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基于矩形膜片的硅微谐振式压力传感器敏感结构研究

文献类型	会议
作者	樊尚春[1];王晓晶[2]
机构	[1]自动化学院测控系,北京航空航天大学(中国北京 [2]自动化学院测控系,北京航空航天大学(中国北京 ↓
会议论文集	第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
来源信息	年:2003页码范围:181-187
会议信息	第八届敏感元件与传感器学术会议ISSN:
关键词	矩形膜片;压力传感器;硅谐振式压力传感器
摘要	本文对一种以矩形膜片为一次敏感元件,硅梁作为二次谐振敏感元件的谐振式硅微结构压力传感器敏感结构进行了研究.针对微传感器的敏感结构和工作机理,利用弹性力学的相关理论,给出了矩形膜片与硅梁的解析模型,计算、分析了膜片的位移、应力及应变场分布以及梁谐振子的频率特性曲线;特别比较了矩形膜片尺寸变化对上述特性的影响规律.提出了较为实用的优化方案及参数设计思路.此外,利用ANSYS6.1有限元分析软件,对整个结构进行了力学分析,并与上述解析结果进行了比较.结果表明本文提供的解析模型具有工程实用价值,可用于该谐振式硅微结构压力传感器敏感结构的优化设计.
所属部门	自动化科学与电气工程学院
全文链接	http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_5504913.aspx
会议地点	北京
会议开始日期	2003-09-01

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dc:title:基于矩形膜片的硅微谐振式压力传感器敏感结构研究
dc:creator:樊尚春;王晓晶
dc:date: publishDate:2003-09-01
dc:type:会议
dc:format: Media：第八届敏感元件与传感器学术会议
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：第八届敏感元件与传感器学术会议.2003,181-187.
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dc: identifier:ISBN: