提高激光外差差分干涉仪定位精度的装置及方法
| 文献类型 | 专利 |
| 发明人 | 赵慧洁[1];张广军[2] |
| 机构 | 北京航空航天大学 ↓ |
| 申请人 | 北京航空航天大学 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 年度 | 2002 |
| 专利申请日期 | 2002-12-17 |
| 专利公开日期 | 2003-05-21 |
| 专利公开号 | CN1419103 |
| 专利申请号 | CN02156702.6 |
| 国家或地区 | 北京 |
| 摘要 | 本发明涉及一种用于测量微细图形尺寸的激光外差差分干涉仪的高精度定位装置及方法。它是在激光外差差分干涉仪上加装高精度定位装置，此定位装置可以是激光干涉测长仪，也可以是其他接触式(如电感)测长仪；测量之前应首先调整工作台定位装置，使其测量方向与工作台的移动方向平行。测量时，移动工作台，利用激光外差差分干涉仪的两个分立的测量光点，一个光点在基底，一个扫过被测物台阶，当激光束扫描被测物台阶边缘时，就可以得到相位渐变过程的多组测量数据，将此多组测量数据的坐标值依次代入计算机，进行运算处理得到被测台阶的边缘位置。 |
影响因子：
院机关(遥感科学与技术系)
仪器科学与光电工程学院
dc:title:提高激光外差差分干涉仪定位精度的装置及方法
dc:creator:赵慧洁;张广军
dc:date: publishDate:2002-12-17
dc:type:专利
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dc:identifier: LnterrelatedLiterature：2002.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:
