姓　名：许高斌

职　称：教授

职　务：副院长
安徽省MEMS工程技术研究中心主任

所属系：微电子学系、院机关

邮　箱：gbxu@hfut.edu.cn

电　话：，

个人简介：
男，1970年12月生，中共党员，安徽肥东人，教授，博士生导师（学术博导、工程博导）。1993年、2001年毕业于合肥工业大学应用物理系，分别获学士和硕士学位，2004年毕业于东南大学电子工程系MEMS教育部重点实验室，获工学博士学位，2010年在中科院半导体研究所从事高级访问研究。现任合肥工业大学电子科学与应用物理学院（微电子学院）副院长，安徽省微电子机械系统（MEMS）工程技术研究中心主任。
近年来在IEEE Electron Device Letters、Applied Physics A、IEEE SensorsJournal、SensorsandActuators、JournalofMicromechanicsandMicroengineering、Journal of Semiconductors、仪器仪表学报、半导体学报、真空与科学技术学报和中国机械工程等国内外核心期刊上发表学术论文60余篇，其中SCI /EI收录20余篇。相关研究成果应用于MEMS专业设计软件IntenlliSence软件中，其相关研究成果被编著于微米纳米系列丛书《微米纳米器件测试技术》和国际著名出版机构Springer出版的《Micro Electro Mechanical Systems》中。应邀为APCOT’2008（海峡两岸微米纳米技术研讨会，2008，台湾成功大学）分会主席（SessionChairofBioMicro-NanoTechnology）、中国微米纳米技术学会第十一届学术年会（2009，哈尔滨）分会主席和第十二届全国敏感元件与传感器学术会议程序委员会委员（2012，江苏.昆山）等。是中国微米纳米技术学会高级会员，IEEESensorsJournal、振动与冲击等多家国内外学术期刊审稿人，《传感技术学报》第七届编委会成员。曾入选江苏常州龙城英才计划（重点）和徐州“高层次创新创业人才引进资助计划”等创新创业人才计划。是国家重点研发计划、国家自然科学基金、安徽省发改委重大专项与产业规划、安徽省科技重大专项和安徽省高新技术企业认定等评审专家。
研究方向：
CMOSMEMS、MEMS传感器与微纳系统的设计、制造、封装与可靠性
开设课程（本科生、研究生）：
本科生课程：《半导体器件物理》
研究生/博士生课程：《MEMS设计与应用》
科研项目：
一、目前在研的科研项目：
1.国家重点研发计划项目：工业微纳传感器可靠性关键技术及平台，52万元，承担单位负责人
2.安徽省发改委研发创新项目：新能源汽车电控系统SOC芯片开发与产业化，项目总经费：930万，主持
3.安徽省重点研发计划项目：工业装备振动监控MEMS加速度传感器研发，项目经费：60万，主持
4.安徽高校协同创新项目：MEMS热传感芯片关键技术研究，项目经费：20万，课题负责人
5. 企业委托研发项目：MEMS红外热电堆传感器研发，项目经费：100万，主持
二、已完成的部分科研项目：
1. 装备预先研究重点项目：****设备可靠性研究
2.装备预研教育部联合基金项目：复杂环境高性能高精度谐振式压力传感器研究
3. 国家863计划项目：无线、无源、多参数微纳传感器与系统
4.国家自然科学基金重大研究计划项目（纳米制造的基础研究）：基于改性TiO₂纳米管阵列的传感器件的构造研究
5.安徽省科技攻关计划项目：SOI基高性能MEMS传感关键技术研究
6.安徽省自然科学基金：柔性衬底单壁碳纳米管阵列NEMS器件及其在纳米集成电路中的应用研究。
7.安徽省高校省级自然科学研究重点项目：基于MEMS技术CMOS兼容静电型微继电器研究
代表成果（著作、论文、专利等，限10项）：
1.Lu Zhijian, Xu Yan, Yu Yongqiang, Xu Kewei, Mao Jie, Xu Gaobin, Ma Yuanming, Wu Di, Jie Jiansheng. Ultrahighspeed andbroadbandfew-layer MoTe₂/Si 2D-3Dheterojunction-basedphotodiodesfabricated bypulsedlaserdeposition.AdvancedFunctionalMaterials,2020, 30(9):**(1-9).
2.Wang Chunxiao, Dong Yuan, Lu Zhijian, Chen Shirong, Xu Kewei, Ma Yuanming, Xu Gaobin^*, Zhao Xiaoyun, Yu Yongqiang^*, High responsivity and high-speed 1.55 um infrared photodetector from self-powered graphene/Si heterojunction, Sensors and Actuators A: Physical, 2019, 291: 87-92.
3.Xu Gaobin, Yu Fuyuan, Guo Kai, Shen Fei, Zhou Hongping, Sun Yongxuan, Zhang Xudong, Yin Zhiping, Guo Zhongyi. Tri-band polarization convertor based on the multi-layer metamaterial. Applied Physics A. 2017, 123(10):654(1-9).
4.Xu Gaobin^*, XiYe,Chen Xing,Ma Yuanming. Application research on the sensitivity of porous silicon. Journal of Semiconductors, 2017, 38(9): 094003(1-8).
5.许高斌,王亚洲,陈兴,马渊明,张文晋.纳米压电梁谐振式加速度计.电子测量与仪器学报,2020, 34(10): 149-155.
6.许高斌,陈诚,陈兴,马渊明,于永强,张倩.一种用于复杂环境下的高精度微型谐振式压力传感器.真空科学与技术学报, 2019, 39(11): 980-988
7.许高斌,余智,徐礼建,马渊明,陈兴.复杂环境电容式微加速度传感器可靠性分析.电子测量与仪器学报, 2019, 33(8): 154-159.
8.许高斌,徐枝蕃,陈兴,马渊明,杨海洋.静电激励/压阻检测硅微谐振式压力传感器闭环自激系统，授权日期：**,专利号：ZL6.5
9.许高斌,王超超,陈兴,马渊明,胡海霖.一种压电式MEMS加速度传感器及其制备方法,授权日期：2020.04.21,专利号：ZL3.4
10.许高斌,胡海霖,陈兴,马渊明,王超超.一种谐振式压力传感器的制备方法,授权日期：2020.01.03,专利号：ZL 9.4
11.许高斌,杨海洋,马渊明,陈兴,徐枝蕃.一种用于MEMS器件隔振的双层隔振结构及制备方法,授权日期：2019.12.31,专利号：ZL 7.5
12.许高斌,王月媖,陈兴,马渊明,李坤.一种用于强磁场测量的梳齿状微传感器及制备方法,授权日期：2019.07.12,专利号：ZL 5.9
13.许高斌,王月媖,陈兴,马渊明,李坤.一种用于强磁场测量的平面扭转式微传感器,授权日期：2019.04.30,专利号：ZL 5.6
获奖荣誉：
1.2006年度高等学校科学技术奖（自然科学一等奖），项目名称：多晶硅电热微执行器模型、制备与表征，个人证件编号：2006-***
2.2009年度江苏省科技进步奖（二等奖），项目名称：微机电系统模型、模拟及应用。个人证书编号：2009-*-*-**-**