研究员
杨晋玲

杨晋玲，研究员，博士生导师。1968年11月生。1997年在中国科学院物理研究所获博士学位。1997年-2004年，先后在日本东北大学的VentureBusinessLaboratory、德国弗莱堡大学的InstituteforMicrosystemTechnology、瑞士巴塞尔大学的InstituteofPhysics和IBMZurichResearchLaboratory工作。主要从事微纳器件研制和表征（如：超小悬臂梁的制备及其在超快和超敏感的原子力显微镜中的应用）、MEMS薄膜的可靠性研究。取得的主要学术成就：大规模制备了具有优良机械性能的超薄单晶硅力传感器，澄清了其机械能量损失机制，使AFM的扫描速度和力分辨率分别提高至少10倍和5倍。在国际上首次将吹曲测试（BulgeTest）扩展到了薄膜的断裂性能表征，适用于任何薄膜的残余应力、杨氏模量和断裂应力分析。2004年，入选中国科学院"百人计划"，加入中科院半导体研究所，获国家863计划、973计划，以及中国科学院重大科研装备计划项目等的资助。组建了国内首台吹曲测试系统，对多种MEMS/NEMS薄膜材料的力学性能和可靠性进行了表征。组建了国内首台宽频谱的射频微纳谐振器件的频谱特性表征系统。成功研制了频率达400MHz的圆盘结构谐振子。迄今为止在国际著名刊物发表文章50余篇，获得PCT国际发明专利一项，EP专利3项和申请中国国家专利8项。近期内主要从事：（1）射频微机电器件研究（2）MEMS/NEMS封装技术的研究（3）微纳器件可靠性研究，等联系方法：电话：（010）82304700，传真：（010）82305141，E-mail：jlyang@semi.ac.cn。近年来代表性文章：1.Y.F.Liu，J.Xie，M.L.Zhang，J.L.Yang，andF.H.Yang,“Aneffectiveapproachforrestraininggalvaniccorrosionofpolycrystallinesiliconbyhydrofluoricacid-basedsolutions”,IEEEJ.Microelectromech.Syst.20(2):460(2011）.2.Y.F.Zhu,F.X.Zhang,J.L.Yang,H.Y.Zheng,F.H.Yang，“Stabilityofmechanicalpropertiesforsubmicrometersingle-crystalsiliconcantileverundercyclicload”,IEEEJ.Microelectromech.Syst.20(1):178(2011).3.R.R.Gruter,Z.Khan,R.Paxman,J.Ndieyira,B.Dueck,B.Bircher,J.L.Yang,U.Drechsler,M.despont,R.Mckendry,andB.W.Hoogenboom，“Distanglingmechanicalandmasseffectsonnanomechanicalresonator”，Appl.Phys.Lett.96,023113(2010).4.W.Zhou,J.L.Yang,G.S.Sun,X.F.Liu,A.Ji,F.H.Yang,Y.D.Yu,andJ.M.Li,“Fracturepropertiesofsiliconcarbidethinfilmsbybulgetestoflongrectangularmembrane”,IEEEJ.Microelectromech.Syst.17(2):453(2008).5.J.L.Yang,J.Gaspar,andO.Paul,“FracturepropertiesofLPCVDsiliconnitrideandthermaloxidethinfilmsfromtheload-deflectionoflongSi₃N₄andSiO₂Membranes”,IEEEJ.Microelectromech.Syst.17,1120(2008).6.J.L.Yang,M.Despont,U.Drechsler,B.W.Hoogenboom,H.J.Hug,P.Vettiger,andA.Engel,“Miniaturizedsinglecrystalsiliconcantileversforscanningforcemicroscopy”,Appl.Phys.Lett.86,134101(2005).7.J.Xie,Y.F.Liu,H.Zhao,J.L.Yang,andF.H.Yang,“Reliablelow-costfabricationandcharacterizationmethodsformicromechanicaldiskresonators”,Tech.Digest,Transducers’2011,Beijing,China,June6–9,pp.2462,2011.8.J.Xie,Y.F.Liu,M.L.Zhang,J.L.Yang,andF.H.Yang,“AsimplemethodtoeffectivelyrestrainelectrochemicalcorrosionofpolycrystallinesiliconlayersbyHF-basedsolutions”,IEEEMEMS2011,Mexico,Jan.23–27,pp.205,2011.