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纳米ITO粉末及高密度ITO靶制备工艺的研究现状

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06

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纳米ITO粉末及高密度ITO靶制备工艺的研究现状
外文标题Technological Development of Preparing Nanosized ITO Powder and Ultra High Density ITO Target
文献类型期刊
作者Zhang, WJ[1];Wang, TM[2];Mi, B[3];Hong, K[4]
机构
通讯作者Zhang, WJ (reprint author), Beijing Univ Aeronaut & Astronaut, Sch Sci, Beijing 100083, Peoples R China.
来源信息年:2004卷:33期:5页码范围:449-453
期刊信息稀有金属材料与工程影响因子和分区ISSN:1002-185X
关键词纳米粉末;ITO;溅射靶
摘要对铟锡氧化物ITO(Indium Tin Oxide)纳米粉末的制备方法如均相共沉淀法,水溶液共沉淀法,电解法,溶胶-凝胶法,喷雾燃烧法,喷雾热分解法等以及ITO磁控溅射靶的现有几种制备工艺进行了综合评述.阐述了各种制备工艺过程和工作原理,比较和分析了各工艺方法的优缺点,并提出了制备高品质ITO粉末及ITO靶的努力方向.
收录情况SCIE(WOS:000221772200001)PKUISTICCSCD
链接地址http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_xyjsclygc200405001.aspx
DOI10.3321/j.issn:1002-185X.2004.05.001
学科材料科学:综合;冶金工程
被引频次10
基金国防科工委预研项目


全文|
影响因子:0.194
中科院分区:
一级学科 一级分区 二级学科 二级分区
工程技术 4 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY材料科学:综合 4
工程技术 4 METALLURGY & METALLURGICAL ENGINEERING冶金工程 4

JCR分区:
学科 分区
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY Q4
METALLURGY & METALLURGICAL ENGINEERING Q4

暂无成果共有人
dc:title:纳米ITO粉末及高密度ITO靶制备工艺的研究现状
dc:creator:张维佳;王天民;糜碧,等
dc:date: publishDate:2004-05-01
dc:type:期刊
dc:format: Media:稀有金属材料与工程
dc:identifier: LnterrelatedLiterature:稀有金属材料与工程.2004,33(5),449-453.
dc:identifier:DOI:10.3321/j.issn:1002-185X.2004.05.001
dc: identifier:ISBN:1002-185X
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