基本信息Personal Information
副教授博士生导师
硕士生导师
主要任职：无
其他任职：仪器仪表学会传感器分会理事；中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事；IEEE会员
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：生物医学工程学院
学科：微电子学与固体电子学 生物医学工程 电路与系统
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个人简介Personal Profile
现就职于大连理工大学电信学部，从事微型半导体传感器与集成系统相关领域的研究。科研简历：在气体传感器技术方面，完成了十一五863重点项目子课题“危化品监测传感器信号处理及网络接口技术” （2006AA040102，主持）以及“危化品检测传感器及其系统集成产品的测试与可靠性评估技术” （2006AA040106，技术骨干）。先后主持了自然科学基金青年项目“自对准双层薄膜量热计的研究”，和面上项目“基于形变在线调控技术研究微热板气体传感器在应力作用下的稳定性和可靠性”（**）。参与国家自然科学基金重点项目“硅基纳米多级复合结构集成气体传感器” （**），在课题中负责单芯片集成微气体传感器阵列的研发工作。参与重大项目“航天技术与信息器件中的微细尺度传热”的二级子课题“微传感器中的微尺度热特性研究（**-5）”，在课题中具体完成基于微热板的微气体传感器和微量热计的研制工作。参与973项目课题“仿生光导航微纳器件的设计与制造”（2011CB302105），在课题中协助完成仿生光导航微纳器件的集成电路设计工作。
海外交流：2001年至2003年公派至香港科技大学电子系任研究助理，研究MEMS传感器及微尺度传热理论和技术。2004年受日本大金工业株式会社邀请短期访问日本大阪大金空调技术研究所；2010年及2014年两次短期访问美国纽约州立大学SEMATECH中心；2014年至2015年访问美国德州州立大学，合作研究打印电子技术。
教育经历Education Background
工作经历Work Experience
1999.92005.12
大连理工大学
机械电子工程
博士
1995.91999.7
电子科技大学
电子材料与元器件
学士
1992.91995.7
泸州市第六中学
无
2006.3至今
大连理工大学
专任教师
研究方向Research Focus
社会兼职Social Affiliations
薄膜微尺度热测试技术
电子鼻系统
集成微传感器技术
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副教授博士生导师
硕士生导师
主要任职：无
其他任职：仪器仪表学会传感器分会理事；中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事；IEEE会员
性别：女
毕业院校：大连理工大学
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学科：微电子学与固体电子学 生物医学工程 电路与系统
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当前位置: 余隽 >> 科学研究
研究领域
（1）集成微气体传感器阵列芯片
气体传感器必须在近600K的高温下工作，器件的低功耗和微型化是必然的发展方向。我们采用标准CMOS工艺与MEMS工艺相结合, 将传感器阵列与集成电路单芯片集成，研发了多款集成微气体传感器芯片，具有低功耗、高集成度、精确控温、快速调温等优点，结合多种纳米气敏材料可实现多种气体的浓度检测。
以气体传感器阵列为核心，配套开发阵列信号处理算法，研制无线智能电子鼻系统，可灵活用于多种易燃易爆、有毒有害气体泄漏的检测，以及呼出气体检测。为了提升系统的性能，在传感器设计制造、敏感材料、仿真计算、电路系统方面开展了大量研究工作。相关成果已在 “Sensors and Actuators B: Chemical”、“Sensors”、“仪表技术与传感器”等学术期刊、以及“IEEE Sensors”“International Meeting on Chemical Sensors”等国际学术会议上发表数十篇学术论文。
（2）电子打印技术
打印电子技术是一种增材制造技术。 进入21世纪后，纳米技术蓬勃发展，将纳米电子材料制成墨水，再以打印方式将其图形化转移到衬底上，形成各种电子元器件。本课题组研究纳米材料与墨水的制备和EHD打印技术。
EHD打印技术是在打印针头和衬底之间施加千伏级电压，墨水在电场力、表面张力等综合作用下形成远小于针头内径的精细微滴，从而实现高精度打印。本课题组主要研究适用于微纳米功能材料转移的EHD打印技术，实现自动对准、在线观测、并克服针头堵塞，提高打印效率。
（3）薄膜微量热计
微纳器件中薄膜的热参数决定着器件的热性能，但用于深亚微米厚度薄膜热容、熔点等热参数测量的研究在国内较少。我们克服传统微量热计绝热性、机械强度与加工工艺技术间的制约问题，采用表面牺牲层MEMS技术研发了新结构的单层和双层薄膜微量热计。利用薄膜量热计实现了厚度为几十纳米量级的金属薄膜热容、熔点等热特性参数的测量。此外双层薄膜量热计的两个平行悬空薄膜之间的间隙宽度在亚微米量级，将其用于近场热辐射现象的观测，测量和估算了微量热计在真空中的远场辐射热量、近场辐射热量以及传导热量，并定量计算了近场热辐射系数。相关成果分别在“Transactions of the ASME - Journal of Heat Transfer”、“Sensors”、“Chinese Physics Letters”等SCI期刊，“半导体学报”（EI）、“传感器与微系统”等中文核心期刊，以及“IEEE Sensors”、“International ASME Conference on Nanochannels, Microchannels and Minichannels”等国际学术会议上发表十余篇学术论文。
论文成果 More>>
Wu, Hao,Yu, Jun,Cao, Rui,Yang, Yinghua,Tang, Zhenan.Electrohydrodynamic inkjet printing of Pd loaded SnO2 nanofibers on a CMOS micro hotplate for low power H-2 detection[J],AIP ADVANCES,2018,8(5)
Li, Ting,Tang, Zhenan,Huang, Zhengxing,Yu, Jun.Substrate effects on the thermal performance of in-plane graphene/hexagonal boron nitride heterostructures[J],CARBON,2018,130:396-400
李中洲,余隽,周君伟,耿万鑫,唐祯安.用于气体传感器的微热板工艺流程与性能对比[J],仪表技术与传感器,2018,1:17-20
吴昊,余隽,曹睿,杨英花,唐祯安.Electrohydrodynamic inkjet printing of Pd loaded SnO2 nanofibers on a CMOS micro hotplate for low power H2 detection[J],AIP Advances,2018,8(5):55307-
杨英花,余隽,唐祯安.柔性MWCNTs-PANI分层结构氨气传感器的制备及温湿度影响的研究[A],第十五届全国敏感元件与传感器学术会议,2018,00(00):0-0
He, Aixiang,Wei, Guangfen,Yu, Jun,Tang, Zhenan,Lin, Zhonghai,Wang, Pingjian.A Novel Dictionary Learning Method for Gas Identification With a Gas Sensor Array[J],IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS,2017,64(12):9709-9715
专利 More>>
DUT0726
一种气体传感器可视化系统
一种危化品运输监测传感器信号采集系统及方法
一种电子鼻系统的封装方法
双层悬空梁微结构薄膜量热计
一种用于可燃气体探测器的基线漂移自适应补偿探测方法
著作成果
数字电路与系统
电子鼻系统原理及技术
数字电路与系统
科研项目 More>>
白金电极芯片加工, 企事业单位委托科技项目, 2012/10/25-2012/12/31, 进行
面向安全监测与跟踪的网络化微系统：1、危化品监测传感器信号处理及网络接口技术, 2006/12/01, 完成
基于形变在线调控技术研究微热板气体传感器在应力作用下的稳定性和可靠性, 国家自然科学基金项目, 2012/09/25-2016/12/31, 完成
自对准双层薄膜量热计的研究, 国家自然科学基金项目, 2008/09/25-2011/12/31, 完成
半导体气体传感器的研发, 企事业单位委托科技项目, 2018/08/01-2020/07/31, 进行
微流体染料激光器2017, 其他课题, 2017/09/01, 进行
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其他任职：仪器仪表学会传感器分会理事；中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事；IEEE会员
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研究领域
当前位置: 余隽 >> 科学研究 >> 研究领域（1）集成微气体传感器阵列芯片
气体传感器必须在近600K的高温下工作，器件的低功耗和微型化是必然的发展方向。我们采用标准CMOS工艺与MEMS工艺相结合, 将传感器阵列与集成电路单芯片集成，研发了多款集成微气体传感器芯片，具有低功耗、高集成度、精确控温、快速调温等优点，结合多种纳米气敏材料可实现多种气体的浓度检测。
以气体传感器阵列为核心，配套开发阵列信号处理算法，研制无线智能电子鼻系统，可灵活用于多种易燃易爆、有毒有害气体泄漏的检测，以及呼出气体检测。为了提升系统的性能，在传感器设计制造、敏感材料、仿真计算、电路系统方面开展了大量研究工作。相关成果已在 “Sensors and Actuators B: Chemical”、“Sensors”、“仪表技术与传感器”等学术期刊、以及“IEEE Sensors”“International Meeting on Chemical Sensors”等国际学术会议上发表数十篇学术论文。
（2）电子打印技术
打印电子技术是一种增材制造技术。 进入21世纪后，纳米技术蓬勃发展，将纳米电子材料制成墨水，再以打印方式将其图形化转移到衬底上，形成各种电子元器件。本课题组研究纳米材料与墨水的制备和EHD打印技术。
EHD打印技术是在打印针头和衬底之间施加千伏级电压，墨水在电场力、表面张力等综合作用下形成远小于针头内径的精细微滴，从而实现高精度打印。本课题组主要研究适用于微纳米功能材料转移的EHD打印技术，实现自动对准、在线观测、并克服针头堵塞，提高打印效率。
（3）薄膜微量热计
微纳器件中薄膜的热参数决定着器件的热性能，但用于深亚微米厚度薄膜热容、熔点等热参数测量的研究在国内较少。我们克服传统微量热计绝热性、机械强度与加工工艺技术间的制约问题，采用表面牺牲层MEMS技术研发了新结构的单层和双层薄膜微量热计。利用薄膜量热计实现了厚度为几十纳米量级的金属薄膜热容、熔点等热特性参数的测量。此外双层薄膜量热计的两个平行悬空薄膜之间的间隙宽度在亚微米量级，将其用于近场热辐射现象的观测，测量和估算了微量热计在真空中的远场辐射热量、近场辐射热量以及传导热量，并定量计算了近场热辐射系数。相关成果分别在“Transactions of the ASME - Journal of Heat Transfer”、“Sensors”、“Chinese Physics Letters”等SCI期刊，“半导体学报”（EI）、“传感器与微系统”等中文核心期刊，以及“IEEE Sensors”、“International ASME Conference on Nanochannels, Microchannels and Minichannels”等国际学术会议上发表十余篇学术论文。
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论文成果
当前位置: 余隽 >> 科学研究 >> 论文成果[1]Wu, Hao,Yu, Jun,Cao, Rui,Yang, Yinghua,Tang, Zhenan.Electrohydrodynamic inkjet printing of Pd loaded SnO2 nanofibers on a CMOS micro hotplate for low power H-2 detection[J],AIP ADVANCES,2018,8(5)
[2]Li, Ting,Tang, Zhenan,Huang, Zhengxing,Yu, Jun.Substrate effects on the thermal performance of in-plane graphene/hexagonal boron nitride heterostructures[J],CARBON,2018,130:396-400
[3]李中洲,余隽,周君伟,耿万鑫,唐祯安.用于气体传感器的微热板工艺流程与性能对比[J],仪表技术与传感器,2018,1:17-20
[4]吴昊,余隽,曹睿,杨英花,唐祯安.Electrohydrodynamic inkjet printing of Pd loaded SnO2 nanofibers on a CMOS micro hotplate for low power H2 detection[J],AIP Advances,2018,8(5):55307-
[5]杨英花,余隽,唐祯安.柔性MWCNTs-PANI分层结构氨气传感器的制备及温湿度影响的研究[A],第十五届全国敏感元件与传感器学术会议,2018,00(00):0-0
[6]He, Aixiang,Wei, Guangfen,Yu, Jun,Tang, Zhenan,Lin, Zhonghai,Wang, Pingjian.A Novel Dictionary Learning Method for Gas Identification With a Gas Sensor Array[J],IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS,2017,64(12):9709-9715
[7]Li, Ting,Tang, Zhenan,Huang, Zhengxing,Yu, Jun.Thermal boundary resistance between the polycrystalline graphene and the amorphous SiO2 substrate[J],CHEMICAL PHYSICS LETTERS,2017,685:349-353
