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掺杂纳米硅薄膜的微结构与电性研究

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06
文献详情


掺杂纳米硅薄膜的微结构与电性研究
文献类型会议
作者徐刚毅[1];王金良[2];何宇亮[3];王天民[4]
机构
会议论文集第十二届全国半导体物理学术会议论文集
来源信息年:1999页码范围:52-52
会议信息第十二届全国半导体物理学术会议ISSN:
关键词掺杂纳米硅薄膜;微结构
所属部门材料科学与工程学院
全文链接http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_29856.aspx
会议地点上海
会议开始日期1999-10-18


全文|
影响因子：


暂无成果共有人
dc:title:掺杂纳米硅薄膜的微结构与电性研究
dc:creator:徐刚毅;王金良;何宇亮,等
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相关话题/材料 北京航空航天大学 化学 物理 半导体物理
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