研究员
张韵
张韵,男,博士,研究员,硕士生导师,****青年项目引进人才。清华大学电子工程系学士,佐治亚理工学院电子及计算机工程系博士。曾在美国高平(Kopin)半导体公司III-V部门从事研发工作。2012年4月开始在半导体所工作。具备多年GaN、GaAs基器件的设计、制造工艺及器件物理分析经验。
2006年至2008年,作为器件制备工艺和设计的主要贡献者,参与美国国防部先进研究项目局(DARPA)在深紫外光电探测器领域的项目“DeepUltravioletAvalanchePhotodetectors(DUVAP)”。在国际上首次提出使用紫外光加强型湿法刻蚀的方法,降低GaN基PIN紫外光雪崩光电二极管(APD)的表面漏电流,进而在GaN体衬底上首次实现了雪崩光电增益超过104(IEEEPhoton.Technol.Lett.19(21),1744–1746,2007)。2008年,再次原创性地提出使用双台面表面耗尽层设计,进一步降低APD的表面漏电,器件在20V反向偏压下暗电流仅有3fA(Appl.Phys.Lett.94(22),221109-1–3,2009),雪崩光电增益在360nm下达到105,在280nm下也达到104。经第三方检测(弗吉尼亚大学Campbell教授实验组),该器件在265nm实现了具备单光子探测能力的盖革模式工作(IEEEPhoton.Technol.Lett.21(20),1526–1528,2009),性能处于同期世界最好水平。
2008年至2010年,参与完成了DARPA部署在可见光波段激光器领域的项目“VisibleInGaNInjectionLasers(VIGIL)”。利用不到一年的时间,独立开发了一整套InGaN基半导体激光器的制成和测试技术,在同时参与该项目的诸多北美科研机构中,率先在c面GaN体衬底上实现了420nm蓝紫光和460nm蓝光InGaN基半导体激光器的室温连续激射。2011年,通过大量实验数据,首次证实了渐变AlGaN电子阻挡层能够大幅度提升InGaN基蓝光激光器的性能(J.Appl.Phys.109(8),083115-1–5,2011),得到了国际半导体界的广泛重视(SemiconductorToday,May9,2011)。
在光电子器件领域取得了丰硕成果的同时,在GaN基大功率电子器件方面也有丰富的经验和世界领先的成果。2006年至2011年,作为器件制备工艺的主要开发者,参与完成了美国自然科学基金项目“NovelHigh-PerformanceIII-NHBTsforNext-Genegration”。2011年,在蓝宝石衬底上实现了世界上首个最高响应频率(fT)大于5.3GHz的GaN基射频异质结双极晶体管(HBT),最高功率输出频率(fmax)为1.3GHz(IEEEElectronDeviceLett.32(8),1065–1067,2011)。2012年,在GaN体衬底上达到了141KA/cm2的世界最高电流密度以及3.05MW/cm2的最高功率密度(Phys.StatusSolidiA,209(3),497-500,2012)。
迄今为止已在国际高水平学术期刊发表GaN方面文章20余篇,及40余篇国际会议文章和1项美国专利申请。相关研究成果先后4次被半导体网络杂志SemiconductorToday作为热点报道并获得广泛关注。
主要研究领域或方向:
1.GaN基大功率异质结双极晶体管(HBT)及其在射频电子领域的应用;
2.GaN基大功率高电子迁移率场效应管(HEMT)及其在高效节能的电力电子领域的应用;
3.AlGaN基深紫外半导体激光器(LD)及发光二极管(LED)
4.AlGaN基深紫外雪崩光电二极管(APD)
联系方式:
E-mail:yzhang34@semi.ac.cn; 电话:010-82305494
在研/完成项目:
中组部****青年项目
代表性论文:
1、Y.-C.Lee,Y.Zhang,Z.M.Lochner,H.-J.Kim,J.-H.Ryou,R.D.Dupuis,andS.-C.Shen,"GaN/InGaNheterojunctionbipolartransistorswithultra-highd.c.powerdensity(>3?MW/cm2),"Phys.StatusSolidiA,209(3),497-500(2012).
2、Y.Zhang,T.-T.Kao,J.P.Liu,Z.Lochner,Y.-C.Lee,S.-S.Kim,J.-H.Ryou,R.D.Dupuis,andS.-C.Shen,“Effectsofastep-gradedAlxGa1-xNelectronblockinglayerinInGaN-basedlaserdiodes,”J.Appl.Phys.109(8),083115-1–5(2011).
3、Y.Zhang,S.-C.Shen,H.J.Kim,S.Choi,J.-H.Ryou,R.D.Dupuis,andB.Narayan,“Low-noiseGaNultravioletp-i-nphotodiodesonGaNsubstrates,”Appl.Phys.Lett.94(22),221109-1–3(2009).
4、S.Choi,H.J.Kim,Y.Zhang,X.Bai,D.Yoo,J.Limb,J.-H.Ryou*,S.-C.Shen,P.D.Yoder,andR.D.Dupuis,“Geiger-modeoperationofGaNavalanchephotodiodesgrownonGaNsubstrates,”IEEEPhoton.Technol.Lett.21(20),1526–1528(2009).
5、S.-C.Shen,Y.Zhang,D.Yoo,J.-B.Limb,J.-H.Ryou,P.D.Yoder,andR.D.Dupuis,“PerformanceofdeepultravioletGaNavalanchephotodiodesgrownbyMOCVD,”IEEEPhoton.Technol.Lett.19(21),1744–1746(2007).
6、R.D.Dupuis,S.Shen,andY.Zhang,"TreatmentofsurfaceofsemiconductordeviceinvolvesformingetchedsurfacefromcompositioncomprisingnitrideofgroupIIIelement,"US2010072518-A1.
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中国科学院半导体研究所研究生导师简介-张 韵
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