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外差干涉仪的激光方位调整装置

文献类型	专利
发明人	赵慧洁[1];张广军[2]
机构	北京航空航天大学 ↓
申请人	北京航空航天大学
专利类型	实用新型
年度	2002
专利申请日期	2002-12-17
专利公开日期	2003-12-03
专利公开号	CN2589933
专利申请号	CN02291164.2
摘要	本实用新型涉及一种用于测量微细形貌的共光路外差干涉仪的激光方位调整装置。本实用新型的技术解决方案是，在外差干涉仪的干涉头上加装精密转台和两个近似半圆的夹持激光管的楔形块，两个楔形块合成一个楔形筒，其楔形筒的小的一端装入转台的中心孔中。本实用新型的精密转台有效地扩大了激光管的转动范围，提高了转动精度，而且调整方便快捷，由于采用了楔形块夹持激光管，所以使得激光管与精密转台同轴，保证了激光管出射光束的中心和转台的转动中心重合，楔形筒选用软制材料制成不会损坏激光管。该调节系统的调节精度完全能够满足使干涉系统测量精度达到nm量级的要求。

影响因子：


院机关(遥感科学与技术系)赵慧洁
仪器科学与光电工程学院张广军

dc:title:外差干涉仪的激光方位调整装置
dc:creator:赵慧洁;张广军
dc:date: publishDate:2002-12-17
dc:type:专利
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dc:identifier: LnterrelatedLiterature：2002.
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dc: identifier:ISBN: