光刻胶特性曲线参数测量的新方法A NEW METHOD FOR THE MEASUREMENT OF CHARACTERISTIC CURVE PARAMETERS OF PHOTORESIST 张洪波; 1:徐州建筑职业技术学院 摘要(Abstract)：
文中通过台阶实验的数据结合光刻胶光栅掩模的槽形,得到光刻胶特性参数,利用这些参数可以模拟出任一曝光量,任一显影时间,任一空频下,光栅掩模的槽形.为今后制作符合要求的光栅提供有力依据.
关键词(KeyWords)： 光刻胶;;台阶实验;;光栅掩模;;特性参数
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作者(Author): 张洪波;
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参考文献(References)： [1]Yu Mei wen,Zhang Cunlin,Yang Yongyuan.Holographic Recording Materials and Applications(全息记录材料及其应用).Higher Education Press,1997.221
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光刻胶特性曲线参数测量的新方法
清华大学 辅仁网/2017-07-08
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