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硅谐振梁式压力传感器模拟计算

外文标题	Simulation and Calculation on Silicon Resonant Beam Pressure Sensor
文献类型	期刊
作者	樊尚春[1];刘广玉[2]
机构	[1]北京航空航天大学自动控制系 [2]北京航空航天大学自动控制系 ↓
来源信息	年:1999期:1页码范围:37-40
期刊信息	仪器仪表学报ISSN:0254-3087
关键词	硅微结构;谐振梁;压力传感器鼢
摘要	本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构:以2×2mm2的方形硅膜片直接敏感被测压力,膜片的上表面架设有600×50×5μm3两端固支的硅谐振梁,间接感受压力作用,谐振梁封装在真空腔内.利用谐振梁的固有频率与被测压力的关系进行测量.针对这种谐振敏感结构的特征,建立其数学模型,通过模拟计算,得到若干规律性的结果,给出一组合理的设计参数.
收录情况	PKUCSCD
所属部门	自动化科学与电气工程学院
链接地址	http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_yqyb199901011.aspx
DOI	10.3321/j.issn:0254-3087.1999.01.011

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dc:title:硅谐振梁式压力传感器模拟计算
dc:creator:樊尚春;刘广玉
dc:date: publishDate:1999-02-20
dc:type:期刊
dc:format: Media：仪器仪表学报
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：仪器仪表学报.1999,37-40.
dc:identifier:DOI：10.3321/j.issn:0254-3087.1999.01.011
dc: identifier:ISBN:0254-3087