[8]杨英花,余隽,吴昊,李中洲,唐祯安.氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究[J],传感技术学报,2017,30(4):496-499
[9]施展,余隽,唐祯安,蔡泓,冯冲.高性能集成锁相环中低失配电荷泵的设计[J],电子与信息学报,2017,39(6):1472-1478
[10]杨英花,余隽,吴昊,李中洲,唐祯安.中国微米纳米----氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究[J],传感技术学报,2017,30(4):496-499
[11]Li, Ting,Tang, Zhenan,Huang, Zhengxing,Yu, Jun.A comparison between the mechanical and thermal properties of single-walled carbon nanotubes and boron nitride nanotubes[J],PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES,2017,85:137-142
[12]余隽,唐祯安.静电打印法制备Zn2SnO4/SnO2微热板气体传感器的研究[A],2017
[13]余隽,唐祯安.微热板气体传感器低功耗工作模式研究[A],2017
[14]黄正兴,关经纬,吴昊,余隽,唐祯安.比较法研究微细尺度氮化硅表面自然对流换热[J],电子器件,2016,39(6):1287-1291
[15]梁家铭,余隽,吴佳蕊,程春雨,吴昊,周君伟,唐祯安.面向微热板气体传感器的控温采集无线节点设计[J],仪表技术与传感器,2016,12:44-48
[16]程春雨,王开宇,商云晶,高庆华,余隽.电阻应变式称重传感器在实验教学中的应用[J],实验室科学,2016,19(4):48-50
[17]Li, Ting,Tang, Zhenan,Huang, Zhengxing,Yu, Jun.Interfacial thermal resistance of 2D and 1D carbon/hexagonal boron nitride van der Waals heterostructures[J],CARBON,2016,105:566-571
[18]程春雨,吴振宇,高庆华,王林,吴雅楠,余隽.模拟电子技术实验与课程设计教材编写实践[J],实验室科学,2016,19(3):69-71,75
[19]余隽,唐祯安.CMOS和MEMS微热板的制备工艺及性能对比研究[A],2016
[20]余隽,唐祯安.氧化锌薄膜表面气体吸附的反应分子动力学模拟[A],2016
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专利
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一种气体传感器可视化系统
一种危化品运输监测传感器信号采集系统及方法
一种电子鼻系统的封装方法
双层悬空梁微结构薄膜量热计
一种用于可燃气体探测器的基线漂移自适应补偿探测方法
一种危化品运输智能罐箱运行状态监测方法
湿度可调高精度闭环配气系统
一种基于压电效应的低频低损耗能量管理芯片
一种危化品指针式仪表的数字接口方法及系统
一种危化品运输监测装置的电源管理方法及系统
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电子鼻系统原理及技术
数字电路与系统
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科研项目
当前位置: 余隽 >> 科学研究 >> 科研项目白金电极芯片加工, 2012/10/25-2012/12/31, 进行
面向安全监测与跟踪的网络化微系统：1、危化品监测传感器信号处理及网络接口技术, 863 计划项目, 2006/12/01, 完成
基于形变在线调控技术研究微热板气体传感器在应力作用下的稳定性和可靠性, 国家自然科学基金, 2012/09/25-2016/12/31, 完成
自对准双层薄膜量热计的研究, 国家自然科学基金, 2008/09/25-2011/12/31, 完成
半导体气体传感器的研发, 2018/08/01-2020/07/31, 进行
微流体染料激光器2017, JW创新特区, 2017/09/01, 进行
全集成红外气体传感器用MEMS红外光源开发, 2018/01/11-2020/12/31, 进行
大型数据中心热管理中基于热成像节点的热点成因自动诊断方法研究, 国家自然科学基金, 2014/09/01-2017/12/31, 完成
3D打印仿生嗅觉器官, 辽宁省自然基金指导计划, 2018/08/10, 进行
MEMS气体传感器气敏材料的EHD微滴打印关键技术研究, 国家自然科学基金, 2018/09/01, 进行
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