静电激励/电容拾振谐振梁敏感结构的机理研究
| 文献类型 | 会议 |
| 作者 | 李雪莹[1];周浩敏[2];刘广玉[3] |
| 机构 | [1]自动化学院,北京航空航天大学(中国北京 [2]自动化学院,北京航空航天大学(中国北京 [3]自动化学院,北京航空航天大学(中国北京 ↓ |
| 会议论文集 | 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集 |
| 来源信息 | 年:2003页码范围:228-233 |
| 会议信息 | 第八届敏感元件与传感器学术会议ISSN: |
| 关键词 | 谐振梁敏感结构;静电激励;电容拾振;谐振式传感器 |
| 摘要 | 本文主要通过对静电激励/电容拾振的谐振梁敏感结构的分析,从理论上对静电激励和电容拾振的原理、动态和静态特性以及输入输出信号的幅值和相位关系进行了深入的研究,对进一步研发微机械谐振传感器具有现实意义. |
| 所属部门 | 自动化科学与电气工程学院 |
| 全文链接 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_5504918.aspx |
| 会议地点 | 北京 |
| 会议开始日期 | 2003-09-01 |
| 人气指数 | 1 |
| 浏览次数 | 1 |
全文
影响因子：
dc:title:静电激励/电容拾振谐振梁敏感结构的机理研究
dc:creator:李雪莹;周浩敏;刘广玉
dc:date: publishDate:2003-09-01
dc:type:会议
dc:format: Media：第八届敏感元件与传感器学术会议
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：第八届敏感元件与传感器学术会议.2003,228-233.
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