘体界面结构的物理和电学特性研究”
自然科学基金青年基金“原子层淀积栅介质/石墨烯纳米叠层的界面和电子结构”