基本信息
于连忠男博导中国科学院地质与地球物理研究所
电子邮件： lyu@mail.iggcas.ac.cn
通信地址： 北土城西路19号旧楼225室
邮政编码： 100029

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学

招生方向微电机系统设计与制造


教育背景1991-09--1993-06纽约州立大学布法罗分校电子工程系光电子学硕士
1988-09--1991-06复旦大学电子工程系微电子学及微电机系统博士
1985-09--1988-06复旦大学电子工程系微电子学硕士
1981-09--1985-06复旦大学电子工程系半导体物理与器件学士

学历
学位

工作经历
工作简历2011-03~现在,中科院地质与地球物理研究所,研究员
2000-04~2011-03,Honeywell International Inc.,Principle Engineer
1997-07~2000-04,Input/Output Inc.,Senior Design Engineer
1996-01~1997-07,Texas Instruments,Design Engineer
1993-06~1995-12,GP:50 New York Limited,Research Engineer
1991-09~1993-06,纽约州立大学布法罗分校电子工程系,光电子学硕士
1988-09~1991-06,复旦大学电子工程系,微电子学及微电机系统博士
1985-09~1988-06,复旦大学电子工程系,微电子学硕士
1981-09~1985-06,复旦大学电子工程系,半导体物理与器件学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） MEMS vertical comb drive with improved vibration performance, 2008, 第 2 作者, 专利号: US **
（ 2 ） 哑铃型梁膜结构, 1988, 第 2 作者, 专利号: CN**.4
（ 3 ） 双岛梁膜结构, 1988, 第 2 作者, 专利号: CN**.2
（ 4 ） 梁膜硅压力传感器, 1989, 第 2 作者, 专利号: CN**.0
（ 5 ） 具有过载保护的岛膜结构, 1989, 第 2 作者, 专利号: CN**.1
（ 6 ） Micro machined mirror, 2001, 第 2 作者, 专利号: US **
（ 7 ） Comb structure fabrication methods and systems, 2009, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 8 ） Merged-mask micro-machining process, 2003, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 9 ） Vibrating beam accelerometer, 2006, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 10 ） Vibrating beam accelerometer two-wafer fabrication process, 2005, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 11 ） Dual axis micro machined mirror device, 2002, 第 2 作者, 专利号: US **
（ 12 ） Accelerometer with folded beams, 2004, 第 3 作者, 专利号: US **
（ 13 ） Integrated and multi-axis sensor assembly and packaging, 2006, 第 5 作者, 专利号: US **
（ 14 ） High performance MEMS packaging architecture, 2007, 第 2 作者, 专利号: US **
（ 15 ） System and method for uniform multi-plane silicon oxide layer formation for optical applications, 2008, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 16 ） Temporary bridge for micro machined structures, 2002, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 17 ） Method of making dimple structure for prevention of MEMS device stiction, 2009, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 18 ） 一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL8.4
（ 19 ） 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL0.6?
（ 20 ） 一种MEMS陀螺仪及其制造工艺, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL5.3?
（ 21 ） 一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL8.5
（ 22 ） 一种MEMS检测装置及其制造工艺, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL4.6
（ 23 ） 一种MEMS高灵敏度横向加速度计及其制造工艺, 2017, 第 2 作者, 专利号: ZL6.5?
（ 24 ） Silicon SOI wafer accelerometer fabrication process, 2011, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 25 ） Single Silicon-on-insulator(SOI) wafer acceleromter fabrication, 2011, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 26 ） Method of creating a micro electro-mechanical systems accelerometer using a single double silicon-on-insulator wafer, 2013, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 27 ） Accelerometer and its fabrication technique, 2015, 第 2 作者, 专利号: US **
（ 28 ） Accelerometer and its fabrication technique, 2016, 第 2 作者, 专利号: US **
（ 29 ） MEMS Anti-Phase vibratory gyroscope, 2017, 第 1 作者, 专利号: US **
（ 30 ） Symmetrical MEMS Accelerometer and its fabrication process, 2017, 第 1 作者, 专利号: US **


出版信息
发表论文（1）Sensors and actuators, Vol.A28, No.2, 105-112,1991,第1作者
（2）Sensors and Actuators,Vol.A21-A23, 137-141,1990,第2作者
（3）Sensors and Actuators, Vol.19, No.1, 23-31,1989,第2作者
（4）Sensors and Actuators, Vol.A18, No.3/4, 219-229,1989,第3作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） MEMS加速度传感器规模化制造技术与苏子检波器集成-新型MEMS加速度传感器芯片设计与制备技术, 参与,国家级,2011-01--2016-01

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生