甘志银

同专业博导 同专业硕导
个人信息Personal information

教授博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：机械科学与工程学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：华中科技大学
学科：机械制造及其自动化
曾获荣誉：
2006华中科技大学优秀青年教工


其他联系方式Other contact

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· 通讯/办公地址：

· 邮箱：


个人简介Personal profile

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教育经历Education experience

2003.9 ~ 2008.12  华中科技大学    工学博士学位  -  研究生(博士)毕业 
1987.9 ~ 1991.9  北京工业大学   研究生(硕士)毕业 
1983.9 ~ 1987.7  南开大学   本科(学士) 

工作经历Work experience

2003.7-至今 华中科技大学机械科学与工程学院 -教授
1990.7-1991.7 北京光电技术研究所


社会兼职Social affiliations

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研究方向Research focus

半导体工艺装备设计与制造
微纳材料与器件设计与仿真


团队成员Research group

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学科：机械制造及其自动化
曾获荣誉：
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科学研究 中文主页 - 科学研究


研究领域
半导体技术；
计算物理；
MEMS/NEMS系统设计及仿真；
MEMS制造工艺与设备；
半导体工艺设备设计与制造；
半导体材料外延工艺；


论文成果
[1] Zhiyin Gan.Application of Car-Parrinello Molecular Dynamics to Ga-rich GaN Buffer Layer for Stress Relaxation in GaN Grown Layer.International Journal of Nonlinear Sciences & Numerical Simulation,10(5):557-562
[2] Tingkai Zhang.Study on triple-stack anodic bonding using two electrodes.Sensors and Actuators A: Physical,157(1):168-172
[3] Zhiyin Gan.Getter free vacuum packaging for MEMS.Sensors and Actuators A: Physical,149(1):159-164
[4] Song X. H.First-principles study on effects of mechanical deformation on outer surface reactivity of carbon nanotubes.Physica E,41(4):626-630
[5] Rongjun Zhang.Crystal quality improvement of Gallium Nitride on plane Sapphire by predose method.IEEE:245-246


专利
暂无内容


著作成果
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科研项目
[1] 100lm/W 功率型白光LED 研究和产业化, 863先进制造领域 , 2009-01-30-2012-12-30
[2] 面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究, 863先进制造领域, 2007-12-01-2009-07-31
[3] 高产能智能MOCVD设备的研制及产业化, 省市自治区科技项目, 2011-11-30-2013-11-30
[4] 半导体照明用生产型MOCVD设备的自主研制, 省市自治区科技项目, 2009-10-01-2012-02-01
[5] 基于定向生长CNT电磁对准的感应热压键合技术研究, 自然科学基金面上项目, 2011-01-01-2013-12-01

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MEMS/NEMS系统设计及仿真；
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论文成果 中文主页 - 科学研究 - 论文成果

[1] Zhiyin Gan,victor liu.Application of Car-Parrinello Molecular Dynamics to Ga-rich GaN Buffer Layer for Stress Relaxation in GaN Grown Layer.International Journal of Nonlinear Sciences & Numerical Simulation.10(5):557-562
[-8] Tingkai Zhang,Zhiyin Gan.Study on triple-stack anodic bonding using two electrodes.Sensors and Actuators A: Physical.157(1):168-172

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科研项目 中文主页 - 科学研究 - 科研项目

[1] 100lm/W 功率型白光LED 研究和产业化,2008AA03A184,2009-01-30-2012-12-30
[2] 面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究,2007AA04Z348,2007-12-01-2009-07-31
[3] 高产能智能MOCVD设备的研制及产业化,广东省科技厅项目,2011A,2011-11-30-2013-11-30
[4] 半导体照明用生产型MOCVD设备的自主研制,广东省科技厅项目,2009A,2009-10-01-2012-02-01
[5] 基于定向生长CNT电磁对准的感应热压键合技术研究,2011-01-01-2013-12-01
[6] MOCVD新型反应腔设计、LED缺陷抑制和量子效率调控,2011CB013100-G,2011-11-01-2016-11-01
[7] 应用于高质量深紫外LED的高效率大规模生产型MOCVD设备研发,广东省科研项目,2015B,2015-10-01-2017-09-01
[8] 薄膜生长缺陷跨时空尺度原位/实时监测与调控实验装置,自然基金委,2018-05-30-

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