基本信息
唐燕女博导中国科学院光电技术研究所
电子邮件： ty0513@163.com
通信地址： 四川成都双流西航港光电大道1号
邮政编码： 610209
部门/实验室：四室
个人信息唐燕，女，1982年生，入选“西部之光”人才计划，中国科学院青年创新促进会成员。致力于微纳制造中的纳米检测技术研究，针对制造过程检测需要，开展光刻机设备核心检焦、对准及间隙测量等关键技术研究。针对加工结果检测需要，以超分辨、三维测量为核心，开展多种检测方法研究及专用设备研发。
发表论文20余篇，其中以第一作者/通讯作者发表SCI论文10余篇，申请国家发明专利10余项，授权5项。作为项目负责人，主持国家自然科学基金青年、面上项目各一项，“西部之光”重点项目一项，中国科学院科学仪器研发项目一项，四川省科技支撑计划项目一项，作为课题负责人参与国家重大仪器专项“超分辨光刻装备研制”，负责其中核心间隙测量、检焦及对准系统研发。此外，带领微纳检测团队争取国家及省部级项目10余项。
?独立/协助指导硕士研究生7名，博士研究生8名，已毕业7名，累计7人获得国家奖学金，4人获得朱李月华博士奖，1人获得四川省优秀毕业生称号。所指导的学生，2人次获得光电所研究生创新基金，1人获得国家自然科学基金面上项目，2人获得国家自然基金青年项目，1人获得四川省苗子工程资助。
招生信息微纳制造中的纳米检测技术研究
招生专业080402-测试计量技术及仪器
招生方向微电子装备关键技术微纳结构三维形貌检测
教育背景2005-09--2010-07四川大学工学博士2001-09--2005-07四川大学工学学士
学历
学位
工作经历
工作简历2010-08~现在,中国科学院光电技术研究所,副研究员
社会兼职
教授课程
专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种复合光栅纳米光刻自动对准系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 0.1 （ 2 ） 基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 1.0 （ 3 ） 一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 6.2
出版信息
发表论文（1）基于复合光栅的大范围高精度对准方法,光学学报,2016,通讯作者（2）Nano-Focusing and Leveling System Based on Improved Phase Analysis,IEEE Photonics Journal,2016,第1作者（3）基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究,光学学报,2015,通讯作者（4）A Moire-Based Four-Channel Focusing and Leveling Scheme for Projection Lithography,IEEE Photonics,2014,通讯作者（5）Influence of Collimation on Alignment Accuracy in Proximity Lithography,IEEE Photonics Journal,2014,第4作者（6）Collimation Sensing With Differential Grating and Talbot Interferometry,IEEE Photonics Journal,2014,第2作者（7）A hybrid doubled achromat based on a photon,optik,2014,第3作者（8）Focusing property of high numerical aperture photon sieves based on vector diffraction,OPTICS COMMUNICATIONS,2013,第1作者（9）Influence of tilt moire fringe on alignment accuracy in proximity lithography,Optics and Lasers in Engineering,2013,第4作者（10）Alignment method based on matched dual-grating moiré fringe for proximity lithography,Optical Engineering,2012,第4作者（11）大数值孔径光子筛偏振特性研究,光学学报,2012,第1作者（12）准相位型光子筛设计,光学学报,2012,第1作者
发表著作
科研活动
科研项目（ 1 ） 基于相位偏折原理的高精度整场检焦方法研究, 主持,国家级,2012-01--2015-12（ 2 ） 微纳流控芯片加工设备研制, 主持,部委级,2012-01--2015-12（ 3 ） 超分辨光刻装备研制, 参与,国家级,2012-01--2015-12
参与会议
合作情况
项目协作单位
指导学生已指导学生
司新春硕士研究生085202-光学工程
现指导学生
谢仲业博士研究生080402-测试计量技术及仪器
韩陈浩磊硕士研究生080402-测试计量技术及仪器
成小龙博士研究生080402-测试计量技术及仪器
刘磊博士研究生080402-测试计量技术及仪器
位浩杰博士研究生080402-测试计量技术及仪器
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中国科学院大学研究生导师教师师资介绍简介-唐燕
本站小编 Free考研考试/2020-04-28
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基本信息唐小萍女硕导光电技术研究所电子邮件：xptang@ioe.ac.cn通信地址：四川省成都市光电所宿舍邮政编码：999999部门/实验室：四室研究领域招生信息招生专业081002-信号与信息处理招生方向信号与信息处理教育背景学历成都电子科技大学--研究生学位--硕士工作经历工作简历社会兼职专利与奖励奖励信息科研活动 ...中国科学院大学师资导师 本站小编 Free考研考试 2020-04-28
