基于DSP的硅谐振式压力微传感器闭环系统研究
| 文献类型 | 学位 |
| 作者 | 刘惠鹏[1] |
| 机构 | 北京航空航天大学 ↓ |
| 授予学位 | 硕士 |
| 年度 | 2003 |
| 学位授予单位 | 北京航空航天大学 |
| 语言 | 中文 |
| 关键词 | 硅谐振式微传感器;闭环系统;数字锁相环;DSP |
| 摘要 | 该文通过对电阻热激励/压阻拾振的硅谐振梁式压力微传感器敏感结构、测压原理、激励和拾振原理、输入输出信号的频率和相位关系进行了深入的理论研究.提出了采用DSP为核心设计传感器的闭环自激系统的新方案,并通过开环实验和闭环自激实验对闭环系统进行了验证.电容耦合干扰和弱信号处理问题是硅谐振式微传感器研究中重要而难以解决的问题.该文提出了数字锁相环(DPLL)的解决方案,并成功设计出了传感器的闭环自激系统. |
影响因子：
dc:title:基于DSP的硅谐振式压力微传感器闭环系统研究
dc:creator:刘惠鹏
dc:date: publishDate:1753-01-01
dc:type:学位
dc:format: Media：北京航空航天大学
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：北京航空航天大学.2003.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:
