删除或更新信息,请邮件至freekaoyan#163.com(#换成@)

基于矩形膜片的硅微谐振式压力传感器敏感结构研究

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06

闂備胶鎳撻崥瀣垝鎼淬劌纾奸柨鐕傛嫹2濠电偞鍨堕幐绋棵洪妸鈺嬬稏闁圭儤顨嗛崵鈧梺鍛婂姦娴滅偤宕洪敓鐘崇厾闁哄鐏濋弳銏ゆ煟閿曗偓椤︾敻骞冩禒瀣棃婵炴垶纰嶉幉銈嗙箾閹寸偞顥栭悹渚婄悼濡叉劕鈻庨幇鍓佺煑濠碘槅鍨靛▍锝咁潩閵娾晜鐓ユ繛鎴炨缚閻掗攱銇勯銏╁剱闁挎稒鍔欓獮瀣敍濠婂拋妲撮梻浣呵圭换鎰矓閻戣棄鍨傞柛宀€鍋為崑銊╂煥閻曞倹瀚�
濠电姰鍨归悥銏ゅ炊瑜嶆慨銈夋⒑閸涘﹤绗掓俊顐g洴椤㈡棃濮€閵堝棭妫勯柣搴秵閸犳牠宕㈤幘顔界厸闁告洟娼ч悘锝嗐亜閹存繃澶勭紒瀣樀閸┾偓妞ゆ巻鍋撻柍璇查叄濡鹃亶鏌嶈閸撴瑩宕导瀛樺亯婵炲樊浜濋弲顒勬倶閻愮數鎽傞柛銈囧Т闇夋繝濠傚暣椤庢銇勯埞顓炲婵挳鏌¢崶鈺佹灁闁告瑢鍋撻梻浣哥秺濞佳嗐亹閻愮數绠旈柟鎯ь嚟閳绘梹鎱ㄥΟ璇插闁搞倧绠撻弻鐔虹矙閹稿孩鎮欓梺浼欑秮缁犳牕顕i鈶╂瀻闁归偊鍘剧粙鍕⒑閹稿海鈽夐柡鍫墴瀹曞綊濡歌婵ジ鏌涘☉姗堟敾缂佺姵甯為埀顒€鐏氬姗€鎮ч崱娴板洭宕稿Δ浣镐痪闂佺鎻梽鍕晬閺嶎厽鐓忛柛鈩冩礀椤b暜ee濠电姰鍨圭紞濠囧焵椤掍胶鈯曢柕鍡楀暣閺屾盯骞掗幋鐑嗘濡炪倖甯為崰鎰矙婵犲洦鍋愰柣銏㈡暩鏁堥梻浣稿悑濠㈡﹢宕导瀛樺亯闁告繂濯辨惔銏$秶妞ゆ劗鍠庢禍楣冩煛閸ャ劍鐨戦柣鐔叉櫅閳藉骞樼紙鐘卞濡炪倖娲濆▍鏇炨缚韫囨稑宸濇い鎾楀啯顔�20婵°倗濮烽崑鐘诲箵椤忓棙顫曟繝闈涱儏缁犳垿鏌ゆ慨鎰偓妤€鈻旈姀鐘嗙懓饪伴崘鈺婃%缂備礁顦顓㈠焵椤掆偓濠€閬嶅磻閻旂厧鏋侀柕鍫濐槹閸庡秹鏌涢弴銊ュ闁伙箑缍婇幃妤冩喆閸曨収鏆¢梺鍝勬閸嬫捇姊洪崫鍕垫Ч闁告梹鐗犻幃锟犳晬閸曨剙鐝伴梺闈涚箚閸撴繈鎮″▎鎰濠㈣泛顑嗙粈鈧悗娈垮櫍閺€鍗烆嚗閸曨偒鍚嬮柛鏇ㄥ幘濡叉垿姊洪崫鍕偓浠嬶綖婢跺本鍏滈柛顐f礃閺咁剟鎮橀悙闈涗壕缂佺姵甯″濠氬炊閿濆懍澹曢梺鑽ゅ枑濞叉垿鎳楃捄琛℃灁闁硅揪闄勯崕鎴︽倵閿濆骸骞樼紒鐘崇墵閺屸剝寰勫☉娆忣伓
文献详情


基于矩形膜片的硅微谐振式压力传感器敏感结构研究
文献类型会议
作者樊尚春[1];王晓晶[2]
机构
会议论文集第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
来源信息年:2003页码范围:181-187
会议信息第八届敏感元件与传感器学术会议ISSN:
关键词矩形膜片;压力传感器;硅谐振式压力传感器
摘要本文对一种以矩形膜片为一次敏感元件,硅梁作为二次谐振敏感元件的谐振式硅微结构压力传感器敏感结构进行了研究.针对微传感器的敏感结构和工作机理,利用弹性力学的相关理论,给出了矩形膜片与硅梁的解析模型,计算、分析了膜片的位移、应力及应变场分布以及梁谐振子的频率特性曲线;特别比较了矩形膜片尺寸变化对上述特性的影响规律.提出了较为实用的优化方案及参数设计思路.此外,利用ANSYS6.1有限元分析软件,对整个结构进行了力学分析,并与上述解析结果进行了比较.结果表明本文提供的解析模型具有工程实用价值,可用于该谐振式硅微结构压力传感器敏感结构的优化设计.
所属部门自动化科学与电气工程学院
全文链接http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_5504913.aspx
会议地点北京
会议开始日期2003-09-01


全文|
影响因子:


暂无成果共有人
dc:title:基于矩形膜片的硅微谐振式压力传感器敏感结构研究
dc:creator:樊尚春;王晓晶
dc:date: publishDate:2003-09-01
dc:type:会议
dc:format: Media:第八届敏感元件与传感器学术会议
dc:identifier: LnterrelatedLiterature:第八届敏感元件与传感器学术会议.2003,181-187.
dc:identifier:DOI:
dc: identifier:ISBN:
相关话题/结构 传感器 北京 自动化 北京航空航天大学

  • 领限时大额优惠券,享本站正版考研考试资料!
    大额优惠券
    优惠券领取后72小时内有效,10万种最新考研考试考证类电子打印资料任你选。涵盖全国500余所院校考研专业课、200多种职业资格考试、1100多种经典教材,产品类型包含电子书、题库、全套资料以及视频,无论您是考研复习、考证刷题,还是考前冲刺等,不同类型的产品可满足您学习上的不同需求。 ...
    本站小编 Free壹佰分学习网 2022-09-19
  • 静电激励/电容拾振谐振梁敏感结构的机理研究
    文献详情静电激励/电容拾振谐振梁敏感结构的机理研究文献类型会议作者李雪莹[1];周浩敏[2];刘广玉[3]机构[1]自动化学院,北京航空航天大学(中国北京[2]自动化学院,北京航空航天大学(中国北京[3]自动化学院,北京航空航天大学(中国北京↓会议论文集第八届敏感元件与传感器学术会议论文集来源信息年 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06
  • 复相介质及界面结构温度场的多尺度计算
    文献详情复相介质及界面结构温度场的多尺度计算文献类型会议作者曹礼群[1];罗剑兰[2]机构[1]中国科学院数学与系统科学研究院计算数学与科学工程计算所(北京[2]北京航空航天大学理学院应用物理系(北京↓会议论文集中国工程热物理学会传热传质学学术会议论文集(下册)来源信息年:2003页码范围:1156 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06
  • 几种用于结构拓扑优化的多点逼近方法的数值对比研究
    文献详情几种用于结构拓扑优化的多点逼近方法的数值对比研究文献类型会议作者黄海[1];王耀天[2];连华东[3]机构[1]北京航空航天大学宇航学院(北京[2]北京航空航天大学宇航学院(北京[3]北京航空航天大学宇航学院(北京↓会议论文集中国计算力学大会2003论文集工程与科学中的计算力学(下)来源信息 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06
  • 基于MSC.Patran/Nastran的自适应桁架结构振动控制仿真研究
    文献详情基于MSC.Patran/Nastran的自适应桁架结构振动控制仿真研究文献类型会议作者杭万里[1];黄海[2]机构[1]北京航空航天大学宇航学院(北京[2]北京航空航天大学宇航学院(北京↓会议论文集中国计算力学大会2003论文集工程与科学中的计算力学(下)来源信息年:2003页码范围:10 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06
  • 湍流边界层拟序结构的大涡模拟研究
    文献详情湍流边界层拟序结构的大涡模拟研究文献类型会议作者额日其太[1];邹正平[2];王强[3]机构[1]北京航空航天大学能源与动力工程学院(北京[2]北京航空航天大学能源与动力工程学院(北京[3]北京航空航天大学能源与动力工程学院(北京↓会议论文集中国工程热物理学会热机气动热力学学术会议论文集来源 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06
  • 加强航空发动机结构强度应用基础研究
    文献详情加强航空发动机结构强度应用基础研究文献类型会议作者杨士杰[1];李其汉[2]机构[1]沈阳航空发动机研究所[2]北京航空航天大学↓会议论文集第五届动力年会论文集(1~4)来源信息年:2003页码范围:145-153会议信息中国航空学会航空百年学术论坛动力学分论坛ISSN:关键词结构强度;航空 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06
  • 失谐叶盘振动局部化模态子结构模型
    文献详情失谐叶盘振动局部化模态子结构模型文献类型会议作者王建军[1];李其汉[2]机构[1]北京航空航天大学能源与动力学院(北京[2]北京航空航天大学能源与动力学院(北京↓会议论文集第五届动力年会论文集(1~4)来源信息年:2003页码范围:471-476会议信息中国航空学会航空百年学术论坛动力学分 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06
  • 结构和性能参数对吸热器质量的影响
    文献详情结构和性能参数对吸热器质量的影响文献类型会议作者崔海亭[1];袁修干[2]机构[1]北京航空航天大学(北京[2]北京航空航天大学(北京↓会议论文集中国航空学会人体工程、航医、救生专业委员会第六届学术年会论文集来源信息年:2003页码范围:90-94会议信息中国航空学会人体工程、航医、救生专业 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06
  • Target软件体系结构模式研究
    文献详情Target软件体系结构模式研究文献类型会议作者高旭涛[1];刘超[2]机构[1]北京航空航天大学软件工程研究所(北京[2]北京航空航天大学软件工程研究所(北京↓会议论文集软件技术进展2003全国软件与应用学术会议(NASAC)论文集来源信息年:2003页码范围:127-131会议信息200 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06
  • 基于消息总线体系结构的分布式工作流建模与仿真
    文献详情基于消息总线体系结构的分布式工作流建模与仿真文献类型会议作者易君[1]机构[1]北京航空航天大学计算机科学与技术系(北京↓会议论文集软件技术进展2003全国软件与应用学术会议(NASAC)论文集来源信息年:2003页码范围:610-615会议信息2003全国软件与应用学术会议ISSN:关键词 ...
    北京航空航天大学 辅仁网 2017-07-06