碳化硅具有耐高温、耐腐蚀、导热性能良好、抗冲击性强、化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好等一系列优点，但是碳化硅的硬度很大，莫氏硬度为9.5级，仅次于世界上天然形成的最硬的金刚石（10级），即便使用金刚石刀具也很难对其进行加工，这使得碳化硅在工程应用方面受到了极大限制。

　　近日，宁波材料所所属二级所先进制造技术研究所激光与智能能量场制造团队采用自主研发的5轴联动精密激光加工系统，实现了在高密度碳化硅管上进行精密切割和制孔，可在碳化硅管件上制备各种规格尺寸的圆孔、方孔、复杂异型孔。解决了热交换关键器件加工成型中利用传统机械加工方法无法对碳化硅快速精密成型加工的难题。团队目前已经掌握的微槽、微织构和三维异形气膜孔加工工艺，可对碳化硅进行多种形式的三维激光加工，有助于碳化硅在高端换热器应用方面的进一步拓展。



激光与智能能量场团队自主研发的5+2轴异型孔短脉冲激光加工系统



　　加工样品

（先进制造所 王仙飞、张天润）