基本信息
李俊红男硕导中国科学院声学研究所
电子邮件： ljh@mail.ioa.ac.cn
通信地址： 北京市北四环西路21号中科院声学所三部一室
邮政编码： 100190
部门/实验室：声学所
研究领域声学与振动MEMS：微电子机械系统（Micro Electro-Machanical System）,简称MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理、控制电路以及通讯接口等组成的集信号采集（感知）、信号处理和执行、显示和控制为一体的微型集成系统。具有成本低、功耗低、集成度高等优点。在生物医学、化工、通讯、国防、机械、自动控制、汽车工程、安全保密系统等方面都有广阔的应用前景。声学与振动MEMS的主要研究包括，硅微传声器、微机械超声换能器、微压力传感器、MEMS水听器、薄膜体声波谐振器等。
功能薄膜材料和器件：主要研究高性能铁电、压电、磁致伸缩等功能薄膜材料及其器件。

招生信息
招生专业081002-信号与信息处理
085208-电子与通信工程

招生方向声学与振动MEMS
压电薄膜与器件


教育背景2004-09--2009-07中国科学院声学研究所博士
1999-09--2002-03北京理工大学机械工程与自动化学院硕士
1995-09--1999-07北京理工大学机械工程与自动化学院学士


工作经历
工作简历
2018-07--今, 中国科学院声学研究所 研究员
2007-01--2018-07, 中国科学院声学研究所 副研究员
2005-04--2007-01, 中国科学院声学研究所 助理研究员
2002-04--2005-04, 中国科学院声学研究所 研究实习员


专利与奖励
专利成果




申请发明专利21项，其中授权11项，代表性专利：
(1) 一种简支悬臂梁结构MEMS压电矢量水听器及制备方法,发明,2018,第 2 作者,专利号: 2.8
(2) 一种用于超声扫描显微镜的高频换能器及其制备方法,发明,2017,第 2 作者,专利号: 9.5
(3) 一种掺钒ZnO厚膜及其制备方法,发明,2017,第 1 作者,专利号: 6.3
(4) 一种U型槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法,发明,2017,第 1 作者,专利号: 1.8
(5) 一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法,发明,2016,第 1 作者,专利号: 6.5
(6) 具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法,发明,2016,第 2 作者,专利号: 9.4
(7) 具有微结构锆钛酸铅PZT厚膜的制备方法,发明,2014,第 1 作者,专利号: 4X
(8) 一种软支撑桥式硅微压电超声换能器及其制备方法,发明,2011,第 1 作者,专利号: ZL5.4
(9) 一种软支撑桥式硅微压电传声器及其制备方法,发明,2012,第 1 作者,专利号: ZL7.3
(10) 一种软支撑悬臂梁式硅微压电传声器及其制备方法,发明,2011,第 1 作者,专利号: ZL6.9
(11) 一种图形化锆钛酸铅铁电薄膜的剥离制备方法,发明,2009,第 1 作者,专利号: ZL8.4
(12) 一种图形化铂/钛金属薄膜的剥离制备方法,发明,2009,第 1 作者,专利号: ZL6.5
(13) 一种硅微压电式传感器芯片及其制备方法,发明,2008,第 3 作者,专利号: ZL4.0








出版信息
发表论文













发表论文40余篇，代表性论文：


(1) 溶胶-凝胶法制备掺钒ZnO纳米粉,压电与声光,2019,通讯作者
(2) Design and Analysis of a Novel MEMS Piezoelectric Accelerometer for Vector Hydrophone,Symposiumon Piezoelectricity, Acoustic waves, and Device Applications,2019,通讯作者
(3) Experimental investigation of the detection and location of a target in layered media by using the TR-RTM mixed method,Science China (Physics, Mechanics & Astronomy),2019,第4作者
(4)The response mechanism of surface acoustic wave gas sensors in real time,Japanese Journal of Applied Physics,2019,第4作者
(5) MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展,应用声学,2018,第1作者
(6) Reverse-time-migration imaging for a crack in a thin plate by dispersed flexural waves,AIP Advances,2018,第4作者
(7) ZnO thin film piezoelectric micromachined microphone with symmetric composite vibrating diaphragm,Smart Materials and Structures,2017,第1作者
(8) Design and Fabrication of Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (pMUT) with Partially-Etched ZnO Film,Sensors,2017,第1作者
(9) Design and Analysis of MEMS Linear Phased Array,Micromachines,2016,通讯作者
(10)ZnO薄膜硅微压电矢量水听器,声学学报,2016,第1作者

(11) 高次谐波体声波谐振器的机械品质因数,声学学报,2016,第3作者
(12)0-3法制备PZT厚膜及其性能研究,Preparation and Properties of PZT Thick Film by 0-3 Method, 人工晶体学报,2015,通讯作者
(13) Micro-patterning of PZT thick film by lift-off using ZnO a sasacrificial layer,Ceramics International,2015,第1作者
(14)Effect of Annealing Process on Properties of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method,Ferroelectrics,2013,第1作者
(15)Micromachined Ultrasonic Transducers Based on Lead Zirconate Titanate (PZT) Films,Microsystem Technologies,2013,第1作者
(16) Design of MEMS Piezoelectric Vector Hydrophone,Key Engineering Materials,2013,第2作者
(17)Influences of crystallization temperature and slurry concentration on stress of PZT thick film prepared by a modified sol-gel method,Key Engineering Materials,2013,第3作者
(18) 时间反转和逆时偏移混合法用于层状介质中目标的声学检测和定位,声学学报,2013,第4作者
(19) 基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究,机械工程学报,2012,第1作者
(20) Sｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰＺＴ粉体的工艺研究,压电与声光,2012, 通讯作者
(21)Design and Fabrication of a Novel PZT Films Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers,2009 International Conference on Measuring Technology and Mechatronics Automation,2009,第1作者
(22) 不同厚度ZnO薄膜取向和应力的研究,压电与声光,2009,第1作者
(23) Pt/Ti electrodes of PZT thin films patterning by novel lift-off using ZnO as a sacrificial layer.,Chinese Physics Letters,2008,第1作者
(24) 衬底和O₂/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响,功能材料,2008,第1作者
(25) Development and Analysis of A RF Film Bulk Acoustic Resonator,Chinese Journal of Semiconductors,2008,第2作者

(26) 应用于体声波谐振器的ZnO薄膜结构和电学特性,功能材料与器件学报,2008,第2作者
(27) 适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制,声学技术,2008,第1作者
(28) 圆形复合振动膜硅微压电传声器的研制,声学技术,2007,第1作者
(29) PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的兼容性研究,半导体学报, 2006,第1作者


















在研项目







（ 1 ）掺钒氧化锌厚膜MEMS矢量水听器研究, 主持, 国家级, 2019-01--2022-12
（ 2 ）超声检测和成像的逆时偏移和时间反转混合方法, 参与,部委级, 2017-01--2021-12
（ 3 ）MEMS水下换能器, 主持, 国家级, 2017-01--2021-12
（ 4 ）MEMS声学矢量传感器研究, 子课题主持, 国家级, 2019-01--2020-12
（ 5 ）基于BST可调声表面波滤波器关键技术, 主持, 国家级, 2018-08--2020-03
（ 6 ）基于微色谱技术的小型化声表面波毒气报警系统研究, 主持, 所级, 2016-01--2019-12
（ 7 ）超声检测关键技术研究, 子课题主持, 国家级, 2016-01--2019-09