PSD位置敏感器动态响应误差的测量方法及测量装置
文献类型 | 专利 |
发明人 | 张广军[1];尚鸿雁[2] |
机构 | 北京航空航天大学 ↓ |
申请人 | 北京航空航天大学 |
专利类型 | 发明专利 |
年度 | 2004 |
专利申请日期 | 2004-12-28 |
专利公开日期 | 2006-07-05 |
专利公开号 | CN1796928 |
专利申请号 | CN200410102584.X |
国家或地区 | 北京 |
摘要 | 本发明属于测量技术领域,涉及测量PSD位置敏感器动态响应误差的测量方法及装置。本发明方法的步骤是,首先确定光源连续扫描照射下PSD器件的动态响应模型,然后进行误差测量。本发明测量方法和装置,方法简单、使用方便、精度高,适用于计算各种电极结构的PSD动态响应误差。 |
影响因子:
仪器科学与光电工程学院
dc:title:PSD位置敏感器动态响应误差的测量方法及测量装置
dc:creator:张广军;尚鸿雁
dc:date: publishDate:2004-12-28
dc:type:专利
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dc:identifier: LnterrelatedLiterature:2004.
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dc: identifier:ISBN: