万军
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1
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其他
department
计量测试工程学院
college

college2

degree
博士
recruit":0,"firstDiscipline1
仪器科学与技术
secondaryDiscipline1

firstDiscipline2
电子信息
secondaryDiscipline2

executive
教师
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mobilePhone
**
emailAddress
18a**@cjlu.edu.cn
businessAddress
仰仪北楼304
individualResume
2000/07-2004/09 武汉化工学院材料物理专业学士学位\r2004/09-2007/07 武汉工程大学材料学院材料学专业硕士研究生\r2007/09-2010/6 中国科学院微电子所微电子学与固体电子学博士研究生\r2010/12-2013/03 浙江大学电气工程学院博士后\r2013/04-2018/11 中国科学院微电子研究所微电子仪器与设备工程中心副研究员\r2018/12-至今 中国计量大学计量测试工程学院副研究员
researchTopic
1、等离子体自动控制系统研发（企业项目）\r2、半导体纳米光学/光电材料成膜（企业项目）\r3、半导体高性能原子层沉积系统研发（企业项目）
awards
1、原子层沉积系统的开发与应用，中国电子学会科技奖一等奖，省部级，2017，排名第5\r2、原子层沉积系统的开发与应用，北京市科学技术奖三等奖，省部级，2017年，排名第5\r3、集成电路科教设备研发和科教融合模式创新与实践，中国科学院教育教学成果特等奖，部委级，2016年，排名第5\r4、原子层沉积系统及工艺，第二十届全国发明展金奖，2011年，排名第5
researchProject
1、科技部重大科学仪器设备开发重点专项、高能差分电子衍射仪---高能差分电子衍射仪在ALD成膜机理研究及应用示范、2018/07-2021/06、160万元、在研、主持\r2、国家自然科学基金委重大科学仪器研制项目、**、二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器、2015/01-2019/12、在研、参与\r3、国家重大科技专项、2015ZX02102-002、28-14nm原子层沉积系统（ALD）腔室关键技术研究、2015/01-2018/12、在研、参与\r
publications
1、等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究, 真空科学与技术学报. 2014, 34（2）: 192-196\r2、Reflection of electromagnetic wave using a plasma sheet, IEEE Trans. Plasma Sci., 2010, 38(8), 2006-2009\r3、Plasma-induced direct graft on polytetrafluoroethylene films by quasi-glow discharge at atmospheric pressure, Plasma Processes and Polymers, 2009, 6(12):825-830\r4、In-Situ nitrogen doping of the TiO2 photocatalyst deposited by PEALD for visible light activity, Plasma Science and Technology, 2014, 16(3):239-243\r5、Dehydroxylation action on surface of TiO2 films restrained by nitrogen carrier gas during atomic layer deposition process, Rare Metals， 2014, 33（5）:583-586\r
others

correlation
researchDirection1
原子层沉积热场与流体场仿真优化及产业化应用
researchDirection2
半导体气体传感器制备
researchDirection3

researchDirection4