周云飞

姓名：周云飞
电话：
职称：研究员
邮箱：yfzhou@mail.hust.edu.cn

个人基本情况 周云飞（Zhou Yunfei，Researcher），1956年生，浙江临海人。1982年毕业于浙江大学机械系，1989和1993年于华中理工大学获硕士、博士。曾在研究所、企业工作，1993年博士毕业留校工作，1995年1月由讲师破格晋升研究员，1998年任博士生导师。入选湖北省有突出贡献中青年专家，湖北省科技精英，国家百千****才计划，华中科技大学****与华中********。
主要研究经历：主持语主研完成国家级项目10余项。“八五”期间，主研开发华中I型数控系统，已进入产业发展，成果获1999年中国高校十大科技进展与2000年国家科技进步二等奖；“十五”期间，参加国家重大项目“100nm步进扫描投影光刻机”研发，负责超精密运动控制系统研制，完成的由7个多处理器并行的运动控制器与控制算法软件，实现定位精度10nm，硅片台与掩模台两台同步运动精度MA<5nm、MSD<12nm。（国外比喻相当于两架时速为1000公里的波音747，飞行中相对位置误差小于10微米），为我国首台高精度光刻机的研发作出贡献，2012年获国家技术发明二等奖。此外，获省部级科技奖励一等奖3项、二等奖2项。
在国内外期刊发表论文100余篇。指导出站博士后6名，毕业博士20余名、硕士多名。


主要研究方向 数控技术
精密运动控制
伺服电机与驱动


开设课程

近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖 承担的科研项目：
1. 磁浮平面电机高效电磁结构与精密控制方法研究，国家自然科学基金，80万，2014-2018；
2. 双工件台运动控制系统硬件研发，国家重大科技专项，1029万，2009-2014；
3. 面向光刻机的超精密平面电机的设计与试验研究，国家自然科学基金，30万，2007-2011；
4. 100nm步进扫描光刻机工件台掩膜台超精密运动与同步控制子系统研发，国家 863重大项目，620万,2004-2008.


荣誉与奖励：
1. 2012年国家技术发明二等奖：纳米精度多自由度运动系统关键技术及其应用；
2. 2000年国家科技进步二等奖：华中I型数控系统；
3. 2006年教育部自然科学奖一等奖：多足步行机器人运动规划与控制的研究；
4. 2005年湖北省自然科学二等奖：多足步行机器人运动控制的研究；
5. 1999年教育部科技进步（推广）一等奖：华中I型数控系统的应用推广；
6. 1998年国家机械局科技进步二等奖：多坐标曲面的直接插补技术及应用；
7. 1997年国家教委科技进步一等奖：华中I型数控系统。


代表性著作：
1) Junrong Peng、Yunfei zhou、Guangdou Liu，Calculation of a New Real-time Control Model for the Magnetically Levitated Ironless Planar Motor，IEEE Transactions on Magnetics，VOL. 49, NO. 4, APRIL 2013
2) Junrong Peng, Yunfei Zhou. Modeling and Analysis of a New 2-D Halbach Array for Magnetically Levitated Planar Motor. IEEE Transactions on Magnetics, Vol.49, No.1,618-627，Jan. 2013. （SCI,EI）
3) Hai-Hua Mu，Yun-fei Zhou，Xin Wen，et al．Calibration and compensation of cogging effect in a permanent magnet linear motor． Mechatronics．2009， Vol.9，No.4，pp 577-585．（SCI；EI）
4) Haihua Mu，Yunfei Zhou，Sijie Yan，et al．Third-order trajectory planning for high precision point-to-point motion． Frontiers of Electrical and Electronic Engineering in Chain．vol.4，No.1，pp 83-87,2009年．
5) Zhou Yunfei, Han Aiguo etc, A fast method for online closed-loop system identification, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, November, 2006, p78-84
6) Yunfei Zhou, Bao Song etc,Position/force control with a lead compensator for PMLSM drive system, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, October, 2006, p1084-109
7) Zhou yunfei,Li Shuijin etc, A new fuzzy neural network with fast learning algorithm and guaranteed stability for manufacturing process control, Fuzzy Sets and Systems, Dec 1, 2002, p 201-216；8
8) Zhou Yunfei, Li Bin, Research on the method of precision evaluation and controlling for the cutter location path in five-axis machining ,International Journal of Advanced Manufacturing Technology, August,2005,p342-3509
9) Li Bin, Zhou Yunfei, Tang Xiaoqi, A research on open CNC system based on architecture/component software reuse technology, Computers in Industry, v 55, n 1, September, 2004, p 73-85
10) Dai Yi, Zhou Yunfei, Jia Yazhou, Distribution of time between failures of machining center based on type I censored data, Reliability Engineering and System Safety, v 79, n 3, Mar 1, 2003, p 377-379
11) Yunfei Zhou, Bao Song et,Position/force control with a lead compensator for PMLSM drive system, International Journal of Advanced Manufacturin
12)穆海华，周云飞，周艳红．洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模．中国电机工程学报．Vol.29，No.15，pp95-100，2009。（EI）
13)穆海华, 周云飞, 周艳红. 步进扫描光刻机扫描运动轨迹规划及误差控制，机械工程学报，第46卷，第2期，166-170页，2010年1月。.
14)穆海华，周云飞，周艳红，光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法，机械工程学报，46卷，第7期，122-127页，2010年4月。
15)穆海华，周云飞，温新等．直线电机齿槽推力波动的标定与补偿方法．电机与控制学报． 2009，第13卷，第5期，pp 721-727．（EI）