李婷 职称：教授级高级工程师
研究所：微纳电子学研究院
研究领域：微纳米制造技术
办公电话：86-10-6275 2674
电子邮件：liting@pku.edu.cn
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教育背景：
1991年8月在北京工业大学，半导体物理与器件专业获学士学位
主要研究领域：
微纳结构制造工艺开发和工艺流程及版图设计、大型工艺平台运行管理
主要科研项目：
作为项目负责人，分别主持重点实验室基金“金硅键合技术研究”和国家863项目“过程控制硅压力传感器及系统”项目，经费共计213万元；
1996年至今，作为技术骨干参与20余项MEMS工艺和器件相关的NSFC、973、863、电子预研、重大专项课题、重大科技计划等国家级科研项目；
主要获奖成果：
“硅基MEMS技术及应用研究”获2003年北京市科技进步一等奖、2006年国家技术发明奖二等奖（王阳元，张大成，郝一龙，闫桂珍，李婷，张海霞）；
IEC（国际电工委员会）微机电领域第一个中国提案标准的核心团队人员；
多次获得北京大学实验技术奖和先进实验室奖；
主要学术任职：
北京大学微电子工艺实验室副主任