刘理天,教授,博导。1947.6出生于南昌.1970毕业于清华大学无线电电子学系。
现任:
*中国微米/纳米学会常务理事
*中国仪器仪表传感器学会常务理事
*中国计量测试学会理事*中国电子学会高级会员
*《固体电子学研究进展》编委
*《传感技术学报》编委
*《仪表技术与传感器》编委
l)曾经进行过的研究内容:
·高频功率晶体管 双极型集成电路(TTL)
·结型场效应器件(JFT) EEPROM集成电路
·BiCMOS低温器件与电路 深亚微米MOS器件
·微机械(MEMS)器件 硅集成传感器
2)近年来研究成果:在国内首先研制出以下器件:
·几种新型硅集成传感器(压力、温度、红外、磁场、加速度、等传感器)
·硅微静电马达
·硅集成微型泵
·硅微声学器件(硅麦克风、超声器件)
以上器件在结构上都具有创新,技术指标都达到国际先进水平
3)论文发表情况:
在国内外重要学术期刊及学术会议上发表了260余篇论文。SCI收录80余篇,EI收录100余篇,其中有若干篇被评为中国电子学会全国优秀论文。
(二)目前研究方向与研究内容:
1、研究方向:
(1)集成传感技术与器件
·硅微型加速度计
·硅集成压力传感器
·集成磁场传感器
·硅微流量计
(2)微电子机械系统(MEMS)
·硅微型马达
·硅微型泵
·硅微型麦克风
·铁电--硅微器件
·硅微机械陀螺
·RFMEMS器件(射频微机械开关、滤波器、天线、电感电容)
·微光机电器件(MOEMS)
(3)硅生物芯片与技术
·微电子与分子生物学兼容技术
·DNA芯片技术(生物芯片技术)
(4)新型微电子器件
·深亚微米MOS器件
·半导体低温器件与电路
(5)纳米技术与纳米器件
·纳米制造技术、加工技术
·量子传感